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公开(公告)号：CN106052549B
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201610643663.4
申请日：2016-08-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于精密测量技术领域与光学工程领域，具体涉及一种组合调零高动态精度大工作距自准直装置与方法；该装置由光源、准直镜、反射镜、以及反馈成像系统组成；该方法通过调整反射镜，使反射光束回到反馈成像系统像面中心，再利用反射镜上的角度偏转测量装置来得到被测物表面的角度变化；由于本发明在传统自准直角度测量系统上增加了反射镜，因此能够避免被测物反射光偏离测量系统而导致无法测量的问题，进而具有在相同工作距离下增加自准直工作范围，或在相同工作范围下增加工作距离的优势；此外，准直镜、反馈成像系统、反射镜等的具体设计，使本发明还具有结构简单、制作成本低；同时能够全程监测被测物装配过程；以及快速测量的技术优势。
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公开(公告)号：CN106323197B
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201610638787.3
申请日：2016-08-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明属于精密测量技术领域和光学工程领域，具体涉及便携式阵列调零高精度激光大工作距自准直装置与方法；该装置由光源、准直镜、反射镜、以及反馈成像系统组成；该方法通过调整反射镜，使反射光束回到反馈成像系统像面中心，再利用反射镜上的角度偏转测量装置来得到被测物表面的角度变化；由于本发明在传统自准直角度测量系统上增加了反射镜，因此能够避免被测物反射光偏离测量系统而导致无法测量的问题，进而具有在相同工作距离下增加自准直工作范围，或在相同工作范围下增加工作距离的优势；此外，准直镜、反馈成像系统、反射镜等的具体设计，使本发明还具有小型便携、测量精度高；同时还能监测测量环境稳定性；以及快速测量的技术优势。
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公开(公告)号：CN106248195B
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201610667672.7
申请日：2016-08-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 附加相移补偿的高鲁棒性零差激光测振仪及四步调整法属于激光测振技术领域；采用消偏振分光镜分光形成参考臂和测量臂，在参考臂和测量臂上分别引入四分之一波片和二分之一波片，采用四步调整法调整两臂中波片的偏航角度，通过改变波片的相位延迟补偿消偏振分光镜的附加相移，使干涉部分输出的参考光和测量光为正交偏振光；本发明光路调整简单，减少了光路的非线性误差，提高了光路的鲁棒性，可满足实时测量的需求，可有效解决现有技术方案中由于偏振混叠和附加相移导致光路的波片旋转角度误差对非正交误差影响显著的问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号：CN105486638B
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201510867976.3
申请日：2015-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/01
Abstract: 一种超分辨阵列扫描结构光照明成像装置及其成像方法，它涉及一种成像装置及其成像方法。本发明为了解决现有技术中的显微成像技术只能测量较薄的生物样品，平行光入射的衍射光受散射效应影响明显，测量效率低的问题。本发明包括LED光源，沿LED光源光线传播方向依次放置光强调制器，准直扩束器，扫描系统，微透镜阵列，准直透镜，分光棱镜，1/4波片，照明物镜，样品，收集透镜，CCD光强探测器以及数据采集卡；每次扫描得到的探测光斑直接在像面进行叠加得到最初的探测数据，每个方向进行三次不同相位照明的扫描，经过图像重构得到超分辨图像。本发明拓宽空间频域带宽，适用于工业形貌及厚生物样品成像的测量领域。
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公开(公告)号：CN106247992B
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：CN201610639007.7
申请日：2016-08-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于精密测量技术领域与光学工程领域，具体涉及一种高精度、宽范围和大工作距自准直装置与方法；该装置由光源、准直镜、反射镜、以及反馈成像系统组成；该方法通过调整反射镜，使反射光束回到反馈成像系统像面中心，再利用反射镜上的角度偏转测量装置来得到被测物表面的角度变化；由于本发明在传统自准直角度测量系统上增加了反射镜，因此能够避免被测物反射光偏离测量系统而导致无法测量的问题，进而具有在相同工作距离下增加自准直工作范围，或在相同工作范围下增加工作距离的优势；此外，准直镜、反馈成像系统、反射镜等的具体设计，使本发明还具有结构简单、制作成本低；尤其低采样频率下具有高测量精度；以及快速测量的技术优势。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106225730B
