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公开(公告)号：CN103776368B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201410051700.3
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于同心度优化的气磁复合支撑式航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气磁结合回转轴系确定回转基准；依据感应同步器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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公开(公告)号：CN103047343B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201210574672.4
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03
Abstract: 滑动关节轴承角度解耦的电磁阻尼零刚度隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板、活塞筒与套筒之间分别通过气浮面进行润滑与支撑，通过电磁阻尼器衰减振动能量、提高定位稳定性，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过滑动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有垂向和水平方向零刚度、高定位精度及角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的低频/超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103062319B
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201210578281.X
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16C32/06
Abstract: 二维柔性铰链角度解耦的零刚度隔振器与隔振系统属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板、活塞筒与套筒之间分别通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过二维柔性铰链进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度与角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的低频/超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103062318B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201210577110.5
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16C32/06 , G03F7/20
Abstract: 共面气浮正交解耦与二维柔性铰链角度解耦的零刚度隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板、活塞筒与套筒之间分别通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的水平直线运动自由度通过共面正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过二维柔性铰链进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机对高性能隔振器的需求。
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公开(公告)号：CN103062304B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201210574843.3
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , G03F7/20
Abstract: 柔性膜角度解耦的磁浮零刚度隔振器与隔振系统属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板之间通过磁浮推力轴承进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过柔性膜进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度及角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的低频/超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103062300B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201210574757.2
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03 , F16C32/06
Abstract: 滚动关节轴承角度解耦与磁悬浮平面驱动定位的隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板之间通过磁悬浮平面电机的磁悬浮作用进行承载，活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过滚动关节轴承进行解耦，电机、位移传感器、限位开关与控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维近似零刚度、高定位精度与角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的低频与超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103047514B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201210574121.8
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/023 , F16F15/02 , F16M11/04 , F16M11/18
Abstract: 基于气浮零位基准和激光自准直测量的气浮隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备，该装置采用3个或3个以上静压气浮结构的隔振器支撑气浮隔振平台台体及其负载，采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测，并在隔振器与台体之间水平位移执行器，实现台体三自由度姿态调整；该装置中由气浮式减振器支撑的零位基准装置有效隔离地面的振动对参考光束检测的影响，提高了激光束零位基准的稳定性；采用光电检测器检测参考光束的平漂和角漂，并用一对可调整相对位置间距和角度的楔角棱镜实时调整参考光束的平漂和角漂，实现参考光束校准，可显著提高平台隔振性能。
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公开(公告)号：CN103075619B
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201210574136.4
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16M11/04 , F16M11/18 , F16F15/023 , F16F15/02
Abstract: 基于气磁零位基准和激光自准直测量的磁浮隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备，该装置采用3个或3个以上静压磁浮结构的隔振器支撑磁浮隔振平台台体及其负载，采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测，并在隔振器与台体之间垂向位移执行器，实现台体三自由度姿态调整；该装置中由气磁式减振器支撑的零位基准装置有效隔离地面的振动对参考光束检测的影响，提高了激光束零位基准的稳定性；采用光电检测器检测参考光束的平漂和角漂，并用一对可调整相对位置间距和角度的楔角棱镜实时调整参考光束的平漂和角漂，实现参考光束校准，可显著提高平台隔振性能。
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公开(公告)号：CN103062316B
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201210575830.8
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03 , F16F6/00 , G03F7/20
Abstract: 柔性膜角度解耦的电涡流阻尼零刚度隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板之间通过气浮面进行润滑与支撑，通过电涡流阻尼器衰减振动能量、提高定位稳定性，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过柔性膜进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度与角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103019046B
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201210574176.9
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 基于多组独立驱动解耦控制的六自由度磁浮微动台属于半导体制造装备；该装置包括微动台底座、载物台以及在二者之间呈等边三角形布置的三组相同结构的独立驱动装置；每组独立驱动均可以产生水平和垂向驱动力且具有永磁体磁浮重力补偿功能；在微动台底座和载物台中心位置处对应固装平面光栅读数头和平面光栅尺，在微动台底座边缘处布置三个或多个电容传感器，实现六自由度的解耦测量；该装置具有结构紧凑，易于加工装配、发热量小，水平驱动力大的优点，适用于光刻机工件台水平高速高加速运动的工作需求和严苛的恒温环境需求。
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