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公开(公告)号：CN113574356A
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN202080019007.1
申请日：2020-03-06
Applicant: TDK株式会社
IPC: G01L19/00
Abstract: 本发明的压力传感器防止使管座和检测电路绝缘的绝缘膜的膜剥落或裂纹的问题。压力传感器具有：管座，其具有平面状的外底面、沿相对于所述外底面交叉的方向延伸的外侧面、以及为所述外底面的相反面并且受到来自作为测定对象的流体的压力的受压内面；以及检测电路，其相对于所述外底面隔着绝缘膜设置，所述管座具有：平缓部，以包围所述外底面的方式形成，从平行于所述外底面的方向观察，由朝向与所述外底面及所述外侧面不同的方向的面构成，并且连接所述外底面和所述外侧面，所述绝缘膜覆盖所述平缓部的至少一部分。
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公开(公告)号：CN118043635A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202180102998.4
申请日：2021-10-07
Applicant: TDK株式会社
Abstract: 本发明提供一种应变电阻膜用层叠电极等，其在使用含有Cr和Al的膜作为应变电阻膜的情况下，即使在暴露于高温环境之后，也能够实现相对于配线的良好的粘合力。所述层叠电极设置于应变电阻膜上，其中，所述应变电阻膜含有Cr和Al，所述层叠电极具有重叠于所述应变电阻膜上的接触层、重叠于所述接触层上的防扩散层以及重叠于所述防扩散层上的安装层，所述防扩散层含有属于第五周期及第六周期的过渡元素。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116659558A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310104783.7
申请日：2023-02-13
Applicant: TDK株式会社
Abstract: 本发明提供能够防止在绝缘膜缘部产生裂纹、剥离的带绝缘膜的金属部件、物理量传感器和压力传感器。带绝缘膜的金属部件包括：具有膜形成面和连接面的金属部件，其中，上述连接面朝向与上述膜形成面不同的方向且与上述膜形成面连接；绝缘膜，其跨上述膜形成面与上述连接面的连接位置覆盖上述膜形成面和上述连接面的至少一部分；和加强部，其沿着上述绝缘膜中覆盖上述连接位置的部分即绝缘膜缘部形成，从与上述金属部件相反的一侧覆盖上述绝缘膜缘部的至少一部分。
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公开(公告)号：CN114902028B
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202180007836.2
申请日：2021-02-15
Applicant: TDK株式会社
IPC: G01L9/04
Abstract: 本发明提供一种在层叠方向上具有多个检测部而且检测精度提高的压力传感器。本发明的压力传感器(10)具有：膜(22)，其产生与压力对应的变形；第一测量层(40)，其形成在膜(22)上；中间绝缘层(50)，其形成在第一测量层(40)之上；以及第二测量层(60)，其形成在中间绝缘层(50)之上。第一测量层(40)及第二测量层(60)分别包括检测膜的变形的第一检测部(42)及第二检测部(62)。从膜(22)的表面至第二检测部(62)的距离在30μm以内。
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公开(公告)号：CN117848200A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202311275692.6
申请日：2023-09-28
Applicant: TDK株式会社
Abstract: 本发明提供一种维持比较高的k‑因子且TCR的控制容易的应变电阻膜和具有该电阻膜的物理量传感器。所述应变电阻膜是具有由式Cr100‑x‑y‑zAlxNyOz表示的组成的应变电阻膜。满足5≤x≤50、0.1≤y≤20、0.1≤z≤17、及y+z≤25的关系。
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