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公开(公告)号：CN103791811B
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201410052065.0
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于电容传感与磁浮支撑的航空发动机转子堆叠装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于磁浮回转轴系确定回转基准；依据感应同步器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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公开(公告)号：CN105425551A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201610023017.8
申请日：2016-01-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70733 , G03F7/70716
Abstract: 基于双层水冷动磁钢气磁结合气浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置属于半导体制造装备技术，该装置包括支撑框架、平衡质量块、气磁结合气浮工件台、工件台测量装置、工件台驱动装置、传感器信号传输装置，两个工件台工作于测量位和曝光位之间，采用平面光栅对工件台位置进行测量，采用双层水冷结构对线圈阵列降温，工件台采用气悬浮和平面电机驱动，双工件台交换过程中，采用平面电机驱动两个工件台实现单节拍弧线快速换台；本发明解决了现有换台方案节拍多、轨迹长、起停环节多、稳定时间长等问题，减少换台环节，缩短了换台时间，提高了光刻机的产率。
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公开(公告)号：CN105423876A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201510664439.9
申请日：2015-10-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B5/25
CPC classification number: G01B5/25
Abstract: 基于公差调控的大型高速回转装备装配测量方法及装置属于机械装配技术；大型高速回转装备固定在气浮转台上，下侧的下、上径向基准电感传感器测量大型高速回转装备径向基准面，确定两基准面的拟合圆心，以此为大型高速回转装备的几何轴线，调节大型高速回转装备使几何轴线与气浮转台轴线重合，上侧的径向测量和轴向测量电感传感器提取大型高速回转装备测量面轮廓数据，基于矩阵的平移与旋转实现对装配后同轴度的控制；本发明可有效的实现装配指导功能，提高大型高速回转装备装配质量，减轻振动，改善大型高速回转装备性能。
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公开(公告)号：CN103790653B
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：CN201410052259.0
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于气磁复合支撑的龙门式航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气磁结合回转轴系确定回转基准；依据光电编码器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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公开(公告)号：CN103790885B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201410051991.6
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 充放气速率可控式气路结构属于储气式气动执行机构；气源经由单向阀分别与贮气罐，节流阀D的一端和二位三通电磁阀A的a1端口连通，所述的二位三通电磁阀A的b1端口和c1端口分别与所述节流阀D的另一端口和二位三通电磁阀B的b2端口连通，所述的二位三通电磁阀B的a2端口和c2端口分别与二位三通电磁阀C的c3端口和气罐连通，所述的二位三通电磁阀C的b3端口和a3端口分别与节流阀E的一端和排气孔连通，所述节流阀E的另一端口与排气孔连通。本结构以空气为介质，利用空气的可压缩性，实现集中供气，大大简化了机械结构的加工及维护，且可实现工作速率的智能控制，具有结构简单、制造成本低廉、作业安全可靠、使用寿命长、适合远距离传输等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103790651B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201410052239.3
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于气/磁混合导向的航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气磁结合回转轴系确定回转基准；依据光电编码器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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公开(公告)号：CN103786044B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201410051849.1
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23Q3/00
CPC classification number: B23B31/402 , B23B31/204 , B23Q3/08 , B23Q2703/10 , Y10T279/1012 , Y10T279/1258
Abstract: 气动式精密环形工件内定位面夹持装置属于工夹器具，在筒身的上、下端面上分别固装上、下板，楔形块固装在上板上，活塞总成插装在楔形块中心孔内，且位于筒身的密闭腔室内，在活塞总成的活塞部位外圆表面上配装密封圈，叠簧套装在活塞总成上，其上、下端面分别与上板和活塞总成接触配合，在下板和筒身上分别设置进气孔和排气孔，弹性铰链块套装在楔形块外部上，限位圈嵌套在弹性铰链块外部上，通过预紧螺钉将转接板安装在活塞总成上端部上，转接板与弹性铰链块固接，调整旋钮配装在转接板上，限位螺钉和限位柱插装在转接板上，并与楔形块螺纹连接；本装置结构简单，作业质量好，可靠性高，适应能力强。
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公开(公告)号：CN103062303B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201210574787.3
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , G03F7/20
Abstract: 气浮球轴承角度解耦的磁浮零刚度隔振器与隔振系统属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板之间通过磁浮推力轴承进行承载、活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过气浮球轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度及角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的低频/超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103791831B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201410052257.1
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B7/312
Abstract: 基于四路电感传感器测量的航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于磁浮回转轴系确定回转基准；依据光栅尺确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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公开(公告)号：CN103791818B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201410052184.6
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于同心度测量的液压抓卡式航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气浮回转轴系确定回转基准；依据感应同步器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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