公开(公告)号：CN102087473B

公开(公告)日：2014-04-16

申请号：CN201010576964.2

申请日：2010-12-02

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 大沼友希 ,  荒井雅史 ,  松冈比登美 ,  花村政晓

IPC: G03F7/012 ,  G03F7/039 ,  G03F7/00 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明涉及一种放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜及其制造方法。本发明提供一种能形成层间绝缘膜的正型放射线敏感性树脂组合物、由该组合物获得的层间绝缘膜和该层间绝缘膜的形成方法，该层间绝缘膜具有优良的涂布性、放射线敏感度和能获得良好的图案形状，同时耐热性、耐溶剂性、光线透过率、耐干蚀性也优良。上述放射线敏感性树脂组合物是含有[A]碱可溶性树脂、[B]1，2-醌二叠氮化物化合物和[C]通式(1)所示的化合物的正型放射线敏感性树脂组合物。

公开(公告)号：CN102087473A

公开(公告)日：2011-06-08

申请号：CN201010576964.2

申请日：2010-12-02

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 大沼友希 ,  荒井雅史 ,  松冈比登美 ,  花村政晓

IPC: G03F7/012 ,  G03F7/039 ,  G03F7/00 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明涉及一种放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜及其制造方法。本发明提供一种能形成层间绝缘膜的正型放射线敏感性树脂组合物、由该组合物获得的层间绝缘膜和该层间绝缘膜的形成方法，该层间绝缘膜具有优良的涂布性、放射线敏感度和能获得良好的图案形状，同时耐热性、耐溶剂性、光线透过率、耐干蚀性也优良。上述放射线敏感性树脂组合物是含有[A]碱可溶性树脂、[B]1，2-醌二叠氮化物化合物和[C]通式(1)所示的化合物的正型放射线敏感性树脂组合物。