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公开(公告)号：CN104407173B
公开(公告)日：2017-12-05
申请号：CN201410723691.8
申请日：2014-12-03
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明提出一种冲击加速度传感器交叉轴响应的空间分波测试方法，采用具有一定长径比金属杆，有利于实现扭转波和纵波的自动分离，从而使扭转波不对主波产生影响，排除了非本征的干扰因素，获得器件固有的交叉轴响应；根据纵波和扭转波具有不同的波速而将两种波在空间上分离开，给出扭转波、纵波和主波在空间上分离的时间判据，排除扭转波等对加速度传感器产生的非本征影响；在测试的过程中选择不同的机械滤波材料，如不同型号的双面胶，对产生的波起到滤波和整形的作用，有利于抑制高频波，消除干扰，有利于对扭转波的识别和分离，又可以获得加速度传感器不同频率下的交叉轴响应。
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公开(公告)号：CN106915723A
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201510998013.7
申请日：2015-12-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/0015
Abstract: 本发明提供一种基于激光结合各向异性腐蚀的梁-质量块结构的制备方法，包括以下步骤：1）提供（111）硅片；2）采用激光加工工艺在所述（111）硅片背面形成第一深槽；3）在所述（111）硅片正面形成第二深槽；4）在所述（111）硅片表面、所述第一深槽及所述第二深槽侧面及底部形成第一氧化层；5）在所述（111）硅片正面形成第三深槽；6）在所述第一氧化层表面及所述第三深槽的侧面及底部形成第二氧化层；7）采用反应离子刻蚀工艺及各向异性腐蚀工艺释放梁。采用激光加工工艺结合反应离子刻蚀工艺及各向异性腐蚀工艺形成梁-质量块结构，可降低整个工艺的成本；梁结构的厚度由从（111）硅片正面进行的深反应离子刻蚀决定，工艺精度高。
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公开(公告)号：CN106841396A
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201510881188.X
申请日：2015-12-03
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N29/14
CPC classification number: G01N29/14
Abstract: 本发明提供一种硅基电容式声发射传感器及其制备方法，包括：声发射敏感膜；停靠环，位于声发射敏感膜的下表面；边框，位于声发射敏感膜外围，且与声发射敏感膜相隔一定的间距；边框的上表面设有上电极，下表面设有第一绝缘层；支撑膜，位于声发射敏感膜与边框之间；下电极硅片，下表面设有下电极，上表面设有第二绝缘层；第二绝缘层与第一绝缘层上下对应，且通过焊料层焊接在一起。支撑膜在大气压作用下变形，使得停靠环贴置于下电极硅片的上表面，声发射信号可以较好地耦合到声发射敏感膜上；在大气压作用下停靠环贴置于下电极硅片的上表面之后，声发射敏感膜与下电极硅片之间形成亚微米/纳米间隙，可极大地提高传感器的灵敏度。
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公开(公告)号：CN106329987A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201510346968.4
申请日：2015-06-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 苏州大学
Abstract: 本发明涉及一种自供电无线振动自主报警系统及方法，可以监测外界环境的机械振动，并在振动幅度高于特定预设阈值时自主无线发送报警/提示信号，属于传感器技术和物联网领域。本发明所述的自主报警微系统由振动自感知能量采集器、能量转换与存储单元、控制电路和无线发射电路组成。振动自感知能量采集器具有驱动阈值，在环境振动幅度低于阈值时不发电，只在环境振动幅度高于阈值时将振动的机械能转化成电能。发出的交流电在能量转换与存储单元中转化为直流并存储起来。控制电路检测到电能积攒到一定程度时，控制无线发射电路上电并发射报警/提示信号，报告事件的发生。
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公开(公告)号：CN103185612B
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201110443973.9
申请日：2011-12-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种适于表面贴装封装的单硅片微流量传感器及其制备方法，所述单硅片微流量传感器包括一单晶硅基片、二压力传感器和具有出/入通口的微流体沟道，本发明采用单硅片单面体硅微机械加工方法，在单晶硅基片内部制作所述微流体沟道、取压通道和压力传感器的参考压力腔体，并将所述二压力传感器和微流体沟道出/入通口巧妙地集成在同一单晶硅基片的同一面上，结构简单。本发明既避免了不同键合材料间热匹配失调所导致的残余应力和压力传感器的压力敏感薄膜厚度不均的问题，又适于利用表面贴装封装技术实现单硅片微流量传感器裸片与微流体系统的集成，具有制备成本低、封装方便、灵敏度高、稳定性好等特点，适合大批量生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104445044B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201410723421.7
