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公开(公告)号：CN115388773A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202211003651.7
申请日：2022-08-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种分离式正交测量基准及十字运动面配合的形位误差测量仪，属于精密测量设备技术领域，包括主机座和立向支撑柱，两根立向支撑柱的顶部设置有轴座；主机座上侧设置有样品固配座，主机座上设置有移动机构；在样品固配座的上侧面竖直设置有横向激光反射镜和纵向激光反射镜；在轴座上沿竖直方向滑动设置有立轴；立轴的上端设置有立向激光反射镜，立轴下端安装有吊挂架，吊挂架下端设置有横向激光干涉仪和纵向激光干涉仪；立轴下端中部设置有探针；轴座的上侧设置有立向支撑架，立向支撑架上设置有立向激光干涉仪。通过采用上述方案，能够适应和满足对形状复杂零件尺寸及形位误差的微纳米级精密测量使用。
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公开(公告)号：CN115388771A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202211003530.2
申请日：2022-08-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于反射镜测头一体化设计的超精密形位误差测量仪属于精密测量仪器；本测量仪中探针与第一激光反射镜、第二激光反射镜、纵向激光反射镜一体化设计，置于角度位移测量组件相对内侧空间；探针及激光干涉仪固定于零膨胀微晶玻璃上，消除了超精密测量仪器中热膨胀误差对测量精度的影响；使用激光干涉仪测量角度和位移，在三轴方向获得亚纳米测量精度的同时，使得仪器可以实时补偿测量误差；本发明兼具结构简单和高测量精度的特性，可以实现对微纳米级微器件的超精密测量。
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公开(公告)号：CN115371556A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202211003660.6
申请日：2022-08-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种基于楔形气浮及斜置测量基准的紧凑型超精密坐标测量仪，属于精密测量设备技术领域；前后主机座上端面设置楔形槽，可纵向往复移动配装带有第一激光反射面、第二激光反射面、纵向激光反射面的纵向气浮滑块，纵向气浮滑块安装于半圆运动框架内侧，配装有第一激光干涉仪、第二激光干涉仪、纵向激光干涉仪及探针的半圆运动框架可沿立向和横向运动；同时探针测头位置置于半圆运动框架中的圆心位置，且第一激光干涉仪、第二激光干涉仪、纵向激光干涉仪测距激光光束汇聚于探头测头位置，通过上述方案，从结构设计上消除了一阶测量误差，能够适应和满足对形状复杂零件尺寸及形位误差的微纳米级精密测量使用。
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公开(公告)号：CN115371555A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202211003630.5
申请日：2022-08-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种基于框架式激光测量基准的大行程高精度形位误差测量仪，属于精密测量设备技术领域，包括主机座和立向支撑柱，两根立向支撑柱的顶部设置有轴座；主机座上侧设置有样品固配座，主机座上设置有移动机构；样品固配座上端面设置有横向激光反射镜、纵向激光反射镜和立向激光反射镜；立轴下端面安装有吊挂架，吊挂架下端设置有横向激光干涉仪、纵向激光干涉仪和立向激光干涉仪。通过采用上述方案，能够适应和满足对形状复杂零件尺寸及形位误差的微纳米级精密测量使用。
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公开(公告)号：CN115371554A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202211001794.4
申请日：2022-08-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 斜置正交激光框架及一体式V型工作台配合的精密测量机属于精密测量仪器；本机由主机座、支柱底座、立向支撑柱构成机架；在主机座上可纵、横向移动配装带有V型工作台的横向气浮轴套；纵向激光干涉仪、第一激光干涉仪、第二激光干涉仪发射的测距激光光线正交汇聚至探针测球处，通过结构设计，消除了一阶测量误差；使用激光干涉仪测量角度和位移，在三轴方向获得亚纳米测量精度的同时，使得仪器可以实时补偿测量误差；本发明兼具结构简单和高测量精度的特性，可以实现对微纳米级微器件的超精密测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115371553A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202211001793.X
