图案形成方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107193186B

    公开(公告)日:2020-11-24

    申请号:CN201710155257.8

    申请日:2017-03-13

    Abstract: 本发明提供一种削减光刻步骤数、且可形成微细的图案的图案形成方法及感放射线性树脂组合物。本发明的图案形成方法包括:在基板上形成具有疏液性、且通过照射能量而亲液化的第1涂膜的步骤;将基板上的第1区域的绝缘层去除的步骤;以及在配置于基板上的除第1区域以外的区域的至少一部分中的第2区域中形成凹图案的步骤;且将第1区域的绝缘层去除的步骤包含照射特定波长的能量并使第1区域的第1涂膜接触特定的药液,而将第1区域的第1涂膜去除的步骤,在第2区域中形成凹图案的步骤包含照射特定波长的能量而使第2区域的绝缘层的表面亲液化的步骤。

    放射线敏感性树脂组合物、由该组合物形成的突起和分隔物及其形成方法、及液晶显示元件

    公开(公告)号:CN1841196A

    公开(公告)日:2006-10-04

    申请号:CN200610067016.X

    申请日:2006-03-31

    Abstract: 本发明的课题在于提供一种适合用于同时形成垂直取向型液晶显示元件的突起和分隔物的放射线敏感性树脂组合物。为了解决上述问题,本发明提供一种用于同时形成垂直取向型液晶显示元件的突起和分隔物的放射线敏感性树脂组合物,其特征在于:包括,[A]将下述(a1)~(a2)共聚而得到的共聚物,其中(a1)是不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐,(a2)是(a1)成分以外的其它不饱和化合物;[B]聚合性不饱和化合物;和[C]以乙酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃甲氧基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基)-,1-(O-乙酰基肟)所代表的特定结构的放射线敏感性聚合引发剂。

    硬化膜的形成方法、感放射线树脂组合物、具备硬化膜的显示元件及传感器

    公开(公告)号:CN109843452A

    公开(公告)日:2019-06-04

    申请号:CN201780063875.8

    申请日:2017-10-19

    Abstract: 使用缺乏显影性的硬化性组合物或分散、含有着色剂等不溶物的硬化性组合物有效率地形成硬化膜图案。进而提供一种具备由所述硬化膜的形成方法所获得的硬化膜图案的显示元件或传感器。为了解决所述课题而成的发明为一种硬化膜的形成方法,其包括:在基板上形成包含疏液性表面的层与包含亲液性表面的层的步骤、在所述包含亲液性表面的层上涂布硬化性组合物的步骤、使所述涂膜硬化的步骤、及将包含疏液性表面的层去除的步骤。包含疏液性表面的层与包含亲液性表面的层的形成可通过使用包含具有酸解离性基的聚合体及感放射线性酸产生体的感放射线性组合物而达成。

    用于形成间隔体的放射线敏感性树脂组合物、间隔体及其形成方法

    公开(公告)号:CN101174089A

    公开(公告)日:2008-05-07

    申请号:CN200710180825.6

    申请日:2007-10-17

    Abstract: 本发明提供一种含有(A)至少含有1种来自(a1)分子内含有至少2个聚合性不饱和基的化合物的聚合单元的共聚物、(B)聚合性不饱和化合物和(C)放射线敏感性聚合引发剂的用于形成间隔体的放射线敏感性树脂组合物。提供高灵敏度、高分辨率且可以形成图案形状、压缩特性、摩擦耐性、耐热性等各种性能优异的图案状薄膜、抑制了烧结时的升华物的产生、抑制了LCD显示中的图像残留、对于负载负荷不易产生塑性变形、对于取向膜剥离液等化学试剂具有充分的耐性的用于形成间隔体的放射线敏感性树脂组合物。

    放射线敏感性树脂组合物、由该组合物形成的突起和分隔物及其形成方法、及液晶显示元件

    公开(公告)号:CN101017323A

    公开(公告)日:2007-08-15

    申请号:CN200610086733.7

    申请日:2006-06-16

    Abstract: 本发明的课题在于提供一种适合用于同时形成垂直取向型液晶显示元件的突起和分隔物的放射线敏感性树脂组合物。为了解决上述问题,本发明提供一种用于同时形成垂直取向型液晶显示元件的突起和分隔物的放射线敏感性树脂组合物,其特征在于:包括,[A]将下述(a1)~(a2)共聚而得到的共聚物,其中(a1)是不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐,(a2)是(a1)成分以外的其它不饱和化合物;[B]聚合性不饱和化合物;和[C]以乙酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃甲氧基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基)-,1-(O-乙酰基肟)所代表的特定结构的放射线敏感性聚合引发剂。

    感光性组合物、硬化物及其制造方法、显示装置以及摄像装置

    公开(公告)号:CN117452769A

    公开(公告)日:2024-01-26

    申请号:CN202310905850.5

    申请日:2023-07-24

    Abstract: 本发明提供一种用于形成显示元件用或固体摄像元件用的光学构件的感光性组合物、硬化物及其制造方法、显示装置以及摄像装置,所述感光性组合物可获得显示出良好的显影性并且为高折射率且表面平坦性优异的硬化物。一种感光性组合物,包含:(A)由具有酸性基的化合物被覆的粒子、(B1)单官能聚合性化合物、(B2)多官能聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、及(D)溶剂,相对于(B1)单官能聚合性化合物与(B2)多官能聚合性化合物的合计量而包含20质量%以上的(B1)单官能聚合性化合物。

    具有亲液部与疏液部的基材的制造方法及其应用及组合物

    公开(公告)号:CN105573053B

    公开(公告)日:2020-12-29

    申请号:CN201510713106.0

    申请日:2015-10-28

    Abstract: 本发明提供一种用于抑制液状的膜形成材料的濡湿扩散、洇渗而形成高精细的图案的具有亲液部与疏液部的基材的制造方法及其应用,且提供一种组合物及一种感放射线性树脂组合物。具有亲液部与疏液部的基材的制造方法是通过包括以下工序的制造方法而达成:在基板上,(1)涂布组合物而形成涂膜的工序,其中组合物含有(A)具有选自含有缩醛键的基团或含有硅原子的基团中的至少一个基团的聚合物、(B)酸产生剂及与(A)不同的化合物(C);以及(2)对涂膜的既定部分进行放射线照射的工序。导电膜形成方法是通过以下方式达成:在工序(2)后,在形成于基板(1)上的涂膜的放射线照射部中的亲液部上涂布导电膜形成用的膜形成材料,并进行加热。

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