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公开(公告)号:CN213956278U
公开(公告)日:2021-08-13
申请号:CN202120202250.9
申请日:2021-01-25
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型涉及一种斜照明式的彩色共聚焦测量系统,包括光源模块、色散镜头模块、运动载物模块、反射镜头模块和采集计算模块。光源模块射出复色光束通过色散镜头模块,色散成不同波长的多个光束,再聚焦至运动载物模块上的被测物,移动运动载物模块以进行被测物表面各位置图像信息采集,光纤再反射至反射镜头模块又180度反射回来,射向采集计算模块。采集计算模块采集被测物表面反射的聚焦光斑的波长和颜色信息,通过波长信息计算出被测物表面的相对轴向高度数据,将采样点信息的轴向高度与对应的水平位置坐标信息进行三维点云建模生成表面形貌图像。本测量系统和检测方法适用于在几何空间受限时,检测样品表面形貌。
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公开(公告)号:CN210719020U
公开(公告)日:2020-06-09
申请号:CN201921300999.6
申请日:2019-08-13
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本实用新型公开了基于光场栅的位移测量装置,包括测量系统、线性位移工作平台和光电探测器模块;测量系统包括系统光源、半透半反分光平面镜、两激光扩束准直器和两平面反射镜;第一平面反射镜能相对该整体摆动以能调节偏转角度,线性位移工作平台能相对该整体平移和旋转;系统光源发出的一束光入射到半透半反分光平面镜后被分为传播方向互相垂直且能量相等的两束相干光;两束相干光分别经第一激光扩束准直器与第二激光扩束准直器放大直径;通过第一平面反射镜和第二平面反射镜控制光路,使两束相干光都打在线性位移工作平台上表面以能产生两个椭圆光斑。该方法在保证高精度的同时,简化了测量系统的结构,减小了安装误差。
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公开(公告)号:CN210093125U
公开(公告)日:2020-02-18
申请号:CN201920987156.1
申请日:2019-06-27
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型公开了一种配重式步进机构,包括第一叠层压电陶瓷、固定块、第二叠层压电陶瓷、质量块、动子和预紧机构;所述动子能沿第一方向移动;所述第一叠层压电陶瓷一端接触在动子上,预紧机构连接第一叠层压电陶瓷另一端以使第一叠层压电陶瓷压触在动子上,预紧机构、第一叠层压电陶瓷和动子沿第二方向按序布置,第二叠层压电陶瓷伸长方向沿第二方向布置,第二方向和第一方向垂直;所述固定块固设在动子上,第二叠层压电陶瓷一端固接在固定块侧壁,另一端固接质量块,固定块、第二叠层压电陶瓷和质量块沿第一方向按序布置,第二叠层压电陶瓷伸长方向沿第一方向布置。它具有如下优点:配重式步进机构具有断电自锁功能。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN209881676U
公开(公告)日:2019-12-31
申请号:CN201920991371.9
申请日:2019-06-27
Applicant: 华侨大学
IPC: H02N2/00
Abstract: 本实用新型公开了一种非对称振动触觉反馈装置,包括壳体,壳体内设有一质量块、一叠层压电陶瓷、一弹性基片和两固定机构。弹性基片桥接在两固定机构,叠层压电陶瓷固接在弹性基片中部,质量块固设在叠层压电陶瓷。在初始位置时,弹性基片处于笔直状态,质量块与壳体顶壁之间存在间隙;当叠层压电陶瓷接收到驱动信号后纵向伸缩以使弹性基片发生弹性形变,且弹性基片在伸长时发生弹性形变的长度小于收缩时发生弹性形变的长度,弹性基片在收缩时产生的位移量大于伸长时产生的位移量,在惯性的作用下带动质量块撞击壳体。它具有如下优点:利用弹性基片上下振动时发生弹性形变的长度不同,对反馈装置的振动幅度进行放大,使得人体感受到的振动效果更加明显。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN209623647U
公开(公告)日:2019-11-12
申请号:CN201920304590.5
申请日:2019-03-11
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/27
Abstract: 一种基于光栅干涉原理的直线度测量系统,包括半导体激光器、第一偏振分光棱镜、激光多普勒干涉单元和激光迈克尔逊干涉单元;该第一偏振分光棱镜位于半导体激光器的发射端以将光束分成S偏振分量和P偏振分量;该激光多普勒干涉单元接收P偏振分量,用于采集四路相位差为90°的干涉信号以供测量线性直线度误差;该激光迈克尔逊干涉单元接收S偏振分量,用于采集四路相位差为90°的干涉信号以供测量角度直线度误差。本实用新型系统不仅拥有较高的精度,还简化了系统结构与检测过程,能够提供完备的直线度信息。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN204945055U
公开(公告)日:2016-01-06
申请号:CN201520613899.4
申请日:2015-08-14
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型公开了一种用于平板表面质量的检测系统,其包括沿光源发出光束的光路上依次设置的准直透镜、反射镜、分光镜和微透镜阵列;待测平板对应于微透镜阵列的出射侧设置,且待测平板在垂直于光轴的方向上做横向往复移动。本实用新型将微透镜阵列作为并行光色散器件,所产生的色散光点阵列可同时对待测平板表面上的多点进行垂直于光轴方向的横向扫描,在无需沿光轴方向做纵向扫描的前提下利用垂直于光轴方向上的运动获得待测平板表面的三维信息,以及其表面的瑕疵、划痕等质量信息,极大地提高了针对平板表面质量问题的检测效率。
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公开(公告)号:CN204085464U
公开(公告)日:2015-01-07
申请号:CN201420481477.1
申请日:2014-08-25
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本实用新型公开了一种在位表面形貌检测工作台,包括机座和显微镜,机座包括下底板和上框体,上框体为其上端呈开口状的中空框体,上框体以可下底板的前后方向平移滑动的方式架设在下底板的上表面上方,下底板的前侧或后侧设有控制上框体前后滑行的X轴平移驱动装置,上框体的上端端面上架设有可沿上框体左右平移的放置平台,且上框体内设有控制放置平台左右移动的Y轴平移驱动装置,放置平台上竖设有安装立柱,安装立柱上设有可上下移动的安装块,显微镜安装在上述安装块上,安装立柱上安装有控制安装块上下移动的Z轴升降驱动装置。本实用新型的有益效果:其可实现在位和线下测量,适用范围广,并具有整体结构简单、合理、紧凑的特点。
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