公开(公告)号：CN112953437B

公开(公告)日：2024-06-11

申请号：CN202110295452.7

申请日：2017-01-25

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  姜仁瑛 ,  申兰姬 ,  孙晋淑

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/05 ,  H03H9/17

Abstract: 提供了一种体声波谐振器和滤波器，所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，设置在所述基板之上；压电主体，设置在所述第一电极上，并包括具有掺杂材料的氮化铝；以及第二电极，设置在所述压电主体上，其中，所述压电主体沿厚度方向包括多个区域，并且所述多个区域至少包括第一区域和第二区域，所述第一区域的在c轴方向上的晶格常数与在a轴方向上的晶格常数的比c/a，大于所述第二区域的在c轴方向上的晶格常数与在a轴方向上的晶格常数的比c/a。

公开(公告)号：CN114006596A

公开(公告)日：2022-02-01

申请号：CN202110067710.6

申请日：2021-01-19

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  金龙石 ,  尹湘基 ,  孙晋淑 ,  申兰姬

IPC: H03H9/17 ,  H03H3/02 ,  H03H9/02 ,  H03H9/05

Abstract: 本公开提供一种声波谐振器和用于制造声波谐振器的方法。所述声波谐振器包括：谐振器，具有中央部和延伸部，在所述中央部中，第一电极、压电层和第二电极顺序地堆叠在基板上，所述延伸部沿着所述中央部的外周设置，并且在所述延伸部中，插入层设置在所述压电层下方，其中，所述插入层包括注入氟(F)的SiO2薄膜。

公开(公告)号：CN108023560B

公开(公告)日：2021-10-29

申请号：CN201710999415.8

申请日：2017-10-24

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 庆济弘 ,  孙晋淑 ,  李华善 ,  李尚泫

IPC: H03H3/02 ,  H03H9/02 ,  H03H9/05 ,  H03H9/17

Abstract: 本发明提供一种包括体声波谐振器及制造体声波谐振器的方法。所述体声波谐振器包括：基板，基板保护层设置在所述基板的顶表面上；膜层，与所述基板限定腔；以及谐振部，设置在所述膜层上。所述膜层包括第一层和第二层，所述第二层具有与所述第一层的材料相同的材料，并且所述第二层的密度大于所述第一层的密度。

公开(公告)号：CN112953437A

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN202110295452.7

申请日：2017-01-25

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  姜仁瑛 ,  申兰姬 ,  孙晋淑

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/05 ,  H03H9/17

Abstract: 提供了一种体声波谐振器和滤波器，所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，设置在所述基板之上；压电主体，设置在所述第一电极上，并包括具有掺杂材料的氮化铝；以及第二电极，设置在所述压电主体上，其中，所述压电主体沿厚度方向包括多个区域，并且所述多个区域至少包括第一区域和第二区域，所述第一区域的在c轴方向上的晶格常数与在a轴方向上的晶格常数的比c/a，大于所述第二区域的在c轴方向上的晶格常数与在a轴方向上的晶格常数的比c/a。

公开(公告)号：CN112688659A

公开(公告)日：2021-04-20

申请号：CN202010776725.5

申请日：2020-08-05

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  韩相宪 ,  申兰姬 ,  孙晋淑

IPC: H03H9/17 ,  H03H9/02

Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器可包括：基板；谐振器单元，包括设置在所述基板上的第一电极、设置在所述第一电极上的压电层以及设置在所述压电层上的第二电极；以及保护层，设置在所述谐振器单元的表面上。所述保护层利用金刚石膜形成，并且所述金刚石膜的晶粒尺寸为50nm或更大。

公开(公告)号：CN111245395A

公开(公告)日：2020-06-05

申请号：CN201910974183.X

申请日：2019-10-14

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  金锺范 ,  安民宰 ,  孙晋淑

IPC: H03H9/17

Abstract: 本公开提供了一种声波谐振器，所述声波谐振器包括：基板；谐振部，设置在所述基板上，并且包括第一电极、压电层和第二电极；保护层，设置在所述谐振部的上部上；以及疏水层，形成在所述保护层上，并且所述保护层包括堆叠在所述第二电极上的第一保护层和堆叠在所述第一保护层上的第二保护层，其中，所述第二保护层的密度高于所述第一保护层的密度。

公开(公告)号：CN111010113A

公开(公告)日：2020-04-14

申请号：CN201910720464.2

申请日：2019-08-06

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  孙晋淑 ,  庆济弘 ,  金成善 ,  申兰姬 ,  李华善

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/05 ,  H03H9/13 ,  H03H9/17

Abstract: 本公开提供了一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：基板；种子层，设置在所述基板上，并且所述种子层具有六方晶体结构；底电极，设置在所述种子层上；压电层，至少部分地设置在所述底电极上；以及顶电极，设置在所述压电层上，其中，所述底电极和所述顶电极中的任意一个或两个包括含钪(Sc)铝合金层。

公开(公告)号：CN107689781A

公开(公告)日：2018-02-13

申请号：CN201710060870.1

申请日：2017-01-25

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  姜仁瑛 ,  申兰姬 ,  孙晋淑

IPC: H03H3/02 ,  H03H9/02 ,  H03H9/17

CPC classification number: H03H9/171 ,  H03H3/02 ,  H03H9/02015 ,  H03H9/173 ,  H03H9/54 ,  H03H9/02039 ,  H03H9/02047 ,  H03H9/172 ,  H03H2003/023

Abstract: 提供了一种体声波谐振器、滤波器和体声波谐振器的制造方法，所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，设置在基板之上；压电主体，设置在第一电极上，并包括多个压电层，所述多个压电层中的每个包括具有掺杂材料的氮化铝；第二电极，设置在压电主体上，其中，所述多个压电层中的至少一个是在压应力下形成的受压压电层。

公开(公告)号：CN114448378A

公开(公告)日：2022-05-06

申请号：CN202110768025.6

申请日：2021-07-07

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  丁大勳 ,  申兰姬 ,  孙晋淑 ,  李华善 ,  严在君

IPC: H03H9/02

Abstract: 提供一种体声波谐振器及声波谐振器。所述体声波谐振器包括：基板；谐振部，包括顺序地堆叠在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极；以及温度补偿层，设置在所述压电层的上方和下方中的至少一个处，其中，所述温度补偿层的材料的热膨胀系数的符号与所述压电层的材料的热膨胀系数的符号相反，并且其中，所述温度补偿层的厚度与所述压电层的厚度的关系满足下式：0.25≤温度补偿层的厚度/压电层的厚度≤0.33。

公开(公告)号：CN108233888B

公开(公告)日：2021-10-29

申请号：CN201711382939.9

申请日：2017-12-20

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  庆济弘 ,  孙晋淑 ,  李华善 ,  申兰姬

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/05 ,  H03H9/17 ,  H03H3/02

Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器及包括该体声波谐振器的滤波器。所述体声波谐振器包括：基板；及谐振部，包括顺序地设置在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极。所述第一电极和所述第二电极中的任意一个或两个包括钼(Mo)和钽(Ta)的合金。