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：CN201610638880.4
申请日：2016-08-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于精密测量技术领域和光学工程领域，具体涉及便携式组合调零高精度激光大工作距自准直装置与方法；该装置由光源、准直镜、反射镜、以及反馈成像系统组成；该方法通过调整反射镜，使反射光束回到反馈成像系统像面中心，再利用反射镜上的角度偏转测量装置来得到被测物表面的角度变化；由于本发明在传统自准直角度测量系统上增加了反射镜，因此能够避免被测物反射光偏离测量系统而导致无法测量的问题，进而具有在相同工作距离下增加自准直工作范围，或在相同工作范围下增加工作距离的优势；此外，准直镜、反馈成像系统、反射镜等的具体设计，使本发明还具有小型便携、测量精度高；同时还能监测测量环境稳定性；以及快速测量的技术优势。
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公开(公告)号：CN106017363B
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：CN201610639131.3
申请日：2016-08-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于精密测量技术领域与光学工程领域，具体涉及一种高动态精度大工作距自准直装置与方法；该装置由光源、准直镜、反射镜、以及反馈成像系统组成；该方法通过调整反射镜，使反射光束回到反馈成像系统像面中心，再利用反射镜上的角度偏转测量装置来得到被测物表面的角度变化；由于本发明在传统自准直角度测量系统上增加了反射镜，因此能够避免被测物反射光偏离测量系统而导致无法测量的问题，进而具有在相同工作距离下增加自准直工作范围，或在相同自准直工作范围下增加工作距离的技术优势；此外，准直镜、反馈成像系统、反射镜等的具体设计，使本发明还具有结构简单、制作成本低；同时能够全程监测被测物装配过程；以及快速测量的技术优势。
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公开(公告)号：CN109270805A
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201811358472.9
申请日：2018-11-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70358 , G03F7/70725
Abstract: 本发明公开一种无线缆式双向扫描装置；通过串行线圈驱动阵列磁钢模块进行往复直线运动，消除了现有技术中线缆力对运动及定位精度的影响，同时通过设置相应气浮结构对直线运动进行支承和导向，并最终通过结合反馈控制，达到双向扫描的目的。本发明可建立一种高速、高频、高精度的双向扫描装置。
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公开(公告)号：CN109187640A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201810907221.5
申请日：2018-08-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 接触或非接触复合原理纳米传感方法与装置属于精密传感与测量技术；本发明针对导体被测物采用量子隧穿原理传感，首先将被测物和微测球的瞄准间隙调整至隧穿工作区间，然后通过量子隧穿效应的产生将瞄准间隙转化为传感信号；针对非导体被测物采用接触探测原理传感，微测球接触被测物后其位移由弹性传递机构传递至敏感单元并转化为传感信号；本发明还提供了一种复合原理纳米传感装置；本发明在测量导体被测物时有效兼顾了纳米分辨力、三维各向同性和非接触式传感特性，同时也可针对非导体被测物进行测量，可实现大深宽比微纳/微小结构的高分辨力测量。
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公开(公告)号：CN108051414B
公开(公告)日：2019-01-08
申请号：CN201711242277.5
申请日：2017-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京锐驰恒业仪器科技有限公司
Abstract: 变焦光镊双光子显微成像装置和方法，属于光学显微成像与光学操控技术领域。本发明专利的技术特点是：装置包括：双光子照明模块、双光子扫描模块、双光子探测模块、光镊聚焦模块和光镊轴向调焦模块。本发明在常规光镊显微系统中增加由偏振分光镜、四分之一波片、低孔径物镜、管镜和平面反射镜组成的轴向调焦装置，实现共光路光镊双光子显微镜中光镊焦面的轴向移动，从而抓取悬浮样品实现轴向移动，完成双光子三维层析扫描成像。该发明具有装调简单，变焦与轴向层析速度快，和观测成本低的优点。
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