一种MPCVD高NV色心强度的金刚石薄膜制备方法

    公开(公告)号:CN119372619A

    公开(公告)日:2025-01-28

    申请号:CN202411546568.3

    申请日:2024-11-01

    Abstract: 一种MPCVD高NV色心强度的金刚石薄膜制备方法,其特征是通过MPCVD在衬底上沉积掺氮微米金刚石薄膜,使用反应离子刻蚀技术在金刚石薄膜进行表面修饰,为高NV色心强度提高结构条件,并通过高温退火使空位充分扩散,从而制备出高NV色心强度的金刚石薄膜。本发明解决了MPCVD法制备NV色心金刚石薄膜色心强度低、光学性能差的问题,提高了MPCVD金刚石薄膜NV色心荧光强度和色心应用价值。

    一种激光系统、激光-CMP复合加工装置及其加工方法

    公开(公告)号:CN118664060A

    公开(公告)日:2024-09-20

    申请号:CN202410881340.3

    申请日:2024-07-03

    Abstract: 本发明公开了一种激光系统、激光‑CMP复合加工装置及其加工方法,属于超精密抛光技术领域,包括沿同一预设轴线依次排布的激光发射器、第一分束器、聚焦镜、反射镜组以及第二分束器组,激光发射器用于沿预设轴线发射单束激光,第一分束器用于将激光发射器的单束激光分束,聚焦镜用于将第一分束器分束的激光聚焦成多道与预设轴线平行的激光束,反射镜组用于改变聚焦镜导成的激光束与预设轴线的夹角,第二分束器组在接收到反射镜组反射的激光束后将其分束至雾化程度。将单束激光分束成多个区域高密度的多束激光,提高激光利用率,以提高加工效率,并实现待加工件表层的改性,为CMP的去除提供基础,提高CMP去除效率,减小表面损伤。

    一种基于几何误差分布概率的丝杠螺母副温度场分布获取方法

    公开(公告)号:CN117113747A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202310905016.6

    申请日:2023-07-24

    Abstract: 一种基于几何误差分布概率的丝杠螺母副温度场分布获取方法,其特征是首先建立几何误差与接触角之间的定量关系,其次在承受轴向载荷时确定不同耦合几何误差的滚珠‑滚道组合所产生的接触力,然后在几何误差统计数据的基础上构造滚珠和滚道联合误差分布的概率密度函数,之后联系误差概率分布和热源强度分布之间的关系,最后通过有限差分法求解对应温度场。本发明为丝杠螺母副温度场建模提供了一种新方法,体现了几何误差对滚珠和滚道接触热源的影响,有效解决了螺母副运动过程中随机几何误差诱导温度场预测不符合实际情况等问题。

    超短脉冲激光加工方法及系统
    114.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116921852A

    公开(公告)日:2023-10-24

    申请号:CN202311152526.7

    申请日:2023-09-08

    Abstract: 本发明公开了一种超短脉冲激光加工方法,涉及单晶4H‑SiC等硬脆材料的加工技术领域,主要包括以下步骤:S1、通过超短脉冲激光对工件的待加工表面进行预处理;S2、对经预处理后的所述工件的待加工表面进行抛光处理。本发明中还公开了一种超短脉冲激光加工系统,用于实施上述的超短脉冲激光加工方法,主要包括超短脉冲激光器和抛光机。本发明能够降低工件材料表面/亚表面损伤,并提高加工效率。

    一种基于理论模型与数据驱动融合的碳化硅晶片生产线性能预测方法

    公开(公告)号:CN116720599A

    公开(公告)日:2023-09-08

    申请号:CN202310267177.7

    申请日:2023-03-20

    Abstract: 一种基于理论模型与数据驱动融合的碳化硅晶片加工生产线性能预测方法,其特征是:首先对碳化硅晶片加工生产线加工过程中的各项时序数据进行统计和预处理;然后基于排队论对生产线进行建模获得理论模型,并对特征参数进行降维处理;对降维后特征参数的输入数据和输出数据进行归一化处理;选择合适的记忆步长和预测步长构建时间序列数据集;构建基于双向长短期记忆神经网络的碳化硅晶片加工生产线性能预测模型,通过网格化搜索的方法寻找最优超参数;最终基于该模型对碳化硅晶片加工生产线的性能进行预测。本发明精确预测出的性能指标可以用来优化生产排产,提供调度方案的参考指标,从而科学的指导生产,具有实际的应用价值。

    激光系统以及用于加工陶瓷材料的装置和方法

    公开(公告)号:CN114952522A

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202210727153.0

    申请日:2022-06-24

    Abstract: 本发明公开了一种激光系统以及用于加工陶瓷材料的装置和方法,其中激光系统包括激光器、分束器、聚焦镜组件、第一光束变向组件、第二光束变向组件和控制系统。分束器用于将激光器射出的激光分为第一光束和第二光束。聚焦镜组件包括第一聚焦镜和第二聚焦镜,第一聚焦镜用于将入射光线聚焦在砂轮上,第二聚焦镜用于将入射光线聚焦在工件上。第一光束变向组件用于调整第一光束的方向,第二光束变向组件用于调整第二光束的方向。控制系统同时与第一光束变向组件、第二光束变向组件电连接,以控制第一光束和第二光束的方向。相比于现有技术,本发明能够同时进行陶瓷材料的激光预辐照和砂轮的修整,以实现陶瓷材料的高效低损伤加工。

    一种夹持气缸套的电磁夹具

    公开(公告)号:CN114310732B

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202210173382.2

    申请日:2022-02-24

    Abstract: 一种夹持气缸套的电磁夹具,其特征是包括底座,底座上表面固定连接有两个支座,所述第一支座端面和上表面设有螺纹孔,用于安装端盖及锁紧螺钉,所述端盖和锁紧螺钉用于固定夹紧夹头,所述夹紧夹头设有周向均匀分布的槽,且端面连接有封装线圈,所述封装线圈沿周向均匀分布,且内部均设有圆弧状铁芯;所述第二支座端面连接有限位板,所述限位板用于保证气缸套装夹位置的一致性,本发明涉及夹具装置领域。本发明通过改变线圈中的电流方向,能够实现气缸套内孔和外圆的夹紧,通过改变电流大小,能够实现夹紧力的调节,本发明结构简单、使用寿命长、适用性强、制造成本低。

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