公开(公告)号：CN117086469A

公开(公告)日：2023-11-21

申请号：CN202311295330.3

申请日：2018-10-25

申请人： 株式会社尼康

发明人： 白石雅之 ,  立崎阳介

IPC分类号： B23K26/00 ,  B23K26/06 ,  B23K26/064 ,  B23K26/36 ,  B23K26/40 ,  B23K26/142 ,  B23K26/08

摘要： 本发明提供一种加工装置及加工方法，可适当地对物体形成构造。加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射加工光(EL)；及间隔壁构件(132)，包围包含使加工光通过的光照射装置的光学系统(112)中位于最靠物体侧的光学构件(1123)与物体的表面的一部分的空间。

公开(公告)号：CN111246963B

公开(公告)日：2023-10-31

申请号：CN201880069008.X

申请日：2018-10-25

申请人： 株式会社尼康

发明人： 白石雅之 ,  立崎阳介

IPC分类号： B23K26/142

摘要： 加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射加工光(EL)；及间隔壁构件(132)，包围包含使加工光通过的光照射装置的光学系统(112)中位于最靠物体侧的光学构件(1123)与物体的表面之间的光路的空间。

公开(公告)号：CN112930241A

公开(公告)日：2021-06-08

申请号：CN201980070423.1

申请日：2019-10-31

申请人： 株式会社尼康

发明人： 江上茂树 ,  立崎阳介

IPC分类号： B23K26/00 ,  B23K26/03

摘要： 加工系统包括：框体，收容物体；加工装置，设于框体内，对物体进行加工；测量装置，设于框体内，对通过加工装置进行了加工的物体进行测量；以及控制装置，使用物体的测量结果来设定加工条件。

公开(公告)号：CN111246966A

公开(公告)日：2020-06-05

申请号：CN201780096207.5

申请日：2017-10-25

申请人： 株式会社尼康

发明人： 白石雅之 ,  川辺喜雄 ,  立崎阳介 ,  柴崎祐一

IPC分类号： B23K26/362

摘要： 加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射多个加工光(EL)；及第一变更装置(41e)，变更来自光照射装置的多个加工光的在物体的表面上的强度分布；且通过对物体的表面照射多个加工光而变更物体的一部分的厚度。

公开(公告)号：CN117182292A

公开(公告)日：2023-12-08

申请号：CN202311168924.8

申请日：2019-10-31

申请人： 株式会社尼康

发明人： 江上茂树 ,  立崎阳介

IPC分类号： B23K26/03 ,  B23K26/70 ,  B23K26/08

摘要： 提高物体加工的便利性及性能的加工系统。加工系统使用加工光来加工物体，包括：载置装置，载置所述物体；加工装置，使用所述加工光对载置于所述载置装置的所述物体进行加工；以及检测装置，配置于所述载置装置，检测所述加工光。

公开(公告)号：CN112930242B

公开(公告)日：2023-09-29

申请号：CN201980071312.2

申请日：2019-10-31

申请人： 株式会社尼康

发明人： 江上茂树 ,  立崎阳介

IPC分类号： B23K26/00 ,  B23K26/03 ,  B23K26/08

摘要： 提高物体加工的便利性及性能的加工系统及加工方法。加工系统包括：照射光学系统，将来自光源的能量射束照射至物体；物体载置装置，载置物体；受光装置，设于物体载置装置，接受来自照射光学系统的能量射束；及测量装置，对受光装置及与受光装置相关的部位的位置中的至少一者进行测量；使物体载置装置移动至受光装置可接受能量射束的位置，并使物体载置装置移动至可由测量装置来对受光装置的位置进行测量的位置，使用与受光装置接受能量射束时的物体载置装置的位置相关的第一信息及与使用测量装置来测量受光装置时的物体载置装置的位置相关的第二信息，控制由加工装置进行加工时的物体载置装置的位置与由测量装置进行测量时的物体载置装置的位置。

公开(公告)号：CN116604175A

公开(公告)日：2023-08-18

申请号：CN202310654693.5

申请日：2017-10-25

申请人： 株式会社尼康

发明人： 白石雅之 ,  江上茂树 ,  川辺喜雄 ,  立崎阳介 ,  柴崎祐一

IPC分类号： B23K26/04 ,  B23K26/064 ,  B23K26/70

摘要： 本发明提供一种加工装置、移动体的制造方法及加工方法。加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射加工光(EL)；及控制装置(18)，使用物体的表面特性相关的信息控制光照射装置。

公开(公告)号：CN111246966B

公开(公告)日：2023-02-28

申请号：CN201780096207.5

申请日：2017-10-25

申请人： 株式会社尼康

发明人： 白石雅之 ,  川辺喜雄 ,  立崎阳介 ,  柴崎祐一

IPC分类号： B23K26/362

摘要： 加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射多个加工光(EL)；及第一变更装置(41e)，变更来自光照射装置的多个加工光的在物体的表面上的强度分布；且通过对物体的表面照射多个加工光而变更物体的一部分的厚度。

公开(公告)号：CN111263680A

公开(公告)日：2020-06-09

申请号：CN201780096206.0

申请日：2017-10-25

申请人： 株式会社尼康

发明人： 白石雅之 ,  江上茂树 ,  川辺喜雄 ,  立崎阳介 ,  柴崎祐一

IPC分类号： B23K26/362

摘要： 加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射加工光(EL)；第一位置变更装置(12、15、1122)，变更通过光照射装置而形成于物体的表面的照射区域(EA)及物体的至少一者的位置；及控制装置(18)，以如下方式控制第一位置变更装置，即，一面变更照射区域及物体的至少一者的位置，一面对物体的表面照射加工光而变更物体的一部分的厚度，由此形成用于减小物体的表面的相对于流体的摩擦阻力的构造。

公开(公告)号：CN111263678A

公开(公告)日：2020-06-09

申请号：CN201780096204.1

申请日：2017-10-25

申请人： 株式会社尼康

发明人： 白石雅之 ,  江上茂树 ,  川辺喜雄 ,  立崎阳介 ,  小笠原麦

IPC分类号： B23K26/04

摘要： 加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射加工光(EL)；及计测装置(71i、71j)，计测通过光照射装置而形成于物体的表面的照射区域(EA)的相对于物体的位置。