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公开(公告)号:CN106537564A
公开(公告)日:2017-03-22
申请号:CN201580038048.4
申请日:2015-08-05
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: H01L21/312 , H01L21/768 , H01L23/532
Abstract: 本发明涉及一种密封组合物,其含有:具有阳离子性官能团且重均分子量为2000~1000000的聚合物(A)、以及苯并三唑化合物,所述聚合物(A)的含量相对于密封组合物100质量份为0.05质量份~0.20质量份,所述密封组合物中的所述苯并三唑化合物的含量为3质量ppm~200质量ppm,所述密封组合物的pH为3.0~6.5。
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公开(公告)号:CN112805813B
公开(公告)日:2024-08-13
申请号:CN201980066019.7
申请日:2019-11-19
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: H01L21/316 , C23C16/40
Abstract: 一种半导体元件中间体的制造方法,其包括下述工序:准备表面具有凹部的基板的准备工序;将上述基板的温度设为250℃以上,通过原子层沉积法,使用包含下述通式(1)所示的化合物的氧化锡前体,向上述凹部填充氧化锡的填充工序。通式(1)中,R1~R4各自独立地表示碳原子数1~6的烷基。#imgabs0#
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公开(公告)号:CN113574086A
公开(公告)日:2021-10-29
申请号:CN202080020547.1
申请日:2020-03-31
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: C08G59/22 , C08G65/18 , H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 一种光固化性组合物,其用于形成凹凸结构体的树脂层,所述凹凸结构体具备基板、以及设置于该基板上且表面形成有微细凹凸的所述树脂层。该光固化性组合物的固化膜的基于Kitazaki‑Hata的理论测定得到的表面自由能为15mJ/m2~40mJ/m2,使用纳米压痕仪测定得到的硬度为0.05GPa~0.5GPa。
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公开(公告)号:CN108292604A
公开(公告)日:2018-07-17
申请号:CN201680066750.6
申请日:2016-11-16
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: H01L21/312 , C08K5/092 , C08L101/02
CPC classification number: C08K5/092 , C08L101/02
Abstract: 一种半导体用膜组合物,其包含:化合物(A),具有包含伯氮原子和仲氮原子中至少一者的阳离子性官能团、且重均分子量为1万以上40万以下;交联剂(B),在分子内具有3个以上-C(=O)OX基(X为氢原子或碳数1以上6以下的烷基),3个以上-C(=O)OX基中,1个以上6个以下为-C(=O)OH基,所述交联剂(B)的重均分子量为200以上600以下;以及水(D),所述化合物(A)为脂肪族胺。
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公开(公告)号:CN107431016A
公开(公告)日:2017-12-01
申请号:CN201680018934.5
申请日:2016-03-24
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: H01L21/312 , H01L21/76
Abstract: 本发明是一种填埋平坦化膜的制造方法,其具有下述工序:第1涂布工序,在具有凹部的构件的包含上述凹部的区域,涂布包含多元胺和第1溶剂的第1涂布液而在上述凹部填埋第1涂布液;以及第2涂布工序,在包含填埋有第1涂布液的上述凹部的区域,涂布包含具有2个以上羧基的有机物和沸点为200℃以下且SP值为30(MPa)1/2以下的第2溶剂的第2涂布液。
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公开(公告)号:CN102482789A
公开(公告)日:2012-05-30
申请号:CN201080039759.0
申请日:2010-09-08
Applicant: 三井化学株式会社
CPC classification number: C25B1/003 , Y02E60/364 , Y02E60/368
Abstract: 本发明提供从含水电解液(12)生成氧气和/或氢气的气体生成装置,其具备阳极电极(2)、阴极电极(3)、多个贯通孔和气体收容部(21)。阳极电极(2)(光催化剂负载电极)具有含光催化剂层,该含光催化剂层含有通过光催化反应而从电解液(12)生成氧气的光催化剂。阴极电极(3)从通过含光催化剂层的光催化反应而在电解液(12)中生成的氢离子和电子来生成氢气。贯通孔设置在阳极电极(2)或者阴极电极(3)的至少一方,其不使电解液(12)通过且使所生成的氧气或者氢气通过。而且,气体收容部(21)收容通过了贯通孔的氧气或者氢气。
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