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公开(公告)号：CN105232080A
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201510589217.5
申请日：2015-09-17
Applicant: 中北大学
IPC: A61B7/04
Abstract: 本发明提供了一种全新的电子听诊器，具体是一种基于MEMS声传感器的可视化电子式听诊器，其包括聚氨酯透声帽、壳体和盖体，壳体内灌满绝缘硅油，壳体内固定有MEMS声传感器微结构及充满绝缘硅油，壳体的壳底外表面上设有信号处理电路板仓和锂电池仓，盖体上设有液晶显示屏和若干功能选择按键，信号处理电路板仓内安装有信号处理电路板，信号处理电路板上设有各控制模块，信号处理电路板与液晶显示屏及MEMS声传感器微结构连接。本发明听诊器具有体积小、可视化、检测灵敏、低成本、可批量加工，无线传输到电脑端显示波形的优点，比传统听诊器检测心率更准确、更直观、更方便。
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公开(公告)号：CN102426054B
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201110334236.5
申请日：2011-10-29
Applicant: 中北大学
IPC: G01H11/08
Abstract: 本发明为一种单片集成复合量程矢量水听器，解决了现有矢量水听器由于灵敏度和有效工作频带的相互制约而不能满足在同一个测试过程中测量各种频率信号的问题。本发明包括田字形支架，弹性梁以及通过弹性梁分别支悬于田字形支架的四个小框体中部的质量块，每个质量块的四边分别通过一根弹性梁与田字形支架固定，每根弹性梁的端部和根部分别集成有一个阻值相等的压敏电阻，四个质量块中部分别垂直设有一根直径相同的纤毛柱体，四根纤毛柱体长短不一。本发明可通过其上的四根不同长度的纤毛柱体，检测到不同量程范围内的声信号，可用于变频率值的测定，拓宽了其有效工作频带。
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公开(公告)号：CN102768291A
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：CN201210252958.0
申请日：2012-07-21
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/18
Abstract: 本发明涉及MEMS传感器领域中的加速度传感器，具体是一种压阻式单片集成四梁三轴加速度计，解决了现有压阻式三轴加速度计存在结构复杂，灵敏度低，轴间耦合大的问题。该加速度计包括四根弹性悬臂梁、质量块和支撑边框，质量块四个边分别通过一根弹性悬臂梁支悬于支撑边框的中心位置，支撑边框下表面通过静电键合技术与玻璃基板键合，十六个阻值相等的压敏电阻对称均布在四根弹性悬臂梁的两端，十六个压敏电阻连接分别构成三个惠斯通电桥分别检测三个轴向的加速度信号。本发明加速度计结构简单、灵敏度高、轴间耦合低、可靠性高、成本低廉、易于一体化加工，以其生产加工的加速度计应用范围广阔。
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公开(公告)号：CN102647657A
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201210164461.3
申请日：2012-05-25
Applicant: 中北大学
IPC: H04R17/00
Abstract: 本发明为一种单片集成MEMS压阻超声传感器，解决了现有超声传感器灵敏度低的问题。本发明包括质量块边框，质量块边框的两相对短边之间固定有振动膜，振动膜两侧边的中间位置与质量块边框的两相对长边之间分别对称固定有侧梁，振动膜位于X轴方向，侧梁位于Y轴方向，且振动膜宽度大于侧梁宽度，振动膜上的中间位置对称分布有第一、二应变压敏电阻，两侧梁上靠近质量块边框的根部位置对称分布有第三、四应变压敏电阻，四个应变压敏电阻的阻值相同并且其之间连接成一个惠斯通电桥。本发明结构简单新颖、重量轻、体积小、功耗低、灵敏度高、加工成本低、适合于批量化生产、单片集成便于安装测试。
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公开(公告)号：CN102393245A
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN201110334244.X
申请日：2011-10-29
Applicant: 中北大学
IPC: G01H3/00
