公开(公告)号：CN108388079A

公开(公告)日：2018-08-10

申请号：CN201810067086.8

申请日：2018-01-24

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 裵信孝 ,  权纯亨 ,  朴贤 ,  白载烈 ,  周范俊 ,  崔有廷 ,  韩权愚

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/115

CPC classification number: G03F7/092 ,  C08G59/245 ,  C08G59/4238 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/094 ,  G03F7/11 ,  H01L21/3081 ,  H01L21/3088

Abstract: 本申请公开一种抗蚀剂垫层组成物，其包含包括由化学式1和化学式2表示的部分的聚合物和溶剂，且本申请另公开一种使用所述抗蚀剂垫层组成物形成图案的方法。化学式1和化学式2的定义与实施方式中相同。[化学式1][化学式2]

公开(公告)号：CN106188535A

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：CN201510217084.9

申请日：2015-04-30

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 任相均 ,  裵信孝 ,  孙受暎 ,  李基渊 ,  权素煐 ,  金俊成 ,  金秦圭 ,  朴泰俊 ,  陈永燮

IPC: C08G69/44 ,  C08L77/12

Abstract: 本发明提供一种聚酰胺酯树脂、其制备方法及包含其的模制物品。所述聚酰胺酯树脂包含：衍生自二羧酸的重复单元；衍生自二胺的重复单元；以及由式1表示的重复单元，其中所述聚酰胺酯树脂的熔化温度(Tm)是280℃或高于280℃。所述聚酰胺酯树脂由于应用了环状酯而展现出优良的抗吸湿性、耐热性、抗变色性、流动性等特性。[式1] 其中R1是C3到C12直链、分支链或环状亚烷基。

公开(公告)号：CN110579943B

公开(公告)日：2023-04-18

申请号：CN201910501950.5

申请日：2019-06-11

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 裵信孝 ,  权纯亨 ,  朴贤 ,  白载烈 ,  周范俊 ,  崔有廷

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/11

Abstract: 本发明公开一种抗蚀剂底层组合物以及使用该抗蚀剂底层组合物形成图案的方法，所述抗蚀剂底层组合物包含具有衍生于异氰脲酸酯衍生物的结构单元的聚合物以及溶剂。

公开(公告)号：CN108388079B

公开(公告)日：2021-09-28

申请号：CN201810067086.8

申请日：2018-01-24

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 裵信孝 ,  权纯亨 ,  朴贤 ,  白载烈 ,  周范俊 ,  崔有廷 ,  韩权愚

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/115

Abstract: 本申请公开一种抗蚀剂垫层组成物，其包含包括由化学式1和化学式2表示的部分的聚合物和溶剂，且本申请另公开一种使用所述抗蚀剂垫层组成物形成图案的方法。化学式1和化学式2的定义与实施方式中相同。[化学式1][化学式2]

公开(公告)号：CN113204170A

公开(公告)日：2021-08-03

申请号：CN202110115902.X

申请日：2021-01-28

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 白载烈 ,  权纯亨 ,  金旼秀 ,  朴贤 ,  裵信孝 ,  宋大锡 ,  崔有廷

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/09

Abstract: 本发明公开一种抗蚀剂底层组合物，包含含由化学式1表示的结构单元的聚合物和溶剂，以及一种使用抗蚀剂底层组合物形成图案的方法。在化学式1中，每一个取代基与详细描述中所定义的相同。[化学式1]

公开(公告)号：CN113138532A

公开(公告)日：2021-07-20

申请号：CN202110056902.7

申请日：2021-01-15

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 崔有廷 ,  权纯亨 ,  朴贤 ,  白载烈 ,  金旼秀 ,  裵信孝 ,  宋大锡 ,  安度源

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/09

Abstract: 本发明公开一种抗蚀剂底层组合物，包含：(A)包含由化学式1表示的结构单元、由化学式2表示的化合物或其组合的聚合物；(B)包含其中由化学式3或化学式4表示的部分中的至少一个和由化学式7表示的部分彼此键结的结构的聚合物；以及(C)溶剂；且还公开一种使用抗蚀剂底层组合物形成图案的方法，化学式1到化学式4和化学式7的定义如说明书中所描述。

公开(公告)号：CN109952534A

公开(公告)日：2019-06-28

申请号：CN201780069303.0

申请日：2017-06-14

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 裵信孝 ,  金兑镐 ,  朴裕信 ,  朴惟廷 ,  宋炫知 ,  李贤洙 ,  张慧珍

IPC: G03F7/004 ,  H01L21/027 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/02 ,  G03F7/09

Abstract: 本发明提供一种有机膜组成物、一种有机膜以及一种形成图案的方法。所述有机膜组成物包含芳香族环化合物、在所述结构中包含全氟烷基的添加剂及溶剂，其中以所述添加剂的总重量100％计，以0至30重量％的量包含所述添加剂中所包含的氟(F)基，且根据条件1所测量的所述添加剂的表面张力减小率为0.1％至30％。条件1的定义与在说明书中所定义的相同。