绝缘栅型半导体器件
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1705136A

    公开(公告)日:2005-12-07

    申请号:CN200510054479.8

    申请日:2005-03-08

    CPC classification number: H01L29/66348 H01L29/0834 H01L29/1095 H01L29/7397

    Abstract: 提供一种在CSTBT中能够控制栅极电容和短路电流且抑制了阈值电压偏离的绝缘栅型半导体器件。作为在P基极区域(104)和半导体衬底(103)之间形成、并且具有比半导体衬底(103)的杂质浓度高的载流子存储层(113)的CSTBT,其栅电极(110)周边部分的P基极区域(104)部具有沟道功能,在载流子存储层(113)中,设沟道正下方的载流子存储层区域(113a)的杂质浓度为ND1、沟道正下方之外的载流子存储层区域(113b)的杂质浓度为ND2时,ND1<ND2。

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