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公开(公告)号：CN110104607B
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN201910374186.X
申请日：2019-05-07
Applicant: 清华大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种用于保护MEMS器件敏感结构的划片方法。所述划片方法包括如下步骤：采用具有保护结构的硅圆片作为保护片；将硅圆片与待划片的MEMS圆片通过其上设置的装配结构配合，然后依次进行划片和裂片即得到单个的MEMS器件；当硅圆片与MEMS圆片配合时，MEMS圆片上的每个MEMS器件嵌入至硅圆片的保护结构内。采用本发明方法时，在述划片与裂片过程中，划片产生的硅屑被保护腔室的腔室壁挡住；裂片产生的硅屑被MEMS器件周围的划片槽挡住。与现有技术相比，本发明方法具备的优点：通过一步刻蚀加工出保护圆片，实现对MEMS结构进行保护，工艺流程与操作简单，并且该圆片可重复使用；不需要昂贵的划片设备，在现有工艺设备基础上即可实现，成本低；可适用各种MEMS器件，适用性强。
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公开(公告)号：CN110266271A
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201910619459.2
申请日：2019-07-10
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种低温度系数的单端口RC振荡器电路，其包括充放电回路、比较器、负电阻和反相器。本发明结合了由MOS管构成的比较器和负电阻，抵消了跨导受温度的影响；进一步采用由正、负温度系数电阻组成的复合电阻，计算最优电阻温度系数，降低电阻、阈值电压等因素受温度影响带来的频率变化。该振荡器电路并未采用额外结构做温度补偿，具有结构简单、芯片面积非常小、温度稳定性较好等优点，可广泛应用于集成电路中。
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公开(公告)号：CN110104607A
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201910374186.X
申请日：2019-05-07
Applicant: 清华大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种用于保护MEMS器件敏感结构的划片方法。所述划片方法包括如下步骤：采用具有保护结构的硅圆片作为保护片；将硅圆片与待划片的MEMS圆片通过其上设置的装配结构配合，然后依次进行划片和裂片即得到单个的MEMS器件；当硅圆片与MEMS圆片配合时，MEMS圆片上的每个MEMS器件嵌入至硅圆片的保护结构内。采用本发明方法时，在述划片与裂片过程中，划片产生的硅屑被保护腔室的腔室壁挡住；裂片产生的硅屑被MEMS器件周围的划片槽挡住。与现有技术相比，本发明方法具备的优点：通过一步刻蚀加工出保护圆片，实现对MEMS结构进行保护，工艺流程与操作简单，并且该圆片可重复使用；不需要昂贵的划片设备，在现有工艺设备基础上即可实现，成本低；可适用各种MEMS器件，适用性强。
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公开(公告)号：CN110031647A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201910374194.4
申请日：2019-05-07
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种用于容栅式角位移传感器的ASIC接口，该ASIC接口包括直流电容对消阵列、C-V转换器、谐振器、量化器、有数字信号控制的电容反馈阵列和数字解调滤波模块；所述直流电容对消阵列用于抵消检测电容中的直流量C0；C-V转换器用于将检测电容信号经过C-V转换为成比例的电压信号；谐振器用于将所述C-V转换器输出的电压信号进行带通Σ-Δ调制；量化器用于将所述谐振器输出的信号转换成位流信号；所述数字信号控制的电容反馈阵列用于根据所述量化器输出的位流信号调节所述C-V转换器输入信号的动态范围；数字解调滤波电路用于将所述量化器输出的位流信号经过数字解调输出传感器测量信号的数字量。
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公开(公告)号：CN109269399A
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201811252393.X
申请日：2018-10-25
Applicant: 清华大学
IPC: G01B7/30
Abstract: 本发明涉及一种在线误差参数辨识及自补偿系统和方法，其包括数据输入模块、参数辨识模块以及角度解调模块；数据输入模块用于输入旋转变压类型角位移传感器的正余弦信号的实际测量信号，并发送到参数辨识模块；参数辨识模块包括信号流网络模块和优化控制器模块，信号流网络模块用于根据预先建立的误差模型对输入的正余弦信号的实际测量信号进行误差参数辨识，并将辨识结果发送到优化控制器模块；优化控制器模块用于对误差参数辨识结果进行参数优化，得到最佳参数后发送到角度解调模块；角度解调模块根据最佳参数进行正余弦信号自补偿及角度解算，得到旋转变压类型角位移传感器的角位移。本发明可以广泛应用于旋转变压类型的角位移传感器领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108504555A
