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公开(公告)号:CN111044207B
公开(公告)日:2023-11-28
申请号:CN201911398344.1
申请日:2019-12-30
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种压力传感器,包括介质层和设于介质层相对两侧的第一电极层和第二电极层,其中,介质层包括基体层和分布于基体层中的复合压电颗粒,复合压电颗粒包括无机压电颗粒以及包覆于无机压电颗粒表面的多巴胺层。本发明的柔性压力传感器的灵敏度高,可靠性好。本发明还提供压力传感器的制备方法。
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公开(公告)号:CN111024296B
公开(公告)日:2023-11-28
申请号:CN201911403189.8
申请日:2019-12-30
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种压力传感器及其制备方法,所述传感器包括介质层和设于所述介质层相对两侧的第一电极层和第二电极层,其中,所述介质层包括基体层和分布于所述基体层中的多个孔道,所述孔道与外界连通以使所述孔道内的空气能够排出和吸入,所述孔道的孔壁还附着有压电薄膜层。本发明压力传感器通过孔洞和压电薄膜层的结合,使得检测灵敏度更高。同时,本发明还提供压力传感器的制备方法,该制备方法简单,适合工业化生产。
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公开(公告)号:CN110862558B
公开(公告)日:2023-11-21
申请号:CN201911171692.5
申请日:2019-11-26
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: C08J3/075 , C08L33/02 , C08L51/00 , C08F220/56 , C08F222/38 , C08K3/08 , C08K3/16 , C08L5/12 , C08L71/02 , C08L29/04 , C08L5/08 , C08F265/02 , C08F220/06 , C08F261/04 , C08K3/38 , C08K5/55
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公开(公告)号:CN116959997A
公开(公告)日:2023-10-27
申请号:CN202210404956.2
申请日:2022-04-18
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: H01L21/48 , H01L21/56 , H01L23/02 , H01L27/146
Abstract: 本申请涉及一种芯片模块及其制作方法,制作方法包括:提供一芯片,芯片的背面具有粘接剂;将芯片放置在一基座的凹腔中,并使芯片的背面朝向凹腔的底部,其中,凹腔的表面为曲面;在凹腔的开口侧设置柔性薄膜以密封凹腔;对密封后的凹腔进行流体加压,使柔性薄膜和芯片变形至与凹腔的表面共形;加热固化粘接剂,使变形后的芯片与凹腔的表面粘接而定形,得到芯片模块。本申请采用柔性薄膜和流体加压的方式,构建了非刚性约束的流体压力场来控制芯片变形,最后固化粘接剂使芯片定形,实现了对芯片的曲面加工,操作简单、易控、良率高。
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公开(公告)号:CN116801473A
公开(公告)日:2023-09-22
申请号:CN202210262624.5
申请日:2022-03-17
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 钱塘科技创新中心
IPC: H05K1/02
Abstract: 本发明提供一种应变隔离层及具有其的柔性器件,该应变隔离层用于为柔性器件上的硬质器件缓冲其受到的力,所述应变隔离层能弹性形变,包括相对的第一表面和第二表面,以及设置在所述第一表面和所述第二表面之间的结构层,所述第一表面相对于所述第二表面靠近硬质器件,所述结构层中设有若干应变隔离单元,所述应变隔离单元包括一对组成部,一对所述组成部的一端相互连接,另一端形成开口。本发明提供的应变隔离层可通过稳态变化为硬质器件缓冲甚至隔绝应力。
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公开(公告)号:CN111122022B
公开(公告)日:2023-08-15
申请号:CN201911398998.4
申请日:2019-12-30
