变倍光学系统以及光学设备
    132.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117008308A

    公开(公告)日:2023-11-07

    申请号:CN202310878086.7

    申请日:2019-12-20

    Abstract: 本发明提供一种变倍光学系统以及光学设备。变倍光学系统由第1透镜组和后组构成,所述第1透镜组具有负的光焦度,所述后组配置于所述第1透镜组的像侧,并具备至少一个透镜组,在进行变倍时,相邻的各透镜组之间的间隔变化,所述第1透镜组从物体侧依次由负弯月形透镜、负弯月形透镜、双凹负透镜及双凸正透镜构成,所述后组从最靠物体侧依次具备具有正的光焦度的第2透镜组及具有正的光焦度的第3透镜组,所述变倍光学系统满足基于预定条件式的条件。

    摄像元件以及摄像装置
    133.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116995084A

    公开(公告)日:2023-11-03

    申请号:CN202310975241.7

    申请日:2017-02-28

    Inventor: 松本繁 高木彻

    Abstract: 一种摄像元件具备:具有设有光电转换部的第一半导体基板和设有传送信号的布线的第一布线层的第一电路层;具有第二布线层和第二半导体基板的第二电路层,第二布线层具有与第一布线层的布线连接且传送信号的布线,在第二半导体基板设有与第二布线层的布线连接的电路和传送信号的贯穿电极;第三电路层,其具有设有与第二电路层的贯穿电极连接的贯穿电极的第三半导体基板和设有与第三半导体基板的贯穿电极连接的布线的第三布线层;多个第一连接部,其将第一布线层的布线和第二布线层的布线电连接;以及多个第二连接部,其将第二半导体基板的多个贯穿电极和第三半导体基板的多个贯穿电极电连接,第一连接部的数量比第二连接部的数量多。

    移动体装置、移动方法、曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及器件制造方法

    公开(公告)号:CN113641082B

    公开(公告)日:2023-10-24

    申请号:CN202110935995.0

    申请日:2017-09-29

    Inventor: 青木保夫

    Abstract: 本发明的移动体装置,具备可保持基板(P)往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、将基板保持具(32)的位置信息通过设于基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设于Y粗动载台(24)的标尺(72)加以取得的第1测量系统、将Y粗动载台(24)的位置信息通过设于Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)加以取得的第2测量系统、以及根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统,第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束,第2测量系统则一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。

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