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公开(公告)号：CN1422978A
公开(公告)日：2003-06-11
申请号：CN02151295.7
申请日：2002-12-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种用于半导体激光器腔面蒸镀的非接触固定方式的夹具,其特征在于采用了非接触固定方式,避免产生机械损伤。该夹具由一个不锈钢板上开有宽度为0.15－0.25mm,间距为2－3mm的多条狭缝而制成。使用时只要把解理条放进狭缝里即可固定。由于狭缝宽度大于解理条厚度而小于解理条宽度,同时采用一种不锈钢板下设有网格的方法,保证解理条从狭缝里掉不下来,所以解理条装在狭缝里始终位于竖立状态,并且端面保持水平朝下方向。由于一个夹具上有多条狭缝,所以由一个夹具一次可以装配好多解理条,并且解理条装卸过程非常容易。另外也很方便实施两个腔面蒸镀,本发明提供的非接触式固定的夹具结构简单、操作简便、安全可靠、加工成本低、使用寿命长、非常适合于批量生产。
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公开(公告)号：CN1198954C
公开(公告)日：2005-04-27
申请号：CN02151295.7
申请日：2002-12-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种用于半导体激光器腔面蒸镀的非接触固定方式的夹具，其特征在于采用了非接触固定方式，避免产生机械损伤。该夹具由一个不锈钢板上开有宽度为0.15-0.25mm，间距为2-3mm的多条狭缝而制成。使用时只要把解理条放进狭缝里即可固定。由于狭缝宽度大于解理条厚度而小于解理条宽度，同时采用一种不锈钢板下设有网格的方法，保证解理条从狭缝里掉不下来，所以解理条装在狭缝里始终位于竖立状态，并且端面保持水平朝下方向。由于一个夹具上有多条狭缝，所以由一个夹具一次可以装配好多解理条，并且解理条装卸过程非常容易。另外也很方便实施两个腔面蒸镀，本发明提供的非接触式固定的夹具结构简单、操作简便、安全可靠、加工成本低、使用寿命长、非常适合于批量生产。
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公开(公告)号：CN1184727C
公开(公告)日：2005-01-12
申请号：CN02136624.1
申请日：2002-08-23
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01S5/10
Abstract: 本发明提供一种实现半导体激光器后腔面高反射涂层的膜系结构，目的是提高激光器输出功率，减小阈值电流，改善激光器各方面性能。其特征在于本发明采用既廉价又容易蒸发的金属银(Ag)做为高反射镀膜材料，以其它折射率接近1.8的氧化物介质膜，如ZrO2、SiO、Al2O3中一种作为垫底和保护膜，在激光器后腔面用电子束蒸镀方法实现了高反射涂层。经不同激光器上实施后表明，该涂层能使激光器功率提高60%，减小阈值电流20-50%，并且有良好的化学稳定性、热稳定性和牢固性，能有效保护半导体激光器后腔面。与现有的半导体激光器腔面镀膜技术相比，本发明具有膜系结构简单，实施容易，成本低，更适合于生产领域等优点。
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公开(公告)号：CN1400698A
公开(公告)日：2003-03-05
申请号：CN02136624.1
申请日：2002-08-23
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01S5/10
Abstract: 本发明提供一种实现半导体激光器后腔面高反射涂层的膜系结构，目的是提高激光器输出功率，减小阈值电流，改善激光器各方面性能。其特征在于本发明采用既廉价又容易蒸发的金属银(Ag)做为高反射镀膜材料，以其它折射率接近1.8的氧化物介质膜，如ZrO2、SiO、Al2O3中一种作为垫底和保护膜，在激光器后腔面用电子束蒸镀方法实现了高反射涂层。经不同激光器上实施后表明，该涂层能使激光器功率提高60％，减小阈值电流20－50％，并且有良好的化学稳定性、热稳定性和牢固性，能有效保护半导体激光器后腔面。与现有的半导体激光器腔面镀膜技术相比，本发明具有膜系结构简单，实施容易，成本低，更适合于生产领域等优点。
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