一种不同厚度铁电层的负电容场效应晶体管及制备方法

    公开(公告)号:CN113193047B

    公开(公告)日:2022-08-09

    申请号:CN202110351283.4

    申请日:2021-03-31

    Abstract: 本申请涉及一种不同厚度铁电层的负电容场效应晶体管及制备方法。该晶体管包括:衬底、埋氧化层、基于顶层形成的源区、基于顶层形成的漏区、基于顶层形成的全耗尽或部分耗尽的沟道、侧墙,以及源区漏区之间通过侧墙隔离的栅氧化层、负电容铁电层、金属层,其特征在于:所述负电容铁电层的厚度由源区至漏区方向不同,使得栅极不同厚度的负电容铁电层对栅极电压放大作用呈线性放大,对栅极电压放大作用具有更好的控制能力,同时不同厚度铁电层的负电容场效应晶体管在相同的栅压下具有更高的饱和区电流以及更低的亚阈值斜率,因此提升了晶体管的性能。

    一种基于共聚物有机半导体的集成功率器件

    公开(公告)号:CN114300616A

    公开(公告)日:2022-04-08

    申请号:CN202210004021.5

    申请日:2022-01-05

    Abstract: 本发明提供了一种基于共聚物有机半导体的集成功率器件,通过借助栅极和漏极之间引入一个二维载流子减速区结构,降低双极导通中载流子在减速区中的速度,从而降低载流子在有机分子之间跃迁的几率,抑制共聚物有机半导体中的载流子倍增效应,显著增加了共聚物有机半导体器件的耐压性能,提高了击穿电压。在实际制造过程中,仅源漏电极和栅极需要热蒸发沉积或磁控溅射,共聚物有机半导体层和有机栅介质层均可通过旋涂方式制备,简化了工艺流程,制备简单,成本低廉。作为半导体层的共聚物有机半导体材料与作为栅介质层的有机介质材料在高温下分解为水和二氧化碳,栅介质层材料与共聚物半导体材料无毒无害,绿色环保,不造成环境二次污染。

    一种三向双负电容鳍式场效应晶体管及其制备方法

    公开(公告)号:CN114284353A

    公开(公告)日:2022-04-05

    申请号:CN202111483792.9

    申请日:2021-12-07

    Abstract: 本申请涉及一种三向双负电容鳍式场效应晶体管及其制备方法。该晶体管包括:包括半导体衬底,覆盖于半导体衬底上表面的埋氧层,位于埋氧层上方的鳍式有源区,鳍式有源区包括源区、沟道区和漏区,鳍式有源区的源区和漏区之间的沟道区的上表面和第一方向上的左右两个侧表面覆盖了栅氧化层,栅氧化层上覆盖三向双负电容层,三向双负电容层由第一负电容材料和第二负电容材料形成,三向双负电容层上覆盖了金属层,三向双负电容层由第一负电容材料和第二负电容材料组成,第一负电容材料和第二负电容材料对栅极电压的放大效果不同,可以实现可变的电压放大效果,从而降低晶体管的功耗并提升晶体管性能,同时有效抑制短沟道效应。

    一种不同厚度铁电层的负电容场效应晶体管及制备方法

    公开(公告)号:CN113193047A

    公开(公告)日:2021-07-30

    申请号:CN202110351283.4

    申请日:2021-03-31

    Abstract: 本申请涉及一种不同厚度铁电层的负电容场效应晶体管及制备方法。该晶体管包括:衬底、埋氧化层、基于顶层形成的源区、基于顶层形成的漏区、基于顶层形成的全耗尽或部分耗尽的沟道、侧墙,以及源区漏区之间通过侧墙隔离的栅氧化层、负电容铁电层、金属层,其特征在于:所述负电容铁电层的厚度由源区至漏区方向不同,使得栅极不同厚度的负电容铁电层对栅极电压放大作用呈线性放大,对栅极电压放大作用具有更好的控制能力,同时不同厚度铁电层的负电容场效应晶体管在相同的栅压下具有更高的饱和区电流以及更低的亚阈值斜率,因此提升了晶体管的性能。

    一种不同材料铁电层的负电容场效应晶体管及制备方法

    公开(公告)号:CN113097308A

    公开(公告)日:2021-07-09

    申请号:CN202110351306.1

    申请日:2021-03-31

    Abstract: 本申请涉及一种不同材料铁电层的负电容场效应晶体管及制备方法。该晶体管包括:衬底、埋氧化层、基于顶层形成的源区、基于顶层形成的漏区、基于顶层形成的全耗尽或部分耗尽的沟道、侧墙,以及源区漏区之间通过侧墙隔离的栅氧化层、负电容铁电层、金属层,其特征在于:所述负电容铁电层由第一铁电层和第二铁电层拼接而成,所述第一铁电层和所述第二铁电层的铁电材料不同,使得栅极不同材料的负电容铁电层对栅极电压放大作用呈线性放大,对栅极电压放大作用具有更好的控制能力,同时不同材料铁电层的负电容场效应晶体管在相同的栅压下具有更高的饱和区电流以及更低的亚阈值斜率,亚阈值斜率可以低于理论极限值60mV/dec,因此提升了晶体管的性能。

    一种具有三维横向变掺杂的半导体器件耐压层

    公开(公告)号:CN108054194B

    公开(公告)日:2020-09-22

    申请号:CN201711234307.8

    申请日:2017-11-30

    Abstract: 本发明公开了一种具有三维横向变掺杂的半导体器件耐压层,该耐压层在半导体器件的半导体衬底或埋氧层的上表面外延形成,及所述耐压层具有三维横向变掺杂并且在以P+或N+为中心的曲率结构中掺杂浓度为非线性分布。所述耐压层采用叉指状版图或跑道形版图或圆形版图;所述耐压层采用硅或碳化硅、砷化镓、磷化铟、锗硅材料制作;本发明的耐压层能够按照标准的CMOS工艺制备,因此该工艺是一个与标准CMOS工艺完全兼容的工艺方案,工艺制备简单,成本低廉,可以有效抑制版图所带来的三维曲率效应,从而大大增强实际器件的耐压能力。

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