公开(公告)号：CN1271544C

公开(公告)日：2006-08-23

申请号：CN200310122883.5

申请日：2003-12-30

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 张永刚 ,  李爱珍 ,  齐鸣

IPC: G06F17/00 ,  H01L21/66 ,  G01N21/27

Abstract: 本发明涉及一种用于半导体材料特性表征的方法及其系统，属于半导体测试技术领域。本发明特征在于采用两个或多个不同波长的单色微光器作为测量光源；用材料的光电导、光伏或光电容等信号作为响应信号，对测量光源进行变频调制，采用锁相放大技术测量光源的调制频率与响应信号幅度间关系，对测量数据进行处理拟合，从而获得有关材料特性的数据。提供的系统由两台或多台不同的波长的单色微光器及进行波长切换的反射镜光路；光调制器、偏置电源、偏置网络及样品架；弱信号扦测的锁相放大器以及计算机控制的数据采集的记录等五部分组成。本发明适用于各类薄膜，外延微结构及体材料半导体特性的测量和表征。

公开(公告)号：CN1198954C

公开(公告)日：2005-04-27

申请号：CN02151295.7

申请日：2002-12-13

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 吴根柱 ,  齐鸣 ,  李爱珍 ,  张永刚

IPC: C23C14/50 ,  H01S5/10

Abstract: 本发明涉及一种用于半导体激光器腔面蒸镀的非接触固定方式的夹具，其特征在于采用了非接触固定方式，避免产生机械损伤。该夹具由一个不锈钢板上开有宽度为0.15-0.25mm，间距为2-3mm的多条狭缝而制成。使用时只要把解理条放进狭缝里即可固定。由于狭缝宽度大于解理条厚度而小于解理条宽度，同时采用一种不锈钢板下设有网格的方法，保证解理条从狭缝里掉不下来，所以解理条装在狭缝里始终位于竖立状态，并且端面保持水平朝下方向。由于一个夹具上有多条狭缝，所以由一个夹具一次可以装配好多解理条，并且解理条装卸过程非常容易。另外也很方便实施两个腔面蒸镀，本发明提供的非接触式固定的夹具结构简单、操作简便、安全可靠、加工成本低、使用寿命长、非常适合于批量生产。