体声波谐振器
    14.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108649921B

    公开(公告)日:2023-08-25

    申请号:CN201810455217.X

    申请日:2012-06-04

    Abstract: 提供了一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括:基底;空气空腔,设置在第一电极之下;体声波谐振单元,设置在空气空腔之上,并且包括第一电极、第二电极和设置在第一电极和第二电极之间的压电层;第一反射层,设置在第二反射层与第二电极之间;第二反射层,设置在第一反射层与空气空腔之间,其中,第二反射层具有与第一反射层不同的声阻抗,其中,第一反射层包括用于补偿体声波谐振单元的频率温度系数TCF的至少一种材料,使得所述第一反射层包括:材料,被构造为在反射层中具有设定的较低的声阻抗特性;材料,被构造为提供被设置为将体声波谐振单元的TCF补偿为近似为零的设置的TCF补偿特性。

    体声波谐振器
    15.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108649921A

    公开(公告)日:2018-10-12

    申请号:CN201810455217.X

    申请日:2012-06-04

    Abstract: 提供了一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括:基底;空气空腔,设置在第一电极之下;体声波谐振单元,设置在空气空腔之上,并且包括第一电极、第二电极和设置在第一电极和第二电极之间的压电层;第一反射层,设置在第二反射层与第二电极之间;第二反射层,设置在第一反射层与空气空腔之间,其中,第二反射层具有与第一反射层不同的声阻抗,其中,第一反射层包括用于补偿体声波谐振单元的频率温度系数TCF的至少一种材料,使得所述第一反射层包括:材料,被构造为在反射层中具有设定的较低的声阻抗特性;材料,被构造为提供被设置为将体声波谐振单元的TCF补偿为近似为零的设置的TCF补偿特性。

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