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公开(公告)号:CN102706337B
公开(公告)日:2015-08-19
申请号:CN201210150615.3
申请日:2012-05-07
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5642
Abstract: 本发明公开一种压电圆盘微机械陀螺,包括:一个具有支撑柱的圆盘谐振子;驱动电极、检测电极、监测电极和平衡电极各三个。所述三个驱动电极、三个检测电极、三个监测电极和三个平衡电极分别沿圆盘谐振子端面一周分布配置。本发明利用圆盘谐振子的特殊振动模态进行工作,给圆盘谐振子上的三个驱动电极施加交流电压,由逆压电效应产生圆盘谐振子在驱动模态振动。当存在输入角速度时,圆盘谐振子的振型向检测模态转变,利用检测电极处压电正效应产生的敏感信号,经外围电路处理得到输入角速度信号。本发明结构简单、小体积、具有高Q值等特点且不需要真空封装。
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公开(公告)号:CN102980566B
公开(公告)日:2015-05-20
申请号:CN201210506574.7
申请日:2012-11-30
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5691 , B81C1/00
Abstract: 本发明公开一种圆锥环形波动微机械陀螺及其制备方法,包括:基底;金属圆锥环谐振子;设在金属圆锥环谐振子的内壁上的压电薄膜,该压电薄膜含有驱动电极;两个均布于金属圆锥环谐振子圆锥环周围的检测电极;两个均布于金属圆锥环谐振子圆锥环周围的平衡电极;四个均布于金属圆锥环谐振子圆锥环周围的监测电极;金属圆锥环谐振子与八个电极形成八个以空气作为介电质的电容。本发明利用圆锥环的四波腹振动模态进行工作,对驱动电极施加交流电压,由逆压电效应产生振动,带动圆锥环谐振子在驱动模态振动。当存在输入角速度时,圆锥环谐振子的振型向检测模态转变,利用检测电极与金属圆锥环谐振子形成的电容间隙的变化,处理得到输入角速度信号。
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公开(公告)号:CN102679967B
公开(公告)日:2014-12-10
申请号:CN201210139878.4
申请日:2012-05-07
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/567
Abstract: 本发明涉及一种微机电技术领域的摇动质量块压电双轴微陀螺,它包括一个摇动质量块谐振子,支撑摇动质量块的基板,四个与基板边方向平行且具有间隙的驱动电极,四个与基板边方向平行检测电极。本发明利用摇动质量块谐振子的特殊振动模态,采用逆压电效应驱动,通过检测压电电极上的电压变化来检测两个基板面内方向的角速度,最后通过外围调解处理电路,得到基板面内两个方向的输入角速度。本发明采用MEMS微细加工工艺,结构简单,能实现双轴检测,加工工艺易于实现,可靠性高。
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公开(公告)号:CN102641109B
公开(公告)日:2014-08-27
申请号:CN201210097875.9
申请日:2012-04-05
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开一种内窥镜照度的智能调节方法,包括步骤:步骤一、初始化;步骤二、内窥镜冷光源输出标准照度;步骤三、内窥镜处于工作状态,观察和采集人体器官内部实时图像;步骤四、分别获取RGB实时彩色图像的R、G、B三基色像素值R1(u,v)、G1(u,v)、B1(u,v)及其均值步骤五、对实时采集的图像进行偏色校正;步骤六、选取偏色校正后的三基色像素值中的最大与最小值;步骤七、图像亮度校正;步骤八、求取图像亮度校正后的图像像素均值及其综合均值;步骤九、比较J与数据库中J0的大小,调节冷光源照度输出。本发明无论内窥镜如何弯曲,其照度能够实现智能调节并达到优化效果。
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公开(公告)号:CN102846301B
公开(公告)日:2014-07-02
申请号:CN201210057074.X
申请日:2012-03-06
Applicant: 上海交通大学
IPC: A61B1/00
Abstract: 本发明公开一种内窥镜照度的智能调节装置,包括医用内窥镜、图像采集卡、信号处理器、控制器、开关电源模块和冷光源;冷光源发出的光送入医用内窥镜,医用内窥镜将光信号转变成图像信号,并通过其图像输出接口将图像信号经图像采集卡传送给信号处理器;信号处理器接收图像采集卡传送的图像信号并进行处理,通过建立经典彩色图像及其色彩特征数据库,对实时采集的图像进行偏色校正、图像亮度校正,并将冷光源照度输出控制指令传送给控制器;控制器根据接收到的信号处理器控制指令,改变开关控制信号输出相位,使得开关电源模块输出的直流电压产生相应的变化,进而改变了冷光源的工作电压,冷光源输出照度获得优化调节。
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公开(公告)号:CN103322995A
公开(公告)日:2013-09-25
申请号:CN201310245579.3