Abstract: 本发明为一种双层封装式硅微抗噪仿生矢量水听器，解决了现有水听器因其透声帽存在缺陷而限制了水听器的探测距离和定位精度等问题。本发明包括通过内部支撑体固定支撑在管壳内的四梁仿生微结构，四梁仿生微结构上粘结有敏感柱体，微结构整体的外部套装有一端敞口、另一端半球形封闭的透声帽，透声帽的敞口端密封固定在管壳上，透声帽内充满介质油，在透声帽的外部还套设有一端为敞口、另一端为半球形封闭的导流罩，导流罩的敞口端密封固定在管壳上，导流罩半球形封闭的顶端开设有一个导流口，透声帽和导流罩之间留有夹层空隙。本发明灵敏度高、矢量指向性好，能减少流噪声对水听器的影响，提高了水听器的信噪比，有良好的应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101354283A
公开(公告)日：2009-01-28
申请号：CN200810079372.2
申请日：2008-09-08
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及基于微纳MEMS/NEMS加工技术与仿生学原理的微纳仿生矢量水声传感器，具体是一种微纳仿生矢量水声传感器的封装结构。通过封装结构进一步提高和完善了矢量水声传感器的性能指标，该封装结构包括用于固定微纳仿生矢量水声传感器的支持体、罩于微纳仿生矢量水声传感器外并与支持体密封固定的封装壳体，封装壳体内注满有与水密度相同或相近的绝缘液体，所述封装壳体为采用高频低衰减低渗水的聚氨酯灌封材料以声学灌封工艺制成的透声橡胶帽。根据仿生学原理设计，结构合理，在保护水声传感器微结构的同时，不会影响和妨碍水声传感器微结构对声信号的检测，达到了进一步提高和完善矢量水声传感器性能指标的目的。
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公开(公告)号：CN114890375B
公开(公告)日：2025-04-22
申请号：CN202210525272.8
申请日：2022-05-15
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明提供了一种CMOS‑MEMS集成声换能器及其制备方法。该传感器既能作为麦克风传感器又能作为超声换能器，其由下而上依次为基底层、交替设置的介质层及金属层、钝化层，第n层介质层上刻蚀有空腔，空腔顶部形成振膜及上电极、底部形成下电极。制备时，使用COMS工艺的后端（BEOL）层作为MEMS器件的结构层，COMS电子层在MEMS器件层下方集成，各金属层间通过钨塞互连，最后通过干法刻蚀在介质层上形成空腔。本发明传感器具有可靠性好、体积小、频带宽、灵敏度高、易于批量生产等特点，可以应用于医学、军事、工业、农业等众多领域。
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公开(公告)号：CN119626196A
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202411681318.0
申请日：2024-11-22
Applicant: 中北大学
Abstract: 公开了一种声透镜封装模型，包括：一个超声换能器探头和多个不同聚焦深度的聚焦声透镜，每个所述聚焦声透镜连接有一个封装外壳，所述超声换能器探头被配置为能够装配到不同聚焦深度的所述聚焦声透镜所连接的所述封装外壳上，实现与不同聚焦深度的所述聚焦声透镜的耦合，所述超声换能器探头与所述聚焦声透镜之间填充有介质。本发明使用户可以根据不同的临床需求自主更换不同聚焦深度的聚焦声透镜。
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公开(公告)号：CN118723919A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410909035.0
申请日：2024-07-08
Applicant: 中北大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明为一种用于HF穿透薄层硅刻蚀SiO2的种子层结构及其制备方法，属于MEMS技术领域。所述种子层结构包括由上而下依次设置的上层金属层、下层金属层、薄层硅和SiO2层；制备时，先对薄层硅进行硼离子掺杂，再在薄层硅上磁控溅射以形成上、下层金属层，再利用光刻技术形成自定义图形金属层，再对自定义图形金属层进行高温退火处理，最后通过HF干法刻蚀技术透过自定义图形金属层及薄层硅对SiO2层进行干法刻蚀，最终在SiO2层上形成刻蚀腔体。本发明种子层结构实现了对薄层硅下的SiO2进行刻蚀时不需要刻蚀通孔的目的，并且刻蚀腔体的形状刻根据实际要求进行自定义刻蚀，极大地提高了产品的性能可靠度和测试精准度。
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