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公开(公告)号：CN212167469U
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN202020111431.6
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
Abstract: 本实用新型提供一种光栅波导微流体芯片，包括光栅波导和微流道，所述光栅波导包括出射光栅，所述出射光栅位于所述微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入所述微流道内：还包括：依次由下而上设置的衬底、下包层、波导层、保护层和上包层；所述波导层是氮化硅材料，所述波导层用以形成所述光栅波导；所述保护层是二氧化硅材料，用以覆盖所述光栅波导并保护所述出射光栅；所述微流道贯穿所述上包层以暴露出所述保护层。具有有益效果：生产芯片级光学检测系统，把传统的台式甚至大型的光学系统缩小到芯片尺寸，保证同等甚至更出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品的高通量芯片级光学检测和分析集成系统，大幅度降低系统成本。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN212134710U
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202020116202.3
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
IPC: G01N33/574 , G01N21/64 , G01N21/27 , B01L3/00
Abstract: 本实用新型提供一种基于CMOS图像传感的光栅波导多微流道检测系统，包括微流体芯片、CMOS图像传感层和分析装置；微流体芯片包括微流体组，微流体组包括第一数量的微流体，微流体包括微流道和光栅波导及出射光栅，出射光栅位于微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入微流道内；还包括在25‑150℃沉积温度下形成的氮化硅波导层；CMOS图像传感层位于下包层下方。具有有益效果：形成光栅波导与多微流道一体化矩阵的结构，通过多微流体通道和大规模矩阵化的光栅波导来实现比传统光学系统更高通量的分析性能，快速构建高通量生物样品的芯片级的片上光学检测分析系统，实现微纳尺度下的生物检测的高通量芯片；减少实验中对收集光路调整等准备工作，提高检测系统的便携性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN211785573U
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN202020116180.0
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
IPC: G01N33/574 , G01N21/64 , G01N21/27 , B01L3/00
Abstract: 本实用新型提供一种基于CMOS图像传感的光栅波导微流体检测系统，包括：微流体芯片、CMOS图像传感层和分析装置；微流体芯片包括：光栅波导和微流道，光栅波导包括出射光栅，出射光栅位于微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入微流道内；还包括：依次由下而上设置的下包层、波导层、保护层、上包层和流道盖板，波导层是在25-150℃沉积温度下形成的氮化硅材料，波导层用以形成光栅波导；微流道贯穿上包层以暴露出保护层。具有有益效果：在CMOS图像传感层和高分子聚合材料上低温沉积光学性能可调的氮化硅光波导，不破坏CMOS图像传感层，减少了实验中对收集光路调整等准备工作，提高了实验效率；提高了检测系统的便携性，大大增加了系统的应用场景。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN211603214U
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN202020111435.4
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
IPC: G01N33/574 , G01N21/64 , G01N21/25 , B01L3/00
Abstract: 本实用新型提供一种光栅波导微流体检测系统，包括微流体芯片、显微镜、测量装置和分析装置；微流体芯片包括：光栅波导和微流道，光栅波导包括出射光栅，出射光栅位于所述微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入所述微流道内，还包括：依次由下而上设置的衬底、下包层、波导层、保护层、上包层和流道盖板，所述波导层用以形成所述光栅波导；所述保护层用以覆盖所述光栅波导并保护所述出射光栅；所述微流道贯穿所述上包层以暴露出所述保护层。具有有益效果：生产芯片级光学检测系统，把传统的台式甚至大型的光学系统缩小到芯片尺寸，保证同等甚至更出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品的高通量芯片级光学检测和分析集成系统，大幅度降低系统成本。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN211142040U
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201921756610.9
申请日：2019-10-19
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
Abstract: 本实用新型提供一种柔性基底纳米孔结构及柔性基底纳米孔阵列，包括柔性基底和纳米孔结构，纳米孔结构形成于孔基底上，纳米孔结构包括纳米孔腔、纳米孔，纳米孔腔贯穿孔基底，纳米孔是纳米孔腔的一端开口，纳米孔腔呈非线性缩小腔体或线性缩小腔体向纳米孔延伸；还包括：光栅，由多组光栅槽构成；孔保护膜，覆盖光栅和纳米孔腔；金属层，覆盖孔保护膜，以缩小纳米孔尺寸至1～100nm；流体腔。每个纳米孔结构含一个覆盖金属层的等离激元光谱纳米孔，纳米孔周围是布拉格光栅反射镜，实现柔性基底制备；单个纳米孔的尺寸小，具有不易被外力折断，满足恶劣环境下的测序有益效果；金属层表面局域等离激元增强电场与距离呈指数衰减，提供亚纳米的空间分辨率。
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公开(公告)号：CN211142037U
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201921756625.5
申请日：2019-10-19
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
IPC: C12M1/34
Abstract: 本实用新型提供一种模块化组装的纳米孔装置，包括壳体、流体腔密封层、柔性基底纳米孔结构、流体腔基座，柔性基底纳米孔结构包括第一流道对准标记和第一模块对准标记；流体腔基座包括第二流道对准标记和第二模块对准标记；流体腔密封层包括第三模块对准标记；第一流道对准标记和第二流道对准标记用于所述液体流道和所述流道开口密封件的对准装配，以使液体流道和流道开口密封件实现快速对准和密封；各模块对准标记上下对准以实现各模块上下对准装配。本装置灵活组装，简化维修和部件更替手续，实现用户自助维修和部件更换，节约时间成本，可实现多场景的测序和检测应用，每个模块可分别储存备用，需要时可以快速组装和测量，大大提高灵活性与便携性。
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公开(公告)号：CN307690452S
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202230307145.1
申请日：2022-05-23
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司 , 上海精测半导体技术有限公司
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：电子探测器芯片。
2.本外观设计产品的用途：应用于扫描电子显微镜中，用于对各种材料、微电子器件、生物样品进行成像表征测试，可同时实现对化学组成成份的成像以及对样品表面形貌成像。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状与图案的结合。
4.最能表明设计要点的图片或照片：组合状态1立体图。 -
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