公开(公告)号：CN113412288B

公开(公告)日：2023-08-11

申请号：CN202080013648.6

申请日：2020-02-13

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 野田寛人 ,  小川卓 ,  堀川修平 ,  香村和彦

IPC: C08F220/20 ,  C08F220/36 ,  G03F7/027 ,  G03F7/033 ,  G03F7/20 ,  H01L21/60

Abstract: 本发明为一种感光性树脂组合物，含有碱可溶性树脂(A)、聚合性化合物(B)、光自由基聚合引发剂(C)及溶剂(D)，所述聚合性化合物(B)含有选自具有特定的记号R的下述式(1)所示的化合物及下述式(3)所示的化合物中的至少一种(B1)，所述感光性树脂组合物中所含的所述化合物(B1)的含有比例为15质量％～50质量％。本发明的感光性树脂组合物可形成灵敏度及分辨率优异的厚膜的抗蚀剂图案，通过使用所述厚膜的抗蚀剂图案，可实现镀覆造形物的微细化。本发明还提供一种抗蚀剂图案的形成方法以及镀覆造形物的制造方法。

公开(公告)号：CN113412288A

公开(公告)日：2021-09-17

申请号：CN202080013648.6

申请日：2020-02-13

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 野田寛人 ,  小川卓 ,  堀川修平 ,  香村和彦

IPC: C08F220/20 ,  C08F220/36 ,  G03F7/027 ,  G03F7/033 ,  G03F7/20 ,  H01L21/60

Abstract: 本发明为一种感光性树脂组合物，含有碱可溶性树脂(A)、聚合性化合物(B)、光自由基聚合引发剂(C)及溶剂(D)，所述聚合性化合物(B)含有选自具有特定的记号R的下述式(1)所示的化合物及下述式(3)所示的化合物中的至少一种(B1)，所述感光性树脂组合物中所含的所述化合物(B1)的含有比例为15质量％～50质量％。本发明的感光性树脂组合物可形成灵敏度及分辨率优异的厚膜的抗蚀剂图案，通过使用所述厚膜的抗蚀剂图案，可实现镀覆造形物的微细化。

公开(公告)号：CN119013625A

公开(公告)日：2024-11-22

申请号：CN202380033518.2

申请日：2023-04-10

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 小川卓 ,  中藤慎也 ,  安藤光香 ,  菅野贵美幸 ,  多田罗了嗣 ,  伊东宏和

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明的一方式涉及一种感光性树脂组合物、具有图案的树脂膜、具有图案的树脂膜的制造方法、及半导体电路基板，所述感光性树脂组合物含有：(A)聚合物，为选自由聚酰亚胺及聚酰亚胺前体所组成的群组中的至少一种、且包含具有源自下述式(1)所表示的酸酐的结构单元的结构单元(a)以及源自二胺的结构单元(b)、并且在聚合物末端具有马来酰亚胺基等；(B)光聚合引发剂；及(D)溶媒。〔式(1)中，L表示单键等，R1～R3表示氢原子等、或表示同一环内的R1与R2(或R3)相互键结而形成的亚烷基，n1～n2表示0～3的整数，Y1表示式(Y1)(‑Ar1‑)等所表示的结构。〕#imgabs0#