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公开(公告)号：CN102501227B
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201110393208.0
申请日：2011-12-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J7/00
Abstract: 基于差动杠杆原理的柔性铰链定位装置，它涉及一种大行程高分辨率微驱动定位装置，以克服现有柔性铰链定位平台存在大行程下高分辨率较难达到的缺点。第一杠杆、第二杠杆、第一输入平台、第二输入平台和输出平台均设置在杠杆致动腔内，第一杠杆与杠杆壳体内壁通过第一柔性铰链连接，第一输入平台与第一杠杆通过第二柔性铰链连接，第二杠杆与第一输入平台通过第三柔性铰链连接，第二输入平台与第二杠杆通过第四柔性铰链连接，输出平台与第二杠杆通过第五柔性铰链连接，输出平台与杠杆壳体内壁通过第六柔性铰链和两个第七柔性铰链连接，第一致动器驱动第一输入平台，第二致动器驱动第二输入平台。本发明用于亚毫米级运动行程的精密定位。
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公开(公告)号：CN102290360B
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201110062776.2
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677
Abstract: 一种旋转角度大于1000°的T轴旋转限位结构包括T轴限位上联接盘1、一级拨榫机构组合2、一级旋转限位拨盘3、二级拨榫机构组合4、上轴承5、轴承隔套6、旋转轴7、下轴承8、二级旋转限位拨盘9、限位套10、限位块11、联接螺钉12等。完成装配后，T轴限位机构旋转的总角度达1010°，以适应集成度要求更高、能够满足多角度、多工位进行硅片传输的T轴限位旋转机构。
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公开(公告)号：CN103267481A
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN201310203134.9
申请日：2013-05-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 一种保偏光纤偏振轴的检测装置，本发明涉及一种保偏光纤偏振轴的检测装置，本发明为解决目前采用激光反射干涉法检测偏振轴方位时需要人工观察干涉条纹的变化情况，存在检测效率低、精度低、无法满足高精度保偏光纤耦合器制造要求的问题。直线电动位移平台的下端固接在工作平台的上端面上，显微镜支架固接在直线电动位移平台上，紧固板套装在直角显微镜的外壁上，直角显微镜通过紧固板固定在显微镜固定架的侧壁上，CM0S相机安装在直角显微镜上，光纤夹具安装在光纤夹具连接板上，显微视觉检测单元和卤素光源固定架相对放置，两个光纤旋转单元相对放置，两个相对平行设置的光纤夹具将保偏光纤固定。本发明用于保偏光纤偏振轴的检测。
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公开(公告)号：CN102176424B
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201110062759.9
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/68 , H01L21/677 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种结构合理，能够方便、可靠地调整双臂机械手FORK圆心重合的方法。方法通过FORK圆心基准试验台提供确定的双臂FORK圆心基准，通过FORK调整夹头来对FORK组合中的圆心进行调整。经过调整，当T轴处于零位时，可使双臂机械手末端FORK的圆心在R轴各自的旋转平面内上下重合，从而为双臂机械手运动轨迹提供了原始定位基准。
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公开(公告)号：CN103092346A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201310012630.6
申请日：2013-01-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F3/01
Abstract: 一种基于扫描电子显微镜的虚拟力反馈遥纳操作平台及实现虚拟力觉交互的方法，涉及一种基于显微镜的虚拟力反馈遥纳操作平台及方法。它解决了目前国内外普遍采用的纳米操作系统对纳米粒子或构件进行操作缺乏操作过程实时的图像信息，系统的操作效率低、灵活性差的问题。该平台包括扫描电子显微镜、纳米定位器、操作探针、样品台、触觉主手Omega.3、纳米定位控制器、上位机和样本腔体；在VC++2008环境下，开发虚拟三维纳米操作环境；通过碰撞检测算法进行碰撞检测；上位机对所获得反馈力进行力觉渲染，并反馈到触觉主手Omega.3，实现虚拟力觉交互。本发明适用于遥纳操作技术领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102176423B
