公开(公告)号：CN111245395B

公开(公告)日：2023-10-27

申请号：CN201910974183.X

申请日：2019-10-14

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  金锺范 ,  安民宰 ,  孙晋淑

IPC: H03H9/17

Abstract: 本公开提供了一种声波谐振器，所述声波谐振器包括：基板；谐振部，设置在所述基板上，并且包括第一电极、压电层和第二电极；保护层，设置在所述谐振部的上部上；以及疏水层，形成在所述保护层上，并且所述保护层包括堆叠在所述第二电极上的第一保护层和堆叠在所述第一保护层上的第二保护层，其中，所述第二保护层的密度高于所述第一保护层的密度。

公开(公告)号：CN111245395A

公开(公告)日：2020-06-05

申请号：CN201910974183.X

申请日：2019-10-14

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  金锺范 ,  安民宰 ,  孙晋淑

IPC: H03H9/17

Abstract: 本公开提供了一种声波谐振器，所述声波谐振器包括：基板；谐振部，设置在所述基板上，并且包括第一电极、压电层和第二电极；保护层，设置在所述谐振部的上部上；以及疏水层，形成在所述保护层上，并且所述保护层包括堆叠在所述第二电极上的第一保护层和堆叠在所述第一保护层上的第二保护层，其中，所述第二保护层的密度高于所述第一保护层的密度。