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公开(公告)号：CN115555578B
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202211333104.5
申请日：2022-10-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于微纳加工相关技术领域，并公开了一种金属及金属化合物三维微纳结构的制备方法，包括：将金属盐水溶液与配位单体超声混合，使其充分反应得到前驱体溶液；向前驱体溶液中加入光敏聚合单体及光引发剂，得到金属离子复合光敏树脂；采用飞秒激光直写技术将金属离子复合光敏树脂加工成型为目标3D立体结构，然后进行显影；最后进行煅烧处理。通过本发明，能够制备出多种金属及金属化合物的3D微纳结构，并且结晶性好，结构形貌无畸变，有效解决了现有技术中存在的光散射、微爆炸、低分辨率、以及光敏树脂低金属离子含量所造成的形貌畸变、结晶性差、性能低劣等技术问题。
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公开(公告)号：CN115275628A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202211021742.3
申请日：2022-08-24
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01Q15/00
Abstract: 本发明公开了一种金属‑记忆相变材料复合结构AFSS的变频方法及装置。通过制备一种金属材料与记忆相变材料的复合型频率选择表面，并采用一种三维脉冲激光扫描装置，输出特定范围脉冲宽度和能量密度的脉冲激光光束对复合单元阵列结构频率选择表面进行快速扫描，诱导复合单元阵列结构中的记忆相变材料在高阻态与低阻态之间快速切换，改变复合谐振单元的等效导电尺寸，实现调控频率选择表面电磁传输性能变化的功能，形成主动可变的谐振图案阵列和频率选择通带。本发明通过激光诱导金属‑记忆相变材料复合单元阵列中的记忆相变材料，实现频率选择表面的主动变频功能，具有快速、可逆、相变效果显著、非易失性的优点。
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公开(公告)号：CN115055814A
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202210883851.X
申请日：2022-07-26
Applicant: 华中科技大学
IPC: B23K26/08 , B23K26/064 , B23K26/046 , B23K26/362
Abstract: 本发明公开了工件五轴调整架、五轴运动装置、激光加工系统和方法，属于激光加工领域。本发明通过不同调节单元，给予定位盘不同方向的力的作用，从而改变工件的俯仰角度和空间位置，实现对工件的高精度位姿调整，从而使得双旋转台转轴、工件曲率中心、激光光轴达到高精度的契合。本发明通过A轴旋转台、B轴旋转台协同控制，利用待加工工件的回转特性，采用激光焦点位置固定不动，工件高速高精度旋转的加工方式，加工过程中无需控制Z轴的升降，且消除了光路扫描变化带来的聚焦精度误差。本发明通过A轴旋转台、B轴旋转台带动工件进行空间旋转，其旋转角度和速度由待加工图形决定，实现在工件表面高精度、高速度地加工出所设定的图形。
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公开(公告)号：CN113319425B
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202110530086.9
申请日：2021-05-14
Applicant: 华中科技大学
IPC: B23K26/082 , B23K26/064 , B23K26/046 , B23K26/70
Abstract: 本发明属于激光加工领域，公开了一种多轴激光扫描光学系统，该系统包括动态聚焦模块(15)、光束平行平移模块(18)、二维扫描模块(7)和聚焦模块(8)；动态聚焦模块用于控制激光光束的直径以及输出激光的焦点的Z坐标；光束平行平移模块用于调节激光光束传输方向在Y轴上的投影位置、以及激光光束传输方向在Z轴上的投影位置；该系统能够通过调控输入至二维扫描模块的激光光束其沿Y轴及沿Z轴的离轴方向与离轴距离，基于平行离轴激光束聚焦后与焦平面之间夹角会发生变化的原理，实现输出激光光束其传播方向与Y轴方向之间的夹角α、以及传播方向与X轴方向之间的夹角β的调控，从而实现对激光的多轴调控。
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公开(公告)号：CN114393313A
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202111455149.5
申请日：2021-12-01
Applicant: 华中科技大学
IPC: B23K26/36 , B23K26/082 , B23K26/064 , B23K26/70 , A61B18/20 , A61D1/00 , G01N21/63
