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公开(公告)号：CN110115581A
公开(公告)日：2019-08-13
申请号：CN201910311400.7
申请日：2019-04-18
Applicant: 上海交通大学
IPC: A61B5/0478
Abstract: 本发明提供一种具有增强型褶皱微结构的柔性脑机接口电极及制备方法，电极包括：基底，在所述基底上方设置弹性聚合物薄膜形成弹性聚合物基底，所述弹性聚合物薄膜中掺入硅油，在所述弹性聚合物基底上沉积第一层聚合物薄膜，通过沉积所述第一层聚合物薄膜作为绝缘层，褶皱自发生成。本发明相比于未经过硅油处理的弹性聚合物基底，褶皱幅值明显增大，比表面积显著提高；制备方法与微机电系统工艺兼容性强，获得的增强型褶皱在后续图形化电极层和聚合物封装层过程中，形貌始终保持不变；可以有效提高电镀电极改性材料和电极界面的结合力，保证稳定可靠的电化学性能，因此本发明在微型柔性电生理传感器尤其是脑机接口电极领域存在广泛的应用价值。
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公开(公告)号：CN105428488B
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201511004826.6
申请日：2015-12-28
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种基于金丝球焊法的光刺激神经电极器件及其制备方法，包括：一、制作图形化底层聚酰亚胺绝缘层并开方形孔；二、制作中间电路层；三、制作图形化顶层聚酰亚胺绝缘层，在相同位置开方形孔和圆形孔；四、将微型LED裸芯片放置在两层聚酰亚胺方形孔内，在微型LED裸芯片四周涂抹瞬干胶；五、金丝球焊法连接微型LED裸芯片与金电路层；六、涂抹环氧树脂胶实现封装；七、腐蚀牺牲层，完成电极释放。本发明极主要目的是为微型LED裸芯片供电，LED发光对特定基因转染的实验动物进行光刺激；工艺简单，LED布置灵活，可根据不同刺激区域制备不同样式的器件，为植入式医疗设备开发和神经科学研究提供了一种新型工具。
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公开(公告)号：CN105169554A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510582927.5
申请日：2015-09-14
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种视觉假体柔性神经微电极焊盘的制备方法，包括：在基底上沉积一层聚对二甲苯薄膜；利用溅射、光刻和离子束刻蚀工艺形成图形化的金属薄层，旋涂光刻胶并露出所有焊点孔，通过反应离子刻蚀刻蚀掉焊点孔下方的聚对二甲苯；在焊盘端每一个环形金属焊点上利用光刻形成环形聚酰亚胺，并露出环形金属焊点孔周围的局部金区域；在环形聚酰亚胺上方利用溅射、光刻和离子束刻蚀工艺形成环形金属薄层；通过电镀金属工艺实现环形聚酰亚胺上、下环形金层的连接；沉积一层聚对二甲苯薄膜用来封装，通过反应离子刻蚀暴露出环形金属导电窗口，再从基底上释放包括焊盘在内的整个电极。本发明保证了电极的透明性、低渗透性和生物相容性。
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公开(公告)号：CN111134654B
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN201911357618.2
申请日：2019-12-25
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种集成内部金属屏蔽层的光电神经探针及制备方法，包括：电生理信号记录通道，用于将神经电信号从电极点传导至采集系统的通路；激光二极管供电通道，用于将脉冲式的电流或者电压信号传导至神经探针基部的焊盘处用于驱动激光二极管工作的通路；金属屏蔽层，集成于电生理信号记录通道与激光二极管供电通道之间。本发明不但具有神经信号记录和光刺激功能，其在探针基部集成的中间金属屏蔽层，将电生理信号记录通道和激光二极管的供电通道分层隔离，使电生理通道记录到的电磁干扰产生的刺激跟随伪迹有很大的衰减，降低了在动物体内进行光遗传实验中刺激跟随伪迹对神经动作电位造成的污染。本发明采用MEMS工艺，具有较高的复现性。
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公开(公告)号：CN110327544B
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN201910537043.6
申请日：2019-06-20
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种植入式高密度电极点柔性探针电极及制备方法，电极包括聚合物绝缘层和金属层，将聚合物绝缘层和金属层由下到上依次交叠布置，形成由多层聚合物绝缘层和多层金属层构成的电极结构，且每层金属层包覆于聚合物绝缘层之间，使间隔布置的金属层之间电气绝缘；电极的上表面、下表面以及一侧或两侧面设置电极点，在电极上形成表面电极点和侧面电极点。本发明提供了一种侧面分布的电极点的设计方案，在电极的上表面、下表面、侧面均分布电极点，相对于普通的表面电极点，侧面电极点的分布方式具有更高的电极点密度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111134654A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201911357618.2