申请日：2014-12-03
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种偏离（111）硅片解理晶向的高强度悬臂梁结构及制作方法，所述悬臂梁结构包括：（111）单晶硅片；至少一根悬臂梁，悬臂梁沿特定的晶向分布于（111）单晶硅片上，使得悬臂梁的横截面偏离（111）单晶硅片的解理面。本发明解决了以往单晶硅悬臂梁抗冲击强度难以进一步提高的瓶颈问题。可广泛应用于高量程的惯性传感器研制，具有工艺简单且兼容性强、制作成本低、适合大批量生产的特点，在工业自动化控制、生物医疗和军事领域具有很大的应用前景。
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公开(公告)号：CN104569369B
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201510016562.X
申请日：2015-01-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法，包括在谐振式微悬臂梁上以光刻胶为牺牲层，光刻形成环状凹槽；沉积疏水材料，在环状凹槽中形成疏水侧壁作为敏感池，其余部分形成疏水薄膜；通过刻蚀图形化疏水材料，在疏水侧壁的外侧与疏水薄膜之间形成狭缝；从背面划片，去除光刻胶释放器件结构；将敏感材料注入敏感池结构中并固化形成液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器。本发明利用聚对二甲苯薄膜保护谐振式微悬臂梁，狭缝结构有效防止液体进入聚对二甲苯薄膜下方接触微悬臂梁，从而使得工作时，微悬臂梁上仅敏感区域接触待测液体样品，其余部分均工作在空气环境下，从而大大减小了阻尼，提高了传感器的品质因数和灵敏度。
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公开(公告)号：CN105226992A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201410250499.1
申请日：2014-06-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H02N2/18
Abstract: 本发明提供一种振动幅度阈值驱动发电的能量采集器及传感器，至少包括：用于感应外界振动的第一级振子；所述第一级振子包括依次连接的第一弹簧、第一质量块及第一磁体；用于产生电能的第二级振子；所述第二级振子包括依次连接的第二弹簧、第二质量块及第二磁体；所述第一级振子与所述第二级振子均设置于一基座上；当外界振动幅度小于预设阈值时，能量采集器不发电；当外界振动幅度大于所述预设阈值时，所述第一级振子驱动所述第二级振子振动，产生电能。本发明具备阈值驱动发电功能，采用所述能量采集器的传感器可将发电行为作为传感信号，并以脉冲形式发射，实现自供能的“事件驱动”传感功能。
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公开(公告)号：CN103668141B
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201210315544.8
申请日：2012-08-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: C23C18/44 , C04B35/628
Abstract: 本发明涉及一种在氧化石墨烯表面生长贵金属纳米晶的方法，采用油胺（Oleylamine，CAS号：112-90-3）作为反应的溶剂以及反应体系中的还原剂，在具有含氧官能团（如羟基、羧基、羰基和环氧基）修饰的石墨烯材料表面将贵金属前驱体还原成贵金属纳米晶，制造具有贵金属纳米晶负载的氧化石墨烯材料。该方法具有原理清晰、方法先进、易于操作、造价低廉、适用于多种贵金属和批量生产的特点。
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公开(公告)号：CN104913852A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510341296.8
申请日：2015-06-18
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于键合技术的光学读出红外探测器阵列的制作方法，所述制作方法至少包括：1)提供一牺牲衬底和一玻璃衬底，将所述牺牲衬底与所述玻璃衬底键合，减薄所述牺牲衬底形成牺牲层；2)在所述牺牲层上制作形成像素结构阵列，所述像素结构阵列包括制作于所述牺牲层表面的悬浮结构和制作于牺牲层中且与所述玻璃衬底直接接触的锚；3)腐蚀所述牺牲层，释放所述像素结构阵列，形成光学读出红外探测器阵列。本发明提供的制作方法能同时满足器件对机械强度、热串扰、像素的无损释放和红外辐射利用率等各方面的要求，适用于工业化生产。
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