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公开(公告)号：CN109682710B
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN201910067908.7
申请日：2019-01-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种用于TEM构效关联间接原位表征的芯片及其制作方法，芯片包括主芯片及辅芯片，其中，主芯片包括：检测悬臂梁、主芯片凹槽、具有观测孔的观测悬臂梁、主芯片窗口及气孔；辅芯片包括：辅芯片窗口；通过检测悬臂梁的谐振用以检测位于检测悬臂梁上的待测样品的质量变化；主芯片及辅芯片相对设置，并分别固定于TEM样品杆上，主芯片、辅芯片及TEM样品杆之间形成闭合空间；TEM通过辅芯片窗口、观测孔及主芯片窗口观测位于观测悬臂梁上的待测样品的形貌变化。本发明可以在TEM内实现形貌变化及质量变化的间接、原位、实时表征，可广泛应用于纳米材料在气固反应过程中的TEM原位表征。
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公开(公告)号：CN112312600A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201910686367.6
申请日：2019-07-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种加热元件、微加热器及其制备方法，加热元件的制备方法包括如下步骤：1)提供一衬底；2)于所述衬底的上表面形成粘附层，并于所述粘附层的上表面形成加热元件主体层；3)于所述加热元件主体层的表面形成覆盖层，所述覆盖层覆盖所述加热元件主体层及所述粘附层。本发明的加热元件及微加热器中通过设置粘附层及覆盖层，具有高温稳定好、冷态电阻值稳定性好、使用寿命长等优点。
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公开(公告)号：CN107504964B
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN201710866384.9
申请日：2017-09-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01C19/5776
Abstract: 本发明提供一种自时钟数字式微机械陀螺∑△M闭环检测电路系统，包括：微机械陀螺仪、前置接口放大电路、多位模数转换器组件、FPGA、多位数模转换器、反馈开关及自时钟模块。本发明的自时钟数字式微机械陀螺∑△M闭环检测电路系统具有较高的自适应性、通用性和一致性。
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公开(公告)号：CN107345826B
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN201710548164.1
申请日：2017-07-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01F1/69
Abstract: 本发明提供一种热式气体流量传感器及其制备方法，结构包括：衬底，包括凹槽，开设于衬底上表面；第一介质膜，位于凹槽上方，包括若干个第一介质膜单元及槽型结构，第一介质膜单元与衬底相连接，槽型结构贯穿第一介质膜且位于相邻第一介质膜单元之间，第一介质膜与衬底围成一个隔热腔体；电阻组件，包括至少一个加热单元和至少两个热敏单元，每个加热单元与每个热敏单元位于不同的第一介质膜单元上，热敏单元位于加热单元的两侧。通过上述技术方案，本发明的热式气体流量传感器的加热电阻的热量与衬底彻底隔离，降低了加热电阻热损耗，提高了气体流量的检测灵敏度和响应时间；采用单硅片单面体硅微机械工艺制作，结构尺寸小，成本低、工艺简单。
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公开(公告)号：CN111855756A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201910350247.9
申请日：2019-04-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明提供一种基于Pd-Ag合金纳米晶氢气传感器，包括有金属氧化物敏感材料，所述金属氧化物敏感材料的表面负载有Pd-Ag合金纳米晶颗粒。本发明进一步提供一种基于Pd-Ag合金纳米晶的氢气传感器的制备方法及其应用。本发明提供的一种基于Pd-Ag合金纳米晶的氢气传感器及其制备方法，能够增强氢气传感器检测氢气的灵敏度，实现协同催化作用，其制备方法简单成熟、易于操作、价格低廉，用途先进、具有现实的应用意义，对易燃易爆气体的检测等有着积极的意义。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111792621A
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN202010640709.3