Abstract: 本发明属于激光加工领域，并具体公开了一种基于同轴检测的激光扫描智能加工装置及方法，该装置包括激光器、激光扩束模块、透反镜、二维宽谱扫描镜、宽谱场镜以及三维精密运动平台，还包括等离子体光谱探测器、光谱处理模块以及加工控制模块；激光加工产生的同轴等离子体光谱信号依据光路可逆原理沿激光光路逆向传输，被等离子体光谱探测器实时采集，并在线传输至光谱处理模块实现高速光谱元素成像；根据光谱信号的变化情况与分析处理结果，自动调节或切换激光加工的加工参数及状态，进而实现激光扫描加工的实时在线监测与闭环控制，保证多层复合材料的高精度选择性智能加工，有效提升多层复合材料的激光加工精度和效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112479257B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202011344133.2
申请日：2020-11-25
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于化学合成材料技术领域，并具体公开了大气常温下激光诱导化学合成微纳尺度MoS2的方法及应用，该方法利用飞秒激光直接作用于包含钼源和硫源的前驱体上以诱导其发生光热化学反应进而生成目标产物MoS2，该方法可应用在微纳气体探测器的制备中。本发明实现了大气常温下微纳尺度MoS2产物的制备以及MoS2图案快速直写加工，同时通过调节激光参数实现产物形貌控制，并基于该技术实现了MoS2材料在微纳气体探测领域的应用。
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公开(公告)号：CN112947002A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202110097299.7
申请日：2021-01-25
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于微纳加工技术领域，更具体地，涉及一种用于微纳加工的光刻胶材料、其制备和应用。其将金属‑有机框架材料通过有机酸溶解于光敏树脂单体中，配合光引发剂共同组成光刻胶材料，然后利用超快激光直写系统增材制造三维微纳结构，显影晾干后经高温煅烧得到三维微纳结构的金属氧化物。本发明提出的一种金属氧化物三维微纳结构的增材制造方法，具有光刻胶简单易制备、适用于超快激光直写系统、分辨率高、成型效果好以及可加工任意复杂三维结构的优势。该发明制备的三维微纳结构金属氧化物有望在光子晶体、结构色、超材料、三维传感器以及三维集成电路等领域取得重大应用。
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公开(公告)号：CN112479257A
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202011344133.2
申请日：2020-11-25
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于化学合成材料技术领域，并具体公开了大气常温下激光诱导化学合成微纳尺度MoS2的方法及应用，该方法利用飞秒激光直接作用于包含钼源和硫源的前驱体上以诱导其发生光热化学反应进而生成目标产物MoS2，该方法可应用在微纳气体探测器的制备中。本发明实现了大气常温下微纳尺度MoS2产物的制备以及MoS2图案快速直写加工，同时通过调节激光参数实现产物形貌控制，并基于该技术实现了MoS2材料在微纳气体探测领域的应用。
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公开(公告)号：CN112271238A
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN202011309049.7
申请日：2020-11-20
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/032 , H01L31/08
Abstract: 本发明属于微纳材料合成及器件制备技术领域，更具体地，涉及一种金属氧化物微纳结构、其制备方法和应用。本发明通过将金属氧化物前驱体溶胶凝胶与醇类有机改性剂混合后涂覆于衬底表面，采用飞秒激光对前驱体溶胶凝胶薄膜进行直写，利用飞秒激光光焦点处产生的热量使金属氧化物前驱体发生反应生成金属氧化物，同时在衬底表面形成金属氧化物微纳结构；由于在溶胶凝胶中添加有醇类有机改性剂，该有机改性剂经实验证明能够显著改善得到的金属氧化物微纳结构形貌，使得纳米颗粒连续均匀，优选实施例中制备得到的紫外微纳光电探测器开关比相较于未添加醇类有机改性剂时的开关比提高了64倍。
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公开(公告)号：CN111872574A
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN202010698503.6
申请日：2020-07-20
Applicant: 华中科技大学
IPC: B23K26/38 , B23K26/082 , B23K26/70
Abstract: 本发明申请公开一种细长管材自动化激光切割方法与装置，属于激光加工领域。针对目前常规激光管材切割加工方式中出现的切口挂渣、严重热影响区以及热变形等加工缺陷，该方法将以一定间隔上料的多根管材聚拢，再利用连续/脉冲激光以多次扫描刻蚀的方法进行单面切割，完成后对管材实施并行翻转，并再次进行切割作业，最后重复上述步骤直到切割完成。实现该方法的装置包含管材上/下料系统、管材对齐系统、激光扫描切割系统、一个或多个管材并行分离、聚拢、翻转单元，以及相关控制系统。本发明装置和方法可利用激光扫描刻蚀或短脉冲激光“冷切割”的方式实现细长管材的自动化、高效、无挂渣、免吹气、低/无热影响区、高精度切割。
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