一种超弹性微纳能源采集和传感一体化微系统、制作方法和使用方法

    公开(公告)号:CN114301328B

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202210002684.3

    申请日:2022-01-04

    Abstract: 本发明公开了一种超弹性微纳能源采集和传感一体化微系统、制作方法和使用方法,微系统包括弹性基底、柔性电路板线圈、形变体、导电永磁铁、封装层;所述弹性基底位于形变体底部,封装层位于形变体顶部,所述弹性基底和形变体之间具有放置柔性电路板线圈的第一空间,所述封装层和形变体之间具有放置导电永磁铁的第二空间;所述柔性电路板线圈和导电永磁铁外接供电设备,和/或所述柔性电路板线圈外接激励交流电。本发明实现了一种集成微纳能源采集和传感于一体的超弹性微系统,摩擦部分和电磁部分都具有良好的电学性能输出,同时实现了基于电磁感应定律的主动式电磁运动传感功能和/或基于涡流效应(电磁感应效应的一种表现形式)的被动式感性压力传感功能。

    一种基于硒化物/硫化物异质结的柔性光电探测器的制备方法

    公开(公告)号:CN113035965B

    公开(公告)日:2023-07-14

    申请号:CN202110253989.7

    申请日:2021-03-04

    Abstract: 本发明公开了一种基于硒化物/硫化物异质结的柔性光电探测器及其制备方法,该传感器采用PI薄膜作为基底,ITO作为电极,禁带宽度为1.2‑2.4eV的P型硒化物(如禁带宽度约为2.1eV的GaSe)和禁带宽度为1.8‑2.2eV的n型硫化物(如禁带宽度约为1.8eV的MoS2)形成的异质结作为功能层。器件制备流程为:首先通过光刻技术和ITO湿法刻蚀得到ITO电极,再采用机械剥离的方式得到硒化物和硫化物的亚微米薄片,并精确对准转移到基于PI基底的ITO电极上,形成超薄二维半导体异质结(各层厚度在10nm‑30nm之间),结区面积在1×102‑2.5×103平方微米之间。该种制备方法方便环保且成本低,且基于该方法制备的硒化物/硫化物异质结光电探测器具有良好的弯曲性,相较于刚性光电探测器可应用于更多的场景,且得益于硒化物/硫化物异质结的材料特性,此类光电探测器具有良好的光电探测性能,可实现良好的光电探测效果。

    一种具有表面等离激元的二维材料异质结光电探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN113410317B

    公开(公告)日:2023-02-07

    申请号:CN202110690461.6

    申请日:2021-06-22

    Abstract: 本发明涉及一种具有表面等离激元的二硒化钨/二硫化钼异质结光电探测器及其制备方法,包括ITO电极、异质结:由二维二硒化钨和二硫化钼以范德华力结合在一起以及表面等离激元:由金纳米颗粒构成。发明提出的光电探测器,利用表面等离激元对光子能量的吸收作用来增强二维二硒化钨/二硫化钼异质结的光吸收和光响应。发明提出制备方法包括通过激光直写光刻技术在异质结区域的光刻胶上精确地刻出亚微尺寸特定图形如矩形或圆形等窗口、利用移液器在窗口区域滴加纳米颗粒溶液如金纳米颗粒溶液或银纳米颗粒溶液、在震动和加热环境下将金纳米颗粒富集在矩形窗口内的方式在异质结区域上引入表面等离激元。本发明提出的具有表面等离激元的二维材料异质结光电探测器的结构及其制备方法具有新颖和简单的特点。

    一种面向无线传感的微型圆盘谐振器及其加工方法

    公开(公告)号:CN113098418B

    公开(公告)日:2022-11-25

    申请号:CN202110366631.5

    申请日:2021-04-06

    Abstract: 本发明公开了一种面向无线传感的微型圆盘谐振器及其加工方法,本发明的微型圆盘谐振器包括SOI基底,以及集成在SOI基底上的平面螺旋电感和圆盘谐振体;所述圆盘谐振体与平面螺旋电感耦合连接,使得所述圆盘谐振体的频率信息通过互感效应输出到外部检测电路,实现无线传输。本发明通过在同一硅片上集成平面螺旋电感与圆盘型压电谐振器,使得圆盘谐振器的频率信息通过互感效应输出到外部检测电路,通过外部电路无线读取圆盘谐振器的频率信息的变化来实现监测被测物质量的目的,进而实现该器件无线传感的目的。

    一种无需外部供电的脉冲型能源电源管理及传感的电路

    公开(公告)号:CN115360910A

    公开(公告)日:2022-11-18

    申请号:CN202210799316.6

    申请日:2022-07-06

    Abstract: 本发明公开了一种无需外部供电的脉冲型能源电源管理及传感的电路,该电路包括整流电路、第一级降压电路、第二级降压电路、峰值检测控制电路、冷启动电路、振荡器、工作模式切换电路、电子开关、脉冲检测器及脉冲计数器;所述整流电路与第一级降压电路将微能源发电机输出的双向脉冲波形转换为单向脉冲波形;所述电子开关与模式切换电路配合用于控制电路在微能源发电机直接向储能电容充电的模式与同步电荷提取模式之间切换;所述峰值检测控制电路用于检测整流电路输出的单向脉冲波形,在该波形达到峰值时闭合电子开关,并根据整流桥输出波形自适应调整开关的闭合时间;所述脉冲检测器及脉冲计数器记录微能源输出的脉冲个数,进而便于计数微能源的工作频率。

    一种基于法诺共振增强的光电探测结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN114252094A

    公开(公告)日:2022-03-29

    申请号:CN202111443060.7

    申请日:2021-11-30

    Abstract: 本发明属于光学领域,具体提供一种基于法诺共振增强的光电探测结构及其制备方法,用以克服现有基于法诺共振增强的光电探测器存在的制备复杂、成本过高、均一性差等问题。本发明中的光电探测结构通过七个纳米球和金膜的局部表面等离子共振产生不对称曲线特征的法诺共振;利用分子间作用力,使二硫化钼和七个纳米球之间,七个纳米球和金膜之间,进行物理结合,结合力较高,结构稳定且不易脱落;并且,能够通过改变七个纳米球结构的球径、七个纳米球之间的间距等参数调控法诺谷的光谱位置和强度。与现有技术相比,本发明提供具有结构简单、易于制备、成本较低、灵敏度较高、均一性较好等优点,可制备大尺寸的阵列式结构。

    一种基于阵列式微结构的柔性SERS基底及其制备方法

    公开(公告)号:CN113702354A

    公开(公告)日:2021-11-26

    申请号:CN202111025756.8

    申请日:2021-09-02

    Abstract: 本发明属于纳米技术领域,提供一种基于阵列式微结构的柔性SERS基底及其制备方法用以解决现有柔性SERS基底采样时基底表面的贵金属微结构易被损坏的问题。本发明基底包括:柔性薄膜基材、孔洞微结构、贵金属薄膜层以及贵金属纳米颗粒,孔洞微结构呈阵列式分布于柔性薄膜基材表面,贵金属薄膜层覆盖于阵列式孔洞微结构表面,贵金属纳米颗粒填充于阵列式孔洞微结构内。本发明基于金属化的阵列式孔洞微结构与贵金属纳米颗粒共同增强待测物分子的拉曼信号,使得基底具有均一性好、高灵敏度的优点;同时,擦拭采样时金属化的阵列式孔洞微结构会对内部的贵金属纳米颗粒起到保护的作用,使其不易被擦除损坏,即本发明基底的稳定性好。

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