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公开(公告)号：CN103237403A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310177061.0
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H05H1/24
Abstract: 电晕放电模式的大气等离子体发生装置，它属于光学加工领域。它为了解决光学元件的局部小范围面形误差修整问题。它的内电极的上端镶嵌在圆环形聚四氟乙烯连接块的内孔的上端中，圆环形绝缘固定套套接在内电极的中部，圆环形绝缘固定套外圆面的上部镶嵌在圆环形聚四氟乙烯连接块的内孔的下端处，圆管形陶瓷喷嘴的上端套接在圆环形绝缘固定套外圆面的下部上，使圆管形陶瓷喷嘴的内圆面与内电极的外圆面下部之间有一圈均匀的间隙，中空圆环形外电极的上端与圆环形聚四氟乙烯连接块的下端连接，中空圆环形外电极的内孔套接在圆管形陶瓷喷嘴的外圆面上。本发明能以高分辨率去除函数的方式对待加工件进行大气等离子体加工。
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公开(公告)号：CN103231297A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310177080.3
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B24B13/00
Abstract: 大口径光学零件的大气等离子体加工方法，本发明属于光学加工领域。它是为了解决传统的机械抛光技术存在的低加工效率而无法满足光学领域对大口径光学元件的大批量需求的问题。包括：步骤一：将大气等离子旋转电极设置在密封罩内；步骤二：将密封罩的上端绝缘连接工作轴上，将待加工光学零件装卡在工作平台上；步骤三：使大气等离子旋转电极靠近待加工光学零件的待加工表面；步骤四：预热射频电源并打开混合等离子体气源；步骤五：启动射频电源；步骤六：用上述产生的大气等离子体对零件表面进行加工；步骤七：取出待加工光学零件。本发明采用了旋转电极与加工零件之间的放电间隙产生等离子体，是非接触式化学加工方法，避免了机械加工中产生的损伤层。
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公开(公告)号：CN103227093A
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201310177069.7
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01J37/32
Abstract: 适用于大口径非球面光学零件的大气等离子体加工装置，本发明属于光学加工领域。它是为了解决传统的机械抛光技术存在的低加工效率而无法满足光学领域对大口径光学元件的大批量需求的问题。它的旋转电极设置在密封罩内，旋转电极与射频电源的输出端连接作为大气等离子体放电的阳极；密封罩的上端绝缘连接在工作轴上，将待加工光学零件装卡在工作平台上；工作平台接地作为大气等离子体放电的阴极；旋转电极与待加工光学零件的待加工表面之间设置有放电间隙。本发明能对大口径非球面光学表面进行非接触式大气等离子体加工，加工速度高，不存在边缘效应问题。
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公开(公告)号：CN102909610A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201210429045.1
申请日：2012-11-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 五轴联动超精密机床，它涉及一种五轴联动机床。本发明为了解决传统超精密机床存在的功能单一；加工对象形状简单，难以满足复杂微细结构表面和微小元件加工的要求等问题。机床床身上装有X轴导轨和Z轴导轨，X轴导轨上滑动连接有X轴溜板，Z轴导轨上连接有Z轴溜板；X轴溜板上沿竖直方向安装有立柱，立柱的竖直方向滑动连接有Y轴中溜板，Y轴中溜板前固定连接有Y轴前溜板；Y轴前溜板上沿水平方向固定安装有C轴，C轴上安装有真空吸盘，Z轴溜上沿竖直方向安装有B轴；X轴、Y轴、Z轴为液体静压导轨支撑，B轴和C轴采用气体静压支撑，B轴上安装夹具装置及刀具；C轴采用第一光栅和第二光栅来实现双反馈控制。本发明用于加工微细结构表面与微小元件。
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公开(公告)号：CN102909596A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201210429004.2
申请日：2012-11-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23Q5/40
Abstract: 一种超精密机床的垂直运动轴系，它涉及一种机床的垂直运动轴系。本发明为了解决传统垂直运动轴系难以适用于面向复杂微细结构加工的超精密机床的问题。两个立柱并列设置在X轴溜板上，垂直运动轴中溜板滑动连接在两个立柱之间，垂直运动轴中溜板的前侧安装有垂直运动轴前溜板，后侧安装有垂直运动轴后溜板，气体静压主轴和主轴电机座装在贯穿圆孔内，气体静压主轴的后端与主轴电机座内的主轴电机连接，横梁安装在两个立柱的上端面上，丝杠轴承座装在中心孔上，丝杠轴承座上装有力矩电机，滚珠丝杠的下端与置于横梁下方的丝杠螺母座相连接，滚珠丝杠的上端与力矩电机连接，垂直运动轴中溜板与X轴溜板之间连接有卸荷气缸。本发明用于超精密机床中。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101596641B