申请日：2020-07-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及微电子机械封装技术领域，特别涉及一种圆片级薄膜封装方法及封装器件，包括：获取芯片圆片；刻蚀部分所述牺牲层，在所述衬底与所述外壳之间形成横向钻蚀孔；采用蒸发或溅射工艺在所述横向钻蚀孔处沉积第一金属层，所述第一金属层具有纳米尺度的通孔；在所述第一金属层上沉积第二金属层；通过所述牺牲层释放孔释放所述牺牲层，得到待封装器件；加热所述待封装器件，加热温度介于所述第二金属层的熔点与所述第一金属层的熔点之间，使得所述第二金属层熔融铺展，从而密封所述牺牲层释放孔。通过在封装结构上设置横向钻蚀孔，横向钻蚀孔用以在金属层上形成自对准通孔，通过在通孔处沉积少量低熔点的封口金属就可以实现封口。
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公开(公告)号：CN110146136B
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN201910542657.3
申请日：2019-06-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01F1/688
Abstract: 本发明提供一种热堆式气体质量流量传感器及其制备方法，包括：衬底；与衬底相连接的带类“非”字状槽的介质膜，且介质膜与衬底共同围成一个隔热腔体；加热元件；至少两个感测元件；单晶硅热偶臂的冷端与衬底之间呈“三明治”状热沉结构。通过引入类“非”字状介质膜以及其下表面的单晶硅热偶臂的结构，即单晶硅热偶臂的热端悬空于隔热腔体上，单晶硅热偶臂的冷端与中间介质层及衬底面面接触的热沉结构，实现了单晶硅‑金属热偶对与衬底的物理隔离，减少了本发明的衬底散热，提高了传感器的灵敏度；热沉结构，增大了单晶硅热偶臂冷端的散热性能，增大了单晶硅‑金属热偶对冷端和热端温度差，从而缩短传感器的响应时间、提高传感器的量程范围。
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公开(公告)号：CN111483972A
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN201910075661.3
申请日：2019-01-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种富集器芯片结构及制备方法，制备包括：提供衬底，制备凹槽结构；制备若干个微柱结构，相邻所述微柱结构基于所述开口嵌套设置；制备微流控端口，与所述凹槽结构相连通；及提供一盖板，并将所述盖板制备于所述衬底形成有所述凹槽结构的一侧，且所述盖板至少覆盖所述凹槽结构。本发明通过在凹槽结构形成的腔体内设计嵌套设置的微柱结构阵列，可以获得大的表面积，并使得流场均匀分布，且延长气体流路路径，进而提高吸附材料的均匀性，提高吸附气体的富集率，另外，通过在腔体内表面构筑一层高比面积的介孔氧化硅，如纳米介孔氧化硅，可极大地增加腔体内的内表面积，从而进一步提高吸附材料的承载量，提高富集器芯片结构的富集率。
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公开(公告)号：CN108540014B
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201810457579.2
申请日：2018-05-14
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H02N2/18
Abstract: 本发明提供一种低频柔性能量采集器和自供能运动计数器，所述低频柔性能量采集器包括：柔性衬底；支撑块，所述支撑块位于所述柔性衬底上；悬臂梁，所述悬臂梁的第一端固定于所述支撑块上，所述悬臂梁的第二端为自由端；压电薄膜，所述压电薄膜位于所述悬臂梁的上表面；以及永磁体，所述永磁体位于所述悬臂梁自由端下方的所述柔性衬底上；其中，所述悬臂梁自由端与所述永磁体之间设有预设间距。通过本发明提供的低频柔性能量采集器和自供能运动计数器，解决了现有可穿戴能量采集器在低频运动条件下发电效率低并且供电不稳定的问题。
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公开(公告)号：CN110804650A
公开(公告)日：2020-02-18
申请号：CN201911031703.X
申请日：2019-10-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: C12Q1/6851 , C12M1/38 , C12M1/36 , C12M1/00
Abstract: 本发明公开了一种循环式数字PCR方法、循环系统、数字PCR芯片及其制备方法，该数字PCR方法包括以下步骤：S1.将经过进样处理的数字PCR芯片放置于循环系统的反应室中；S2.排空反应室内的空气，对循环系统进行加压处理；S3.启动循环系统进行PCR反应；S4.对PCR反应后的循环系统进行减压；S5.将反应室中的数字PCR芯片取出，对数字PCR芯片进行荧光信号分析。本发明芯片进样不依赖泵、阀等复杂设备，也不需使用高粘度热聚合分离油，进样完成后芯片不需要密封，操作简单；芯片厚度小，导热快，反应迅速；恒温储液箱体积大，热交换迅速，能够快速加热或冷却芯片，温度控制好，没有温度过冲；芯片结构简单，成本低。
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