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公开(公告)号:CN218849498U
公开(公告)日:2023-04-11
申请号:CN202221994705.6
申请日:2022-07-29
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L29/06 , H01L29/10 , H01L29/78 , H01L27/088
Abstract: 一种半导体结构,包括硅基板、绝缘层、双层、第一晶体管的通道区域及第二晶体管的通道区域。绝缘层在硅基板中。双层在绝缘层上方,且双层包括与应变松弛硅锗(SiGe)部分直接接触的硅部分。第一晶体管的通道区域在双层的硅部分上。第二晶体管的通道区域在双层的应变松弛SiGe部分上。