公开(公告)号：CN100468065C

公开(公告)日：2009-03-11

申请号：CN200580015971.2

申请日：2005-05-18

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 佐藤克己 ,  井上和夫 ,  望月勇 ,  平泽宏幸

IPC: G01R1/073 ,  G01R31/26 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R1/0735 ,  Y10T29/49117

Abstract: 本发明公开了一种片状探针及其制造方法和应用，其允许形成小直径的前表面电极部分，并可靠地实现稳定的电连接状态，即使对于其上以小间距形成有电极的电路装置，并且其防止电极结构从绝缘膜脱落，以实现高耐用性。本发明的片状探针具有接触膜，其通过在挠性绝缘膜中设置多个电板结构而获得，这些电极结构在绝缘膜的厚度方向上以彼此在绝缘膜的平面方向上分开的状态延伸贯穿，其中每个电极结构对绝缘膜的表面暴露，并由从绝缘膜的前表面上凸出的前表面电极部分、对绝缘膜的后表面暴露的后表面电极部分、直接结合到前表面电极部分和后表面电极部分用于将它们电连接并在绝缘膜厚度方向延伸的短路部分、和在前表面电极部分的近端部分形成并在绝缘膜的平面方向上延伸的支撑部分，其中支撑部分的至少一部分被嵌埋在绝缘膜中。

公开(公告)号：CN1957260A

公开(公告)日：2007-05-02

申请号：CN200580015971.2

申请日：2005-05-18

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 佐藤克己 ,  井上和夫 ,  望月勇 ,  平泽宏幸

IPC: G01R1/073 ,  G01R31/26 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R1/0735 ,  Y10T29/49117

Abstract: 本发明公开了一种片状探针及其制造方法和应用，其允许形成小直径的前表面电极部分，并可靠地实现稳定的电连接状态，即使对于其上以小间距形成有电极的电路装置，并且其防止电极结构从绝缘膜脱落，以实现高耐用性。本发明的片状探针具有接触膜，其通过在挠性绝缘膜中设置多个电极结构而获得，这些电极结构在绝缘膜的厚度方向上以彼此在绝缘膜的平面方向上分开的状态延伸贯穿，其中每个电极结构对绝缘膜的表面暴露，并由从绝缘膜的前表面上凸出的前表面电极部分、对绝缘膜的后表面暴露的后表面电极部分、直接结合到前表面电极部分和后表面电极部分用于将它们电连接并在绝缘膜厚度方向延伸的短路部分、和在前表面电极部分的近端部分形成并在绝缘膜的平面方向上延伸的支撑部分，其中支撑部分的至少一部分被嵌埋在绝缘膜中。