申请日：2019-12-25
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种集成内部金属屏蔽层的光电神经探针及制备方法，包括：电生理信号记录通道，用于将神经电信号从电极点传导至采集系统的通路；激光二极管供电通道，用于将脉冲式的电流或者电压信号传导至神经探针基部的焊盘处用于驱动激光二极管工作的通路；金属屏蔽层，集成于电生理信号记录通道与激光二极管供电通道之间。本发明不但具有神经信号记录和光刺激功能，其在探针基部集成的中间金属屏蔽层，将电生理信号记录通道和激光二极管的供电通道分层隔离，使电生理通道记录到的电磁干扰产生的刺激跟随伪迹有很大的衰减，降低了在动物体内进行光遗传实验中刺激跟随伪迹对神经动作电位造成的污染。本发明采用MEMS工艺，具有较高的复现性。
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公开(公告)号：CN106178259B
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201610634986.7
申请日：2016-08-04
Applicant: 上海交通大学
IPC: A61N1/36 , A61N1/04 , A61B5/0492
Abstract: 本发明提供一种大鼠腿部肌肉电刺激和肌电信号采集柔性器件及制备方法，所述柔性器设有多条独立的指状电极，每条指状电极之间存在一定间隙；每条指状电极上按照一定间距分布有多个刺激电极，每个刺激电极周围分布有多个地电极，用于有效控制电流扩散范围、准确控制微电刺激区域；整个柔性器件的中心对称线上分布有多个记录电极，临近记录电极分布有参比电极；所述柔性器件同时集成有微电刺激接口和肌电信号采集接口，能够同步施加微电刺激并记录不同位置的肌电信号。本发明将功能性电刺激和肌电信号采集功能集成，优化的器件结构和聚合物材料柔性保证了贴附时具有良好保形性，以及刺激电流和电生理信号有效传递。
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公开(公告)号：CN110367977A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201910560592.5
申请日：2019-06-26
Applicant: 上海交通大学
IPC: A61B5/0478
Abstract: 本发明提供了一种光电集成可拉伸柔性神经电极及制备方法，柔性神经电极包括第一层弹性基底、光刺激电极、第二层弹性基底及记录电极；其中，光刺激电极和记录电极均采用蛇形弯曲布线结构；光刺激电极的下表面设置第一二氧化硅层，第一二氧化硅层与第一弹性基底发生缩合反应产生的强化学键使所述光刺激电极粘合在第一弹性基底表面；光刺激电极的上表面上设置第二层弹性基底，记录电极的下表面设置第二二氧化硅层，第二二氧化硅层与第二弹性基底发生缩合反应产生的强化学键使记录电极粘合在第二弹性基底表面，使记录电极与光刺激电极集成一体结构。本发明的柔性神经电极可以长期植入，具有高度柔性，能够承受脑组织膨胀收缩等变形影响。
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公开(公告)号：CN107585735A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：CN201710869123.2
申请日：2017-09-22
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种人工耳蜗及其制备方法，所述人工耳蜗电极设有屏蔽电极点之间串扰的结构，屏蔽电极点之间串扰的结构是指每一个电极点被地线包围，每个电极点之间互相屏蔽，每一个电极点和地线之间的电场均匀分布于该结构之间,保证了相邻电极点之间不会出现串扰。所述方法是在衬底上先做一层牺牲层，在其上旋涂一层聚合物，在聚合物上溅射一层金属为金属层，在制作这一层时将电极点的周围包围一圈，作为地线，最后再做一层聚合物做绝缘层，并将电极释放，最后用PDMS进行封装。本发明工艺简单易实现、易与微加工工艺相结合，减小电流的扩散，使得电场分布集中于电极点和地线之间，减小相邻电极点之间信号发生串扰，提高刺激区域的准确性。
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公开(公告)号：CN105169554B
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201510582927.5
申请日：2015-09-14
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种视觉假体柔性神经微电极焊盘的制备方法，包括：在基底上沉积一层聚对二甲苯薄膜；利用溅射、光刻和离子束刻蚀工艺形成图形化的金属薄层，旋涂光刻胶并露出所有焊点孔，通过反应离子刻蚀刻蚀掉焊点孔下方的聚对二甲苯；在焊盘端每一个环形金属焊点上利用光刻形成环形聚酰亚胺，并露出环形金属焊点孔周围的局部金区域；在环形聚酰亚胺上方利用溅射、光刻和离子束刻蚀工艺形成环形金属薄层；通过电镀金属工艺实现环形聚酰亚胺上、下环形金层的连接；沉积一层聚对二甲苯薄膜用来封装，通过反应离子刻蚀暴露出环形金属导电窗口，再从基底上释放包括焊盘在内的整个电极。本发明保证了电极的透明性、低渗透性和生物相容性。
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