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公开(公告)号：CN109952534A
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201780069303.0
申请日：2017-06-14
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: G03F7/004 , H01L21/027 , H01L21/3213 , H01L21/02 , G03F7/09
Abstract: 本发明提供一种有机膜组成物、一种有机膜以及一种形成图案的方法。所述有机膜组成物包含芳香族环化合物、在所述结构中包含全氟烷基的添加剂及溶剂，其中以所述添加剂的总重量100％计，以0至30重量％的量包含所述添加剂中所包含的氟(F)基，且根据条件1所测量的所述添加剂的表面张力减小率为0.1％至30％。条件1的定义与在说明书中所定义的相同。
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