公开(公告)号：CN103675358A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201310440696.5

申请日：2013-09-25

Applicant: FEI公司

Inventor： T.G.米勒 ,  J.阿加瓦奇 ,  D.希尔 ,  M.斯特劳斯 ,  G.N.A.范韦恩

IPC: G01Q30/20 ,  H01L21/302

CPC classification number: G01N1/28 ,  G01N1/32 ,  H01J37/02 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3023 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/31745

Abstract: 公开了用于基底的非原位分析的系统和方法。本发明披露了一种用于制作供在非原位TEM、SEM、或STEM程序中使用的不对称薄层的方法和系统。薄层的形状提供用于容易定向，从而使得可以在化学分析的TEM、SEM、或STEM程序中来自碳膜最少的光学和光