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公开(公告)号：CN206457251U
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：CN201621342682.5
申请日：2016-12-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本实用新型提供一种微热导检测器：所述微热导检测器具有三明治结构，从下而上依次是玻璃衬底、带微沟槽的SOI硅片和带微沟道的玻璃；交叉网状结构制作于SOI硅片表面并悬浮于微通道之中，其结构包括SOI硅片的顶层硅、由两层氧化硅/氮化硅薄膜所保护的热敏电阻；关键工艺包括刻蚀SOI硅片的衬底硅、埋氧层释放交叉网状结构，通过两次静电键合完成微热导检测器芯片的制作。本实用新型以SOI硅片顶层硅为热敏电阻的主要支撑层，与高掺杂硅相比较，顶层硅中晶格完整，缺陷少，作为支撑层具有更好的机械强度，且其厚度可根据性能要求灵活选择。本实用新型减小了交叉网状结构的形变，大大提高了热敏电阻支撑结构的强度及稳定性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN206583872U
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201621343149.0
申请日：2016-12-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本实用新型提供一种基于双面键合工艺的微色谱柱，在一块硅片上正、反两面刻蚀微色谱柱所需的微沟道，随后分两步分别在该硅片的正反两面完成硅玻璃阳极键合，最后获得玻璃-硅-玻璃结构的双色谱柱芯片；或者在两块硅片上分别刻蚀出微色谱柱所需的微沟道，随后分两步分别在一块玻璃片的正反两面完成硅玻璃键合，最后获得硅-玻璃-硅结构的双色谱柱芯片。当采用微色谱柱和微热导检测器组成微型气相色谱仪时，只需一个本实用新型所提供的双面键合的微色谱柱芯片，具有便于安装，节省材料成本等诸多优点，在微电子机械系统领域尤其是色谱分析领域具有广泛的应用前景。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN214668831U
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202120178580.9
申请日：2021-01-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N30/60
Abstract: 本实用新型提供一种微色谱柱，微色谱柱包括衬底、微沟道及椭圆微柱阵列，可使得微柱后的“准零流速区”的区域大大缩小；可在增加椭圆微柱数量的同时调整椭圆微柱的短轴长度q，以在保持微沟道的宽度w及微沟道的有效宽度d不变的前提下，可有效提高柱内表面积，同时可有效解决因微柱数量的增加而带来的柱前压力升高的问题；通过在沿微沟道的宽度方向上，将n列椭圆微柱之间、椭圆微柱与微沟道的侧壁之间设计成具有不同的间距，可进一步的缓解载气流速不均的问题，以进一步的使得柱内的流速分布均匀；本实用新型的微色谱柱结构和制备工艺简单，可提高微色谱柱的功效、减小供气系统的负担，有利于便携式应用，使得微色谱柱具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN210894237U
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201920617680.X
申请日：2019-04-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本实用新型提供一种基于MEMS的多固定相微型填充柱结构，基于MEMS的多固定相微型填充柱结构包括：衬底，衬底的表面形成有沿衬底的表面延伸的微沟道，微沟道的一端为入口端，另一端为出口端；微阻挡柱组件，位于微沟道内，且临近微沟道的出口端；至少一个微筛选柱组件，位于微沟道内，且位于微阻挡柱组件与微沟道的入口端之间。本实用新型的基于MEMS的多固定相微型填充柱结构通过在微沟道内设置微阻挡柱组件及微筛选柱组件，可以实现固定相自主分段填充，最终实现多种类的混合气体的一次性分离，扩展了色谱柱的使用范围，实现了微型填充柱结构的多功能化。
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公开(公告)号：CN207938610U
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201721815749.7
申请日：2017-12-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本实用新型提供一种基于SOI的微色谱柱及微热导检测器的集成芯片，包括：SOI硅片，具有衬底硅、埋氧层以及顶层硅；图形化堆叠结构，包含交叉网状结构，其下方具有释放槽，图形化堆叠结构悬挂于释放槽中；盖基片，键合于顶层硅，盖基片具有微沟槽，图形化堆叠结构位于微沟槽内；微色谱柱的微沟道，形成于衬底硅中，微沟道内具有微柱阵列，微沟道与释放槽连通；底基片，键合于衬底硅，以形成包含微沟槽、释放槽及微沟道的微通道。本实用新型的微热导检测器和微色谱柱分别位于SOI硅片的顶层硅和衬底硅上，增加了设计的灵活性和工艺制作的可控性。本实用新型无需额外的连接部件，具有死体积低、灵敏度高等优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN215678242U
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202121443375.7
申请日：2021-06-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N30/68
Abstract: 本实用新型提供一种氦离子化检测器，包括衬底、激发电极对、进气管、偏置电极及收集电极；衬底中具有腔室，腔室包括激发电极沟道、进气沟道及出气沟道，激发电极沟道与出气沟道相连通构成第一交汇区，进气沟道与出气沟道相连通构成第二交汇区；激发电极对的激发电极区位于第一交汇区；进气管为具有相同形貌且相向设置的第一进气管及第二进气管，可向第二交汇区提供具有相同压强的辅助载气及样品载气；偏置电极及收集电极位于出气沟道中，且设置于第二交汇区外侧远离第一交汇区处。本实用新型可在腔室中形成高压“准零流速区”，有利于激发氦等离子体，且此区域氦气流速极低，有利于稳定氦等离子体基团，进而可降低基线噪声。
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