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201110062770.5
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , H01L21/68
Abstract: 一种硅片传输机器人的Z轴双重限位机构。电子限位应用了光电传感器原理，属于无触点式的电子开关，限位精度高，无机械磨损、使用寿命长。机械硬限位使用金属材料，约束面积大、刚性高，有利于Z轴电机迅速产生过载力矩而报警断电，防止因电子限位失效而造成设备的其它损害。本发明限位作用可靠，在装配过程中无需调整。
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公开(公告)号：CN102126208B
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201110062722.6
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明在于提供一种用于硅片传输机器人的并联型R轴扩展机械臂，用于完成特殊位置的取放硅片工作流程。当取放硅片的位置相对于R轴回转半径变化不大而行走轨迹较为复杂时，采用并联型R轴扩展机械臂能够简化R轴的工作路径和行走轨迹，化简程序编制的难度及工作量，并能有效的提高工作效率。并联型R轴扩展机械臂的动力由独立的W/T轴电机和两个W/R轴电机提供，由计算机统一控制其工作程序；当R轴的工作轨迹在其回转半径内变化不大且呈现较为复杂状态时，并联型R轴扩展机械臂的W/T轴电机和两个W/R轴电机按计算机程序的控制，驱动执行机构开始作不同角度、不同方向的旋转，带动两个FORK组合按工作位置行进，从而额外获得以W/T轴和W/R轴为旋转中心、以前伸的FORK组合中心长度为半径的一组工作轨迹，以完成特殊位置的取放硅片工作流程。
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公开(公告)号：CN102013200B
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201010523077.9
申请日：2010-10-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G09B25/00
Abstract: 用于危化品运输的仿真运动模拟机构，它涉及一种仿真运动模拟机构。本发明解决了现有技术中没有提供用于危化品运输的仿真运动模拟机构的问题。上平台通过三个运动模拟单元与底座连接，上部旋转机构设置在上平台上，三个运动模拟单元沿底座的宽度方向成列设置在底座的上端面上；第一滑块和第二滑块穿装在导轨的上端面上，第一丝母连接座套装在第一丝杠上且二者之间螺纹连接，第一丝母连接座与第一滑块的侧壁固接，第二丝母连接座套装在第二丝杠上且二者之间螺纹连接，第二丝母连接座与第二滑块的侧壁固接。本发明的运动模拟机构采用三个运动模拟单元和上部旋转机构实现了模拟危化品运输中俯仰运动、滚转运动、振动以及加速运动、减速运动的状况。
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公开(公告)号：CN102169208A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201110101233.7
申请日：2011-04-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B6/255
Abstract: 用于光纤熔融拉伸的高压电弧产生装置，涉及用于光纤熔融拉伸的高压电弧产生装置，解决了现有氢氧焰加热的方式难以保证精度，并且不宜在对防爆要求苛刻的环境中使用的问题，它包括右电极座、左电极座、右电极、左电极、电弧通道、石英中间立板和高压电源，右电极座位于石英中间立板的右侧，左电极座位于石英中间立板的左侧，且左电极座与右电极座相对于石英中间立板对称分布，右电极竖直放置在右电极座内，左电极竖直放置在左电极座内，石英中间立板顶部中间开有圆柱形孔槽的电弧通道，右电极的上端与电弧通道的右端相邻设置，左电极的上端与电弧通道的左端相邻设置，右电极、左电极分别连接在高压电源的两个输出端，用于光纤熔融拉伸。
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公开(公告)号：CN102152316A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201110062744.2
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J17/00
Abstract: 一种硅片传输机器人R轴结构，具有更高的回转精度、联接刚度、结构简单、节省空间、特别适用于空间结构狭窄的硅片传输机器人R轴结构，包括R轴大臂外壳机构(1)、R轴大臂同步带及预紧机构(2)、同轴密封机构(3)、同步小带轮旋转机构(4)、同步大带轮旋转机构(5)、十字交叉轴承(6)、传动轴机构(7)、R轴小臂同步带及预紧机构(8)、R轴小臂外壳机构(9)等。本发明机构的特点，是使用1个十字交叉轴承(6)来取代传统结构中的一对角接触球轴承、轴承隔套、轴承压盖、轴承锁紧螺母等一系列零件组成的机构，使传动轴的长度有效减短，从而降低了R轴大小臂的高度空间，并由此引发一系列功能的改善。
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