申请日：2022-08-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种动态符合阿贝原则的超精密形位误差测量仪，属于精密测量设备技术领域；包括主机座和立向支撑柱，两根立向支撑柱的顶部设置有轴座；主机座上侧设置有移动机构，样品固配座跟随移动机构运动，在样品固配座的上侧面竖直设置有相互垂直的激光反射镜；在轴座上沿竖直方向滑动设置有立轴，立轴的下端安装有吊挂架，吊挂架下端设置有探针及激光干涉仪。通过采用上述方案，能够适应和满足对形状复杂零件尺寸及形位误差的微纳米级精密测量使用。
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公开(公告)号：CN115371551A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202211001788.9
申请日：2022-08-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于楔形气浮及正交测量基准的高精度大行程精密测量仪属于精密测量仪器；本机由主机座、立向支撑柱及轴座构成机架；在主机座上可纵向移动配装带有纵向激光反射镜、横向激光反射镜、立向激光反射镜的样品固配座；立轴通过立向运动座、横向运动座配装在横向导轨上，可通过立轴在横向和立向上移动横向激光干涉仪、纵向激光干涉仪、立向激光干涉仪及探针；本发明通过楔形气浮结构提高了纵向滑动件底面充裕的空间，于纵向滑动件底面设置立向激光反射镜和立向激光干涉仪，使得本发明具有微纳米级测量精度的同时，兼具大测量范围，可以实现对大尺寸微纳米级精度零件的高精度测量。
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公开(公告)号：CN115217890A
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202210834997.5
申请日：2022-07-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/02 , F16F15/027 , F16F15/04 , B60P7/16 , G01B11/06
Abstract: 本发明涉及一种大型精密设备气磁隔振与主动阻尼转运装置，属于转运设备技术领域，其技术方案包括转运车、隔振平台、气浮隔振单元、高度检测与控制装置和处理器，所述隔振平台支撑被转运设备；还包括主动阻尼单元、限位单元和永磁负刚度模块，所述气浮隔振单元、主动阻尼单元、限位单元、高度检测与控制装置和永磁负刚度模块分别在车架的上底面和四个内侧面与所述隔振平台间并联间隔设置若干个。通过隔振单元的三向布置实现了三向隔振，采用正负刚度并联的形式降低了起始隔振频率，添加主动阻尼单元和限位单元提高了隔振性能，实现了强冲击作用下的安全防护，解决了现有技术不能在大型精密设备转运过程中实现三向精密隔振与冲击防护的问题。
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公开(公告)号：CN114674676A
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202210003671.8
申请日：2022-01-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 二维行程扩展自密封辐照松弛全自动检测装置和方法属于材料特性测量领域；在隔振台架上固装X向运动导轨组件，Y向运动导轨组件可沿X向往复运动地配装在X向运动导轨组件上，在Y向运动导轨组件上可沿Y向往复运动地安装水平直线运动滑块，在水平直线运动滑块上固装自密封辐照松弛组件，在隔振台架上依次固装压力测量系统和支架，在支架的同一侧面上沿Y向依次安装盒盖抓取组件和螺栓自动旋入旋出与气体交换系统，通过自密封辐照松弛组件依次分别与螺栓自动旋入旋出与气体交换系统、盒盖抓取组件和压力测量系统的相互配合完成检测；解决了辐照松弛特性全自动、高精度测量及自动化气体保护的问题。
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公开(公告)号：CN112303175B
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202011189248.9
申请日：2020-10-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/03 , F16F15/067
Abstract: 基于主动电磁负刚度结构的六自由度隔微振器属于精密隔振技术领域，包括上板、基板以及连接上板和基板的六套主动电磁负刚度结构。主动电磁负刚度结构利用同轴嵌套双磁环结构在垂向实现刚度不可调整的负刚度特性，并利用与双磁环负刚度结构同轴嵌套的通电线圈产生精密可控的励磁磁通，改变动磁环周围的偏置磁场，进而实现负刚度值的调整，适应隔振负载质量及激励频率的变化。磁环间隙与正刚度隔振器的起落运动方向垂直，不限制隔振负载的振动幅值；偏置磁场由定磁环提供，线圈中只需较小的电流产生励磁磁通对偏置磁场进行调节，而无需持续的高能量输入，系统能耗低。
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