线电极放电加工机及冷却控制装置

    公开(公告)号:CN103906594A

    公开(公告)日:2014-07-02

    申请号:CN201280010624.0

    申请日:2012-10-30

    CPC classification number: B23H11/00 B23H1/10

    Abstract: 线电极放电加工机具有:加工液供给装置,其将加工液供给至加工槽(1);冷却装置,其对加工液进行冷却;冷却控制装置(12),其通过对冷却装置进行控制,从而对加工液的液体温度进行控制;冷却后温度传感器(21),其将刚刚由冷却装置冷却后的加工液的温度,作为冷却后液体温度而测定;以及槽内温度传感器(22),其将加工槽(1)内的加工液的温度作为槽内液体温度而测定,冷却控制装置(12)具有:第1温度反馈控制部(31X),其将冷却后液体温度反馈给针对冷却装置的指令值即冷却指令值;以及第2温度反馈控制部(33),其配置在第1温度反馈控制部(31X)的外侧,并且,通过对槽内液体温度进行反馈,从而对冷却指令值进行调整,以使槽内液体温度追随目标温度。

    放电加工装置
    13.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100417485C

    公开(公告)日:2008-09-10

    申请号:CN200480012537.4

    申请日:2004-03-01

    CPC classification number: B23H1/02 B23H7/18 B23H7/20

    Abstract: 在利用在电极(120)和被加工物(2)之间产生的放电,对被加工物(2)进行加工的放电加工装置(100)中,放电加工装置(100)的加工量计算部(70)根据电极(120)的状态,对为了加工被加工物(2)而输入的输入加工量进行修正,放电加工装置(100)的振荡控制部(40)根据修正后的输入加工量控制被加工物(2)的加工处理。由此,可以与电极(120)的状态无关,以正确的加工量进行被加工物(2)的加工。

    放电加工装置
    14.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1096326C

    公开(公告)日:2002-12-18

    申请号:CN97102548.7

    申请日:1997-02-26

    CPC classification number: B23H1/04 B23H1/06

    Abstract: 本发明要解决在放电加工热分解碳时加工极不稳定的问题。本发明在工具电极或加工物的至少一方使用有各向异性导电材料的放电加工装置中,在各向异性导电材料2的良导体面20b上,设置了连接各向同性导电体22的部分。使放电发生于各向异性导电材料2的良导电面20b上。使用导电性粘接剂23粘接各向异性导电材料2和各向同性导电体22。各向异性导电材料是热分解碳材料。热分解碳材料作为工具电极材料。纯水等不燃性加工液作为加工液。

    线放电加工机
    15.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113646118B

    公开(公告)日:2022-06-03

    申请号:CN201980094920.5

    申请日:2019-04-05

    Abstract: 在并列的各线电极(1)和被加工物(4)之间,在加工液(25)中使放电发生,由此将被加工物(4)切断的线放电加工机(100),具有:加工槽(16),其储存加工液(25);Z轴工作台(17),其配置于加工槽(16)的下部,使被加工物(4)在铅垂方向即Z轴方向移动;柱构造(21),其从Z轴工作台(17)向上方延伸,上端部与加工槽(16)内的加工液(25)的液面的最高位相比位于上方;调整机构(22),其从柱构造(21)之中的与液面的最高位相比位于上方的部分朝向下方设置,与液面的最高位相比配置于上方,对铅垂方向以外的方向上的被加工物(4)的位置或姿态进行调整;以及悬挂部,其从调整机构(22)悬挂,对被加工物(4)进行保持。

    线放电加工装置及半导体晶片的制造方法

    公开(公告)号:CN107073613B

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201480082164.1

    申请日:2014-09-24

    Abstract: 控制部(14)对切断加工和形状修正加工进行控制,切断加工是指,通过一边使被加工物(5)沿与主引导辊(1a~1d)的轴向垂直的面相对于切断线部(CL)在与切断线部(CL)垂直的方向上相对地移动,一边通过放电加工同时进行多个晶片的切断,并且将切断中途的多个晶片的一部分与被加工物(5)连结的连结部残留下来,形状修正加工是指,使多个切断线部(CL)以切断加工时的切断方向上的切断线部(CL)的轨迹一边进行放电加工、一边进行扫描,对在切断加工时切断加工出的多个切断加工面的形状同时进行修正加工。

