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公开(公告)号：CN101354283B
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200810079372.2
申请日：2008-09-08
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及基于微纳MEMS/NEMS加工技术与仿生学原理的微纳仿生矢量水声传感器，具体是一种微纳仿生矢量水声传感器的封装结构。通过封装结构进一步提高和完善了矢量水声传感器的性能指标，该封装结构包括用于固定微纳仿生矢量水声传感器的支持体、罩于微纳仿生矢量水声传感器外并与支持体密封固定的封装壳体，封装壳体内注满有与水密度相同或相近的绝缘液体，所述封装壳体为采用高频低衰减低渗水的聚氨酯灌封材料以声学灌封工艺制成的透声橡胶帽。根据仿生学原理设计，结构合理，在保护水声传感器微结构的同时，不会影响和妨碍水声传感器微结构对声信号的检测，达到了进一步提高和完善矢量水声传感器性能指标的目的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1912554A
公开(公告)日：2007-02-14
申请号：CN200610012991.0
申请日：2006-07-26
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及一种水声传感器，具体是共振隧穿仿生矢量水声传感器。解决了现有水声传感器的灵敏度和分辨率等指标的提高已达到检测的极限状态，从而限制检测精度提高的问题，该共振隧穿仿生矢量水声传感器，由半导体衬底及其上通过分子束外延技术、微机电器件MEMS加工工艺加工出的共振隧穿二极管、和其密度与水的密度相同或相近的微型柱状体构成，半导体衬底中部采用半导体体刻蚀技术刻蚀成十字形悬臂梁结构，微型柱状体固定于十字形悬臂梁的中央，共振隧穿二极管分别设置于十字形悬臂梁四梁上的端部。本发明采用纳米级器件制成，突破了常规微机电器件的极限，模拟鱼类侧线听觉器官的工作原理，最终以单个传感器实现了对水下声源声强的测量。
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公开(公告)号：CN101354283A
公开(公告)日：2009-01-28
申请号：CN200810079372.2
申请日：2008-09-08
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及基于微纳MEMS/NEMS加工技术与仿生学原理的微纳仿生矢量水声传感器，具体是一种微纳仿生矢量水声传感器的封装结构。通过封装结构进一步提高和完善了矢量水声传感器的性能指标，该封装结构包括用于固定微纳仿生矢量水声传感器的支持体、罩于微纳仿生矢量水声传感器外并与支持体密封固定的封装壳体，封装壳体内注满有与水密度相同或相近的绝缘液体，所述封装壳体为采用高频低衰减低渗水的聚氨酯灌封材料以声学灌封工艺制成的透声橡胶帽。根据仿生学原理设计，结构合理，在保护水声传感器微结构的同时，不会影响和妨碍水声传感器微结构对声信号的检测，达到了进一步提高和完善矢量水声传感器性能指标的目的。
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公开(公告)号：CN100451576C
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200610012991.0
申请日：2006-07-26
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及一种水声传感器，具体是共振隧穿仿生矢量水声传感器。解决了现有水声传感器的灵敏度和分辨率等指标的提高已达到检测的极限状态，从而限制检测精度提高的问题，该共振隧穿仿生矢量水声传感器，由半导体衬底及其上通过分子束外延技术、微机电器件MEMS加工工艺加工出的共振隧穿二极管、和其密度与水的密度相同或相近的微型柱状体构成，半导体衬底中部采用半导体体刻蚀技术刻蚀成十字形悬臂梁结构，微型柱状体固定于十字形悬臂梁的中央，共振隧穿二极管分别设置于十字形悬臂梁四梁上的端部。本发明采用纳米级器件制成，突破了常规微机电器件的极限，模拟鱼类侧线听觉器官的工作原理，最终以单个传感器实现了对水下声源声强的测量。
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公开(公告)号：CN1900696B
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200610012988.9
申请日：2006-07-26
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及一种光纤气体传感器，具体是一种空芯光子晶体光纤气体传感器。解决了现有光纤气体传感器存在系统装置比较复杂、吸收光程不易控制、光路的耦合损耗也比较大的问题，包括光源、通过普通光纤、光分路器与光源连接的导光气室光路和采用普通光纤的参考光路、及设置于导光气室光路和参考光路两光路另一端的包含光电二极管、锁相放大器的用于为外部气体浓度监测电路提供信号的信号转换部分，导光气室采用空芯光子晶体光纤，空芯光子晶体光纤上开有微米级大小透气微孔。采用其上开有微米级大小透气微孔的空芯光子晶体光纤来代替传统气室，减少了光的损耗，提高了有效吸收光程和器件的响应速度，适用于现场气体监控。
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公开(公告)号：CN1900696A
公开(公告)日：2007-01-24
申请号：CN200610012988.9
申请日：2006-07-26
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及一种光纤气体传感器，具体是一种空芯光子晶体光纤气体传感器。解决了现有光纤气体传感器存在系统装置比较复杂、吸收光程不易控制、光路的耦合损耗也比较大的问题，包括光源、通过普通光纤、光分路器与光源连接的导光气室光路和采用普通光纤的参考光路、及设置于导光气室光路和参考光路另一端的包含光电二极管、锁相放大器的用于为外部气体浓度监测电路提供信号的信号转换部分，导光气室采用其上开有微米级大小透气微孔的空芯光子晶体光纤。采用其上开有微米级大小透气微孔的空芯光子晶体光纤来代替传统气室，减少了光的损耗，提高了有效吸收光程和器件的响应速度，适用于现场气体监控。
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