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种功能薄膜的制备方法,包括:在第一柔性薄膜的一表面上形成铁电材料的前驱体层,然后采用激光对该表面进行辐照,使得该表面形成复合微结构,复合微结构包括石墨烯微结构和嵌设于石墨烯微结构内部和/或表面的铁电材料颗粒,得到功能薄膜,其中,复合微结构的表面低于第一柔性薄膜的表面而形成自第一柔性薄膜表面延伸至复合微结构的凹槽。本发明还提供该制备方法得到的功能薄膜,以及基于该制备方法的柔性压力传感器及其制备方法。本发明的功能薄膜的制备方法简单,输出性能优异,基于该功能薄膜制备的柔性压力传感器具有密封性好、灵敏度高等性能优势。
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公开(公告)号:CN111044373B
公开(公告)日:2023-07-25
申请号:CN201911413981.1
申请日:2019-12-31
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 一种动态力学试验系统,包括基座、第一气缸、第二气缸及摄像装置,第一气缸及第二气缸均设置于基座上,第一气缸包括第一缸体、及随第一滑块,第二气缸包括第二缸体及第二滑块,第一气缸及第二气缸分别带动第一滑块及第二滑块运动,待测试试件设置于第一滑块及第二滑块之间,与第一滑块及第二滑块相连,并在第一滑块及第二滑块的带动下运动,当第一滑块及第二滑块运动时,至少一部分的第一滑块与第二滑块的运动轨迹位于同一条直线上,摄像装置设置于基座的侧面上,对待测试试件在第一滑块及第二滑块带动下的动态情况进行观测。该动态力学试验系统结构简单、搭载方便、体积较小且操作简便。
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公开(公告)号:CN116330250A
公开(公告)日:2023-06-27
申请号:CN202111604480.9
申请日:2021-12-24
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种软体机械手,包括至少一个抓取部,所述抓取部包括本体以及覆设于所述本体表面的热响应层,所述本体的弹性模量小于所述热响应层的弹性模量,其中,所述本体中分布有光热转化填料,所述热响应层的材料包括热响应聚合物和交联剂,所述热响应聚合物的分子链中含有呋喃基团,所述交联剂的分子链中含有马来酰亚胺基团。本发明还涉及一种软体机械手的使用方法。本发明软体机械手的抓取部的表面粗糙度能够可逆调节,采用所述软体机械手进行抓取目标物体时,通过改变红外光照时间调节软体机械手的温度,能够进一步调控软体机械手的表面粗糙度,实现对不同重量和不同表面粗糙度的易损品、易碎品的抓取和释放。
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公开(公告)号:CN110660584B
公开(公告)日:2023-06-27
申请号:CN201811611926.9
申请日:2018-06-29
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种柔性储能薄膜的制备方法。所述制备方法包括:提供一柔性金属衬底;在所述柔性金属衬底上沉积形成钛酸锶薄膜预制层;对带有钛酸锶薄膜预制层的柔性金属衬底进行热处理得到钛酸锶层,从而得到柔性储能薄膜。该储能薄膜采用钛酸锶材料,通过该制备方法实现储能薄膜的柔性化。同时,制备得到的储能薄膜具有高介电常数、低介电损耗、高击穿场强和高储能密度,可以用作薄膜电容器的电介质材料。
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公开(公告)号:CN111138788B
公开(公告)日:2023-04-11
申请号:CN201911364940.8
申请日:2019-12-26
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: C08L33/24 , C08L29/04 , C08L33/02 , C08L5/12 , C08L5/08 , C08L71/02 , C08F220/54 , C08F222/38 , C08F222/20 , C08K3/08 , G01K7/22
Abstract: 本发明提供一种温敏凝胶的制备方法,包括将液态金属、N‑异丙基丙烯酰胺及其衍生物、交联剂、引发剂分散于介质中,制得混合液;使混合液在载体上形成预制体,并进行第一固化处理。温敏凝胶能够响应外部温度的变化,并在外部温度达到预设温度T2时,使分散于第一聚合物内的液态金属在连续相和分散相之间切换。所制得的温敏凝胶具有负温度效应,能在外部温度达到预设温度T2时实现导电;由于液态金属具有良好的导电性能和传热性能,使得温敏凝胶具有较高的灵敏度。本发明还提供由该制备方法制得的温敏凝胶、温敏传感器及其制备方法。
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