    电解加工装置以及电解加工方法

    公开(公告)号:CN107206517A

    公开(公告)日:2017-09-26

    申请号:CN201680008386.8

    申请日:2016-02-26

    Abstract: 本发明提供一种既能够将加工电极相对于工作物的相对扫描速度抑制为较低,又能够改善加工表面的粗糙度的技术。电源(10)向加工电极(20)与工作物(1)之间施加用于使电解加工用的电流流动的电压。加工电极(20)从工作物(1)分离配置,并且,能够沿着工作物(1)的表面方向相对扫描。电解液供给部(30)向加工电极(20)与工作物(1)之间供给电解加工用的电解液(3)。充电控制机构(40)利用适当方法消除存储在加工电极(20)与工作物(1)之间的电荷。

    线放电加工装置、线放电加工方法及控制装置

    公开(公告)号:CN105939807B

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201380081685.0

    申请日:2013-12-19

    Inventor: 桥本隆 汤泽隆

    CPC classification number: B23H1/02 B23H1/022 B23H7/02 B23H7/04

    Abstract: 线放电加工装置具有:加工部,其通过从被加工物切除外框部分而形成作为内侧部分的产品部位;以及控制装置(2),其控制加工部,加工部以将外框部分与产品部位的边界之中的一部分作为切割剩余部分而剩余的方式对边界之中的第1边界区域进行加工,然后,在成为产品部位的部件与成为外框部分的部件利用导电性部件连接之后,对边界之中的切割剩余部分即第2边界区域进行加工,从而从所述外框部分切除产品部位,并且,在加工被加工物时,对第1边界区域反复进行多次加工,并对第2边界区域反复进行多次加工,控制装置(2)在将n设为大于或等2的自然数的情况下,基于对第1边界区域进行了加工时的加工状况,在对第1边界区域第n次进行加工时的第1加工条件、和对第2边界区域第n次进行加工时的第2加工条件中设定不同的加工条件。

    放电加工装置以及放电加工方法

    公开(公告)号:CN102821901A

    公开(公告)日:2012-12-12

    申请号:CN201180016489.6

    申请日:2011-03-29

    CPC classification number: B23H7/02 B23H7/107 B23H7/14

    Abstract: 具备:加工电极(2),是通过卷绕于多个导辊(7a~7d)从而针对被加工物(1)具有多个对置部(2a~2j)的一根导线;驱动部件(3、6),使所述被加工物(1)与多个所述对置部(2a~2j)的相对距离变化;以及多个脉冲发生部件(4a~4j),在所述被加工物(1)与多个所述对置部(2a~2j)之间分别单独地施加放电加工脉冲,其中,控制多个所述脉冲发生部件(4a~4j),以使向相邻的所述对置部(2a~2j)的放电加工脉冲的施加开始时刻不会成为同时。

    液质调整装置、液质调整方法以及线电极放电加工装置

    公开(公告)号:CN102655974A

    公开(公告)日:2012-09-05

    申请号:CN200980162996.3

    申请日:2009-12-18

    CPC classification number: B23H7/10 B23H1/10 B23H7/02

    Abstract: 本发明所涉及的液质调整装置具有:纯水化单元(9),其使加工液脱离子化;防腐蚀单元(8),其将加工液中的离子交换为防腐蚀离子;导电率测定单元(10),其对加工液的导电率的实际测量值进行测定;存储单元(11),其预先存储上述加工液中的可加工的导电率的上限值即第一基准值、下限值即第二基准值、处于第一基准值和第二基准值之间的第三基准值;以及控制单元(12、13),其基于存储在该存储单元(11)中的基准值和由上述导电率测定单元(10)测定的加工液的导电率实际测量值进行控制,在加工液的导电率超过第一基准值的情况下,仅向纯水化单元(9)通水,如果加工液的导电率低于第二基准值,则停止向纯水化单元(9)通水,并且仅向上述防腐蚀单元(8)通水,如果加工液的导电率超过第三基准值,则停止向防腐蚀单元(8)通水。

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