公开(公告)号：CN101904095A

公开(公告)日：2010-12-01

申请号：CN200880121753.0

申请日：2008-10-17

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 木村哲也 ,  门田道雄 ,  矢追真理

IPC: H03H9/145 ,  H03H9/25

CPC classification number: H03H9/02559 ,  H03H9/14538

Abstract: 本发明提供一种弹性表面波装置，其通过形成SiO2膜，能够实现频率温度特性的改善，且不容易产生插入损耗的增大，不仅能够使得电极的反射系数充分大，也能抑制不希望的所述寄生现象，由此能够得到更良好的谐振特性或滤波特性。在LiNbO3基板(1)的上表面(1a)形成有多条槽(1b)，在槽(1b)内形成有以Pt为主体的IDT电极(3)，覆盖LiNbO3基板(1)的上表面(1a)及IDT电极(3)而形成有SiO2层(4)，并且SiO2层(4)的表面被平坦化，利用基于瑞利波的响应，且LiNbO3基板的欧拉角处于(0°±5°，208°～228°，0°±5°)的范围内。

公开(公告)号：CN101356727A

公开(公告)日：2009-01-28

申请号：CN200680050852.5

申请日：2006-12-12

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 门田道雄 ,  木村哲也

IPC: H03H3/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22 ,  H03H9/25

CPC classification number: H03H3/08 ,  H03H3/10 ,  H03H9/02818 ,  H03H9/1092 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49156 ,  Y10T29/49165

Abstract: 本发明提供一种声表面波滤波器装置(1)的制造方法，包括如下工序：在压电基板(2)的一个主面(2a)形成槽(2b、2c)，并在槽(2b)中埋入金属膜形成了IDT电极之后，按照从压电基板(2)的一个主面(2a)除去压电基板(2)的一部分的方式实施加工，由此，在形成了被埋入IDT电极的具有底面的凹部(2d)之后，将盖部件(13)与压电基板(2)接合。从而，可提供不需要复杂的加工工序，且不需要准备复杂形状的盖部件等部件、廉价且可促进小型化的声表面波装置及其制造方法。