公开(公告)号：CN102642155A

公开(公告)日：2012-08-22

申请号：CN201210132031.3

申请日：2012-05-02

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 赵学森 ,  闫永达 ,  胡振江 ,  孙涛 ,  高党忠

IPC: B23Q17/22 ,  B23Q17/24 ,  B23Q15/22

Abstract: 一种基于图像辅助的微小零件回转调心方法。属于精密测量及加工技术领域。该方法借助图像辅助设备实现各种超精密加工、检测设备上安装零件非接触、无损伤调心。将待调心的微小零件安装在二维位移调心台面上，计算机系统捕获一幅图像a，假定该待调心的微小零件的回转中心坐标为(xc,yc)；求得外圆圆心的位置坐标(x1,y1)，将求得的外圆轮廓圆心特征点(x1,y1)标识在图像a上；将回转主轴旋转已知的角度θ，再捕获一幅新图像b；确定新图像b上的新位置坐标(x2,y2)及外圆轮廓半径；计算出待调心的微小零件的回转中心位置(xc,yc)；使得动态图像c上的待调心的微小零件的外圆圆心坐标(x3,y3)与回转中心坐标(xc,yc)的位置重合。本发明适合于易破损变形等微小零件的回转调心。

公开(公告)号：CN102530850A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201210066852.1

申请日：2012-03-14

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 闫永达 ,  赵学森 ,  胡振江 ,  魏盈盈 ,  高大为 ,  孙涛 ,  董申

IPC: B81C1/00

Abstract: 一种采用AFM探针纳米刻划加工毫米尺寸微纳结构的方法。本发明属于毫米尺寸微纳结构加工领域。该方法能够在较低成本下解决毫米尺寸、纳米精度微纳结构的加工问题。方法一：首先将待加工样品置于X-Y二维精密工作台上，通过AFM系统的逼近过程使AFM探针以小于1μN的垂直载荷接触待加工样品的表面；加工纳米线振列结构，设定加工长度、加工宽度、加工间距、加工方向、垂直载荷及加工速度的参数值。方法二与一不同的是：加工由多个相同微结构组合而成的阵列微结构；首先设定加工参数，加工时，由扫描陶管带动AFM探针运动，从而实现方形、圆形或等边三角形阵列微结构的加工。本发明采用AFM探针纳米刻划加工待加工样品的毫米尺寸微纳结构。

公开(公告)号：CN101003356B

公开(公告)日：2011-01-05

申请号：CN200710071628.0

申请日：2007-01-12

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 孙涛 ,  胡振江 ,  闫永达 ,  赵学森 ,  董申

IPC: B82B3/00

Abstract: 基于原子力显微镜恒高模式的纳米微小结构加工方法，本发明涉及纳米量级微小结构的加工方法。它克服了现有的AFM的纳米微小结构加工方法加工深度不可人为设定以及所能精确加工的尺寸范围非常有限的缺陷。本发明系统增加了三维微动工作台控制电路和三维微动工作台，本方法的主单片机通过三维微动工作台控制电路驱动三维微动工作台完成高度方向上的运动，使探针的针尖刺入被加工工件表面；探针所受反作用力在悬臂上产生的变形量被光杠杆测角装置检测到并传送给主单片机，三维微动工作台持续进行高度方向上的进给，直到用户的加工深度设定值等于三维微动工作台高度方向上的进给量减去悬臂上产生的变形量，直到刻划工作结束。