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201810337789.8
申请日：2018-04-16
Applicant: 清华大学
IPC: C12M1/34 , C12Q1/6886
Abstract: 本申请涉及鉴别及评价肿瘤进展的装置和方法。所述装置或方法可包括：1)能够提供患有所述肿瘤的患者的临床特征的模块或步骤；2)能够提供源自所述患者的至少一种生物学指标的模块或步骤；3)能够确定各所述患者的所述至少一种生物学指标与相应患者的所述临床特征的相关性的模块或步骤；以及4)能够评价所述肿瘤的进展或鉴定相关评价指标的模块或步骤。本申请的装置或方法能够为研究肿瘤进展的潜在分子机制和提供针对肿瘤进展的治疗策略提供指导。
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公开(公告)号：CN106825567A
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201710047601.1
申请日：2017-01-22
Applicant: 清华大学
CPC classification number: B22F3/003 , B22F3/1055 , B22F2003/1056 , B23K15/08 , B28B1/001 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , Y02P10/295
Abstract: 本发明公开了一种电子束选区熔化与电子束切割复合的增材制造装备，其特点是同一套电子束发射聚集扫描装置可以发射加热、选区熔化和电子束切割三种模式的电子束。发射加热模式的电子束对粉末床进行扫描预热；发射选区熔化模式的电子束对截面轮廓内的粉末进行扫描熔化，形成所需的零件截面层；发射电子束切割模式的电子束对零件截面的内外轮廓进行一次或多次切割扫描，去除或切除轮廓上的粗糙边缘和熔接粉末，以获得精确平顺的零件截面内外轮廓。重复上述加热、熔化沉积和轮廓切割过程，最终得到所需的三维实体零件。本发明的电子束选区熔化与电子束切割复合的增材制造装备可以提高电子束选区熔化制品内外表面的光洁度和微小内孔的成形能力。
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公开(公告)号：CN105955247A
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201610527903.4
申请日：2016-07-06
Applicant: 清华大学
IPC: G05B23/02
CPC classification number: G05B23/0254 , G05B2219/23004
Abstract: 本发明涉及一种基于解耦控制的力平衡闭环方法，它包括以下步骤：1)生成正弦波ref sin(k)信号；2)对ref sin(k)分别进行0°和90°移相后均进行θ移相；3)得到检测电压数字量s1；4)得到反映MEMS谐振器检测运动同相幅度信息的s1d mod0和正交幅度信息的s1d mod90后滤除高频信号；5)将s1d mod01和s1d mod901分别与预先设定值比较，其差值分别传输至C1(z)和C2(z)；6)得到解耦后的四组信号；7)对四组信息进行相应的求和；8)得到力平衡驱动电压的同相分量数字量驱动信号和正交分量数字量驱动信号；9)得到最终的力平衡驱动电压信号BAL，判断MEMS谐振器敏感质量M在频率f的振动运动振幅为是否为0，如果为0，则返回步骤1)进行下一次循环；否则返回步骤4)。
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公开(公告)号：CN105953721A
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201610339806.2
申请日：2016-05-20
Applicant: 清华大学
IPC: G01B7/30
CPC classification number: G01B7/30
Abstract: 本发明涉及一种偏心电容式角位移传感器结构及其使用方法，它包括解调电路和敏感结构，解调电路产生正弦激励信号作用于敏感结构，由敏感结构将电容变化信息返回至解调电路进而获得转角信息。敏感结构包括定子和转子，在定子表面设置有保护电极、激励电极和采集电极；在定子表面最内侧和最外侧均设置有保护电极，紧邻内环保护电极的外侧设置有激励电极，激励电极的外侧设置有采集电极。转子包括保护电极、耦合电极和偏心敏感电极，在转子表面最内侧和最外侧也均设置有保护电极，紧邻内环保护电极外侧设置有耦合电极，耦合电极外侧设置有偏心敏感电极。采集电极和偏心敏感电极呈正对设置，组成测量电容。本发明可减小因径向跳动而导致的测量误差。
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公开(公告)号：CN208232294U
公开(公告)日：2018-12-14
申请号：CN201820508434.6
申请日：2018-04-11
Applicant: 清华大学
Abstract: 本实用新型涉及一种半球谐振器的热成型装置，包括：用于承载成型材料片的承载台，与所述承载台密封连接的凹模，以及与所述承载台密封连接且支撑在所述凹模下方的密封头；其中，在所述凹模的型腔的底部中心设置有用于固定成型材料柱的插槽，在所述凹模的型腔的底部还设置多个抽气孔；在所述密封头的下端密封连接抽气管，在所述抽气管中布置可升降的顶杆，所述顶杆的上端与顶针固定连接，所述顶针的上端布置于开设在所述凹模底部的顶针孔中，所述顶针孔与插槽相通。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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