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN200910072404.0
申请日：2009-06-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 大气低温等离子体化学修整金刚石刀具表面缺陷的方法，属于大气低温等离子体化学修整金刚石刀具表面缺陷的方法。本发明的目的是为了解决目前金刚石刀具采用机械式研磨进行加工之后，刀具研磨表面及刃口存在的微观缺陷无法去除，从而影响到金刚石刀具的切削性能和使用寿命的问题。本方法为向等离子体发生器的阴极和阳极之间通入等离子体气体和反应气体的混合物，并在阴极和阳极上施加射频功率信号，然后在两个电极之间产生等离子体放电，将研磨完成的金刚石刀具置于等离子体放电区域之内加工10-30分钟后取出，即可实现对刀具的修整，电极的内部空腔通入循环冷却水。本发明用作对金刚石刀具表面微观缺陷的去除。
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公开(公告)号：CN100406197C
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200610010296.0
申请日：2006-07-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B24B1/00
Abstract: 常压等离子体抛光装置，它涉及一种抛光装置。本发明的目的是为解决常规的机械式研抛方法存在的不足及在碳化硅等硬脆性难加工材料的超光滑表面加工中存在的效率低、易产生表层及亚表层损伤、表面清洗困难等问题，本发明的主要部件包括：密封工作舱(51)、等离子体炬(53)、第一联动系统(52)、第二联动系统(57)、第一流量控制器(60)、第二流量控制器(65)、反应气体瓶(61)、等离子体气体瓶(62)、气体回收处理装置(63)，等离子体炬(53)安装在第一联动系统(52)上。本发明可在常压下通过等离子体化学反应实现超光滑表面加工，不需要真空室，可降低设备成本并扩大其使用范围。加工效率是传统抛光方法的十倍，并且无表面损伤、无亚表层损伤、无表面污染。
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公开(公告)号：CN115586707B
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202211215632.0
申请日：2022-09-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种高回转精度的开式平面静压气浮转台，属于超精密加工装备领域，具体方案如下：一种高回转精度的开式平面静压气浮转台，包括主轴转子、轴套和底座，轴套固定在底座上，主轴转子包括平台和设置在平台下表面中部的半球结构，轴套的上表面中部设置有容纳半球结构的凹槽Ⅰ，半球结构与凹槽Ⅰ形成半球轴承，轴套的上表面与平台的下表面形成止推轴承，从而形成一开式气浮轴承结构，配合表面节流的形式，使得本发明整体结构简单，加工制造方便，容易达到较高的精度。通过调节主轴转子及其负载的重力配合调节真空气路中的真空度来对气浮轴承施加一定预载，使得两个轴承面在气膜间隙合适的情况下达到一个最优刚度与承载的匹配，并具有较好的鲁棒性。
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公开(公告)号：CN116079083B
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202310161188.7
申请日：2023-02-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于六轴的柱面菲涅尔超精密加工辊筒设备，属于超精密加工技术领域。辊筒模具安装在辊筒机床上，刀具组件设置在辊筒模具下方，且刀具组件安装在串联双转台上，串联双转台通过XYZ轴位移台安装在辊筒机床上。本发明利用辊筒机床在大尺寸辊筒模具上加工柱面菲涅尔，充分发挥柱面菲涅尔的大尺寸优势，改进了柱面菲涅尔仿形加工方法，去除了用于调整刀具的手动位移台，保证机床整体刚度；同时主轴C轴采用气体静压主轴，将刚度和承载两者进行耦合从而使气浮主轴具有极高的回转精度以及刚度，大大提高其抗干扰能力，X轴和Z轴均为液体静压导轨，低速无爬行，在保证承载力的同时提高了直线运动精度，达到超精密加工要求。
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公开(公告)号：CN116117190B
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202310141408.X
申请日：2023-02-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种抗低头镗杆系统，属于超精密装备制造技术领域。为了摆脱加工设备和镗杆低头现象对加精密镗削工精度的影响，提高精密镗削的加工精度。配气套内部设有若干气道，并在气道上安装小孔节流器，配气套、小孔节流器和镗杆共同形成气体静压轴承的径向轴承部分，镗杆采用气浮支撑的支撑形式。与传统镗杆系统相比，本发明由于采用分区域供气的方式，配气套在镗杆上圆周区域和轴向区域上分别形成具有不同压力的径向气膜，不需要额外的伺服轴/调整机构，通过电磁调压阀控制不同气膜的压力，即可实现刀高的调整，避免镗杆低头现象的出现，镗杆系统刚度好，抗振性能强。
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