-
公开(公告)号：CN105426566A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201510664084.3
申请日：2015-10-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F17/50
CPC classification number: G06F17/5086
Abstract: 基于蒙特卡罗技术的大型高速回转装备形位公差分配方法属于机械公差分配技术；分析大型高速回转装备的径向和轴向测量面的定位及定向公差在装配中的传递过程，确定n级装备装配后的圆心坐标的传递关系，得到装配后装备偏心与各级转子定位、定向公差和旋转角度之间的关系；依据蒙特卡罗法生成各级大型高速回转装备的径向偏心及轴向垂直度数据，绘制出分布函数求出概率密度函数，进而得到各级大型高速回转装备的径向偏心及轴向垂直度公差与最终多级装备同轴度公差的概率关系，实现大型高速回转装备公差的分配。
-
公开(公告)号：CN105425552A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201610023019.7
申请日：2016-01-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70733 , G03F7/70716
Abstract: 基于平面光栅测量动磁钢气磁结合气浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置属于半导体制造装备技术，该装置包括支撑框架、平衡质量块、气磁结合气浮工件台、工件台测量装置、工件台驱动装置、传感器信号传输装置，两个工件台工作于测量位和曝光位之间，采用平面光栅对工件台位置进行测量，采用平面片簧和电磁阻尼器组成的被动补偿结构对平衡质量块进行运动补偿，工件台采用气悬浮和平面电机驱动，双工件台交换过程中，采用平面电机驱动两个工件台实现单节拍弧线快速换台；本发明解决了现有换台方案节拍多、轨迹长、起停环节多、稳定时间长等问题，减少换台环节，缩短了换台时间，提高了光刻机的产率。
-
公开(公告)号：CN105423909A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201510664091.3
申请日：2015-10-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B7/28
Abstract: 大型高速回转装备非连续表面轮廓测量及数据处理方法属于机械装配测量技术领域。其测量方法分为未装配和已装配两种情况：未装配的情况下可以直接在精密转台上完成测量，装配后测量面多为静子内表面，需要将传感器安装在转子上进行测量；其数据处理方法是将非连续表面根据缝隙的宽度与电容传感器的直径比分为小缝隙、大缝隙和沟槽三种情况分别处理，针对测量数据异常的情况，提出了基于电容传感器特性的修正方法；针对测量数据缺失的情况，提出了基于三次贝塞尔曲线的插补方法。本发明有效解决了大型高速回转装备转静子非连续表面测量的问题，完善了大型高速回转装备的测量技术，保证了装配过程中的可预知性。
-
公开(公告)号：CN103790652B
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：CN201410052241.0
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于光电编码器测角的航空发动机转子气浮装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气浮回转轴系确定回转基准；依据光电编码器确定转台的角度定位；基于测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
-
公开(公告)号：CN103791820B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201410052204.X
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于矢量堆叠原理的航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气磁结合回转轴系确定回转基准；依据感应同步器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103790648B
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201410052188.4
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于多部件同心度优化的航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气浮回转轴系确定回转基准；依据光电编码器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
-
公开(公告)号：CN103790645B
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201410052040.0
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于同心度与垂直度评定与优化的航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于磁浮回转轴系确定回转基准；依据光栅尺确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
-
公开(公告)号：CN103790644B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201410052015.2
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于空间矢量投影的航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气浮回转轴系确定回转基准；依据光栅尺确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
-
公开(公告)号：CN103769639B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201410051796.3
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 带双向限位的外卡式精密电动卡盘属于工夹器具，在筒身的上、下端面上分别固装上、下板，楔形块固装在上板上，活塞总成插装在楔形块中心孔内，且位于筒身的密闭腔室内，叠簧套装在活塞总成上，其上、下端面分别与上板和活塞总成接触配合，在筒身上设置排气孔，旋转电机经联轴器与丝杠固接，并插装在丝杠螺母内，上端与活塞总成下部接触，丝杠螺母固接在下板上，弹性铰链块套装在楔形块外部上，限位圈嵌套在弹性铰链块外部上，通过预紧螺钉将转接板安装在活塞总成上端部上，转接板与弹性铰链块固接，调整旋钮配装在转接板上，限位螺钉和限位柱插装在转接板上，并与楔形块螺纹连接；本装置结构简单，作业质量好，可靠性高，适应能力强。
-
公开(公告)号：CN103047344B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201210574688.5
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03
Abstract: 双层气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的磁浮隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板之间通过磁浮推力轴承进行承载，气浮板与下安装板、活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑，上、下安装板之间的水平直线运动自由度通过双层正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过滚动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
414
records
(took 0.045 seconds)
