一种双解耦微机械轮式水平轴陀螺

    公开(公告)号:CN105091874A

    公开(公告)日:2015-11-25

    申请号:CN201410219808.9

    申请日:2014-05-23

    Applicant: 北京大学

    CPC classification number: G01C19/5656

    Abstract: 本发明涉及一种双解耦微机械轮式水平轴陀螺,其特征在于:可实现机械双解耦,驱动方式为角振动驱动的微机械水平轴陀螺;陀螺结构包括中心锚点,驱动扭转梁,角振动弧形驱动梳齿,检测扭转梁,分段排布的不等高检测梳齿,驱动质量块,复合质量块,检测质量块等;连接复合质量块和检测质量块的驱动扭转梁采用叉指形打折梁设计,有效地解决了陀螺在大驱动位移下的非线性问题;陀螺包括一种蟹爪形检测扭转梁,有效地降低了驱动到检测的机械耦合。本发明的陀螺设计方案可以提高微机械水平轴陀螺的性能,可以用于实现单片三轴陀螺,并进行批量生产。

    一种微机械锁存开关装置
    92.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101719433B

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN200910241708.5

    申请日:2009-12-08

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明涉及一种微机械锁存开关装置,它包括衬底,一由动触头、位于动触头上方的顶触头、位于动触头下方两侧的两侧触头、顶触头挠性梁、动触头挠性梁、侧触头挠性梁和与各对应锚点组成的常开通道,一由断裂梁、支撑梁和与各对应锚点组成的常闭通道,一由检测梁、检测质量块和与各对应锚点组成的敏感单元;动触头的顶部呈凸出的圆形弧面,顶触头与动触头的圆形弧面对应,设置呈内凹的圆形弧面;各顶触头挠性梁的两端分别连接锚点的一侧和顶触头的一侧;各动触头挠性梁的两端分别连接动触头的一侧和锚点;各侧触头挠性梁两端分别连接锚点和一侧触头;各检测挠性梁两端分别连接惯性质量块的一侧和锚点;每一侧的断裂梁与支撑梁的连接处为一极薄弱的可断口。本发明性能高,可靠性高,并集常闭和常开功能于一体,可以广泛应用在微机电系统领域中。

    一种采用静电平衡梳齿驱动器的水平轴微机械音叉陀螺

    公开(公告)号:CN101876547B

    公开(公告)日:2011-11-02

    申请号:CN200910241710.2

    申请日:2009-12-08

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明涉及一种采用静电平衡梳齿驱动器的水平轴微机械音叉陀螺,它包括衬底、一组以上的驱动电容、两检测质量块、驱动折叠梁、框架、一组以上的检测电容、检测折叠梁和锚点;每组驱动电容的一侧与相邻的检测质量块连接,检测质量块通过驱动折叠梁固定连接框架,框架分别连接检测电容和检测折叠梁,检测折叠梁连接固定在衬底上的锚点;每组驱动电容的另一侧依次通过驱动折叠梁和框架连接到检测折叠梁,检测折叠梁连接固定在衬底上的锚点。本发明由于采用的驱动可动梳齿与驱动固定梳齿沿Z轴方向厚度相同、位置不同、且对称分布,因此实现了有效地抑制从检测模态到驱动模态的耦合,提高了陀螺的灵敏度和分辨率。本发明可以广泛应用于各种领域中物体转动角速度的检测中。

    一种微电子机械系统圆片级真空封装及倒装焊方法

    公开(公告)号:CN100513299C

    公开(公告)日:2009-07-15

    申请号:CN200710121384.2

    申请日:2007-09-05

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明涉及一种微电子机械系统的圆片级真空封装及倒装焊方法,它包括如下步骤:对盖帽玻璃片进行打孔,但不打通;在盖帽玻璃片未打引线孔的一侧溅射钨(或铬)和金,并进行光刻和腐蚀,形成掩膜;用氢氟酸腐蚀玻璃腔体,同时将未穿通的引线孔腐蚀通;在玻璃腔体内溅射吸气剂;将MEMS器件结构圆片与盖帽玻璃片在高温、低压力下静电键合;在盖帽玻璃片上制作金属电极;在金属电极上制作金属凸点;将切片后的单个MEMS器件芯片与处理电路进行倒装焊封装。本发明方法封装可用于批量生产,保护MEMS器件芯片免受外界的污染和破坏,提高成品率。本发明可广泛应用于MEMS系统中。

    一种腹膜透析设备及透析液袋组件

    公开(公告)号:CN211383045U

    公开(公告)日:2020-09-01

    申请号:CN201921056149.6

    申请日:2019-07-08

    Abstract: 本实用新型涉及一种腹膜透析设备,包括入液管路卡扣、称重装置、透析液实时计量悬吊装置以及监控终端,所述监控终端基于所述透析液的实时温度、流量及流速、所述透析液袋的初始重量、所述废液袋的实时重量以及所述透析液袋的实时重量,监控透析过程。本实用新型还涉及一种透析液袋组件,包括透析液袋以及与透析液袋连通、用于将透析液输送至人体腹腔的入液管路,所述入液管路中包括一加热芯和一流量芯,所述加热芯用于对流经的透析液进行实时加热,所述流量芯用于产生标定流经的透析液的流量和/或流速的信号。整个透析过程得到有效监控,同时也不必用户进行复杂的设置、输入和确认,大大简化了透析操作,提升了透析过程的安全性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    橡胶支座硫化装置
    100.
    实用新型

    公开(公告)号:CN208681882U

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201820563479.3

    申请日:2018-04-19

    Abstract: 本实用新型提供一种橡胶支座硫化装置,包括模具本体和中高频电源;其中:所述模具本体包括上模、中模和下模,所述中模具有适于放置橡胶支座的中空结构;所述上模和所述下模分别设置于所述中模的两个端口处且与所述中模紧密连接;通过在中模内部设置由导磁陶瓷材料制备的导磁槽来容纳通电线圈,通电线圈与外部中高频电源电连接,从而获得中高频电流以产生第一电磁场对钢板进行加热,由于通电线圈直接设置在模具本体的内部且通过导磁陶瓷材料将通电线圈的产生的电磁场束缚在中模内部,可避免电磁场只作用于模具本体,由此可以使中高频电磁场全部用于对钢板进行直接加热,因此具有非常好的加热效果,可大大缩短橡胶支座的加热时间。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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