申请日:2013-06-20
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5691 , B81B7/02
Abstract: 本发明涉及一种压电驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法,包括:一个不带释放孔的压电圆盘振子,一个圆柱形的支撑柱,分布于圆盘振子上的驱动电极,以及分布于基板上的检测电极、平衡电极和公共电极。所述驱动电极分布于所述圆盘振子上;所述检测电极、平衡电极和公共电极呈圆周分布于所述基板上并位于所述圆盘振子下方,同时与所述圆盘振子平行且有一间隙;该陀螺利用压电效应进行陀螺驱动。同时利用非接触式的平衡电极给下电极施加电势,使得陀螺结构得到了优化。该微陀螺的制作方法采用MEMS加工工艺,制作工艺简单,可靠性高,能保证较低的成本和较高的成品率。本发明体积小,结构简单,加工工艺易于实现,适用于批量化生产。
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公开(公告)号:CN102846301A
公开(公告)日:2013-01-02
申请号:CN201210057074.X
申请日:2012-03-06
Applicant: 上海交通大学
IPC: A61B1/00
Abstract: 本发明公开一种内窥镜照度的智能调节装置,包括医用内窥镜、图像采集卡、信号处理器、控制器、开关电源模块和冷光源;冷光源发出的光送入医用内窥镜,医用内窥镜将光信号转变成图像信号,并通过其图像输出接口将图像信号经图像采集卡传送给信号处理器;信号处理器接收图像采集卡传送的图像信号并进行处理,通过建立经典彩色图像及其色彩特征数据库,对实时采集的图像进行偏色校正、图像亮度校正,并将冷光源照度输出控制指令传送给控制器;控制器根据接收到的信号处理器控制指令,改变开关控制信号输出相位,使得开关电源模块输出的直流电压产生相应的变化,进而改变了冷光源的工作电压,冷光源输出照度获得优化调节。
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公开(公告)号:CN102706337A
公开(公告)日:2012-10-03
申请号:CN201210150615.3
申请日:2012-05-07
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5642
Abstract: 本发明公开一种压电圆盘微机械陀螺,包括:一个具有支撑柱的圆盘谐振子;驱动电极、检测电极、监测电极和平衡电极各三个。所述三个驱动电极、三个检测电极、三个监测电极和三个平衡电极分别沿圆盘谐振子端面一周分布配置。本发明利用圆盘谐振子的特殊振动模态进行工作,给圆盘谐振子上的三个驱动电极施加交流电压,由逆压电效应产生圆盘谐振子在驱动模态振动。当存在输入角速度时,圆盘谐振子的振型向检测模态转变,利用检测电极处压电正效应产生的敏感信号,经外围电路处理得到输入角速度信号。本发明结构简单、小体积、具有高Q值等特点且不需要真空封装。
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公开(公告)号:CN103344227B
公开(公告)日:2016-04-13
申请号:CN201310245384.9
申请日:2013-06-20
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5698 , G01C25/00
Abstract: 本发明涉及一种静电驱动压电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法,包括:一个不带释放孔的圆盘振子,一个圆柱形的支撑柱,分布于基板上的驱动电极、平衡电极和隔离电极,以及分布于圆盘振子上的检测电极。所述检测电极分布于所述圆盘振子上;所述驱动电极、所述平衡电极和所述隔离电极呈圆周分布于所述基板上并位于所述圆盘振子下方,同时与所述圆盘振子平行且有一间隙。该陀螺利用压电效应的检测原理,提取形变信号。同时利用非接触式的平衡电极给下电极施加电势,使得陀螺结构得到了优化。该微陀螺的制作方法采用MEMS加工工艺,制作工艺简单,可靠性高,能保证较低的成本和较高的成品率。本发明体积小,结构简单,适用于批量化生产。
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公开(公告)号:CN103322996B
公开(公告)日:2016-04-13
申请号:CN201310245590.X
申请日:2013-06-20
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5719 , G01C19/5769
Abstract: 本发明涉及一种电磁驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法,包括:一个不带释放孔的圆盘振子,与一个圆柱形的支撑柱,以及分布于基板上的与谐振子有一定间隙的电磁驱动线圈、检测电极和公共电极。该微陀螺的制作方法采用MEMS加工工艺,制作工艺简单,可靠性高,能保证较低的成本和较高的成品率。该陀螺利用非接触式的驱动检测电极对陀螺进行驱动检测,减小了谐振子受外界的影响。本发明体积小,结构简单,加工工艺易于实现,能够同CMOS工艺兼容,抗冲击,不需要真空封装,适用于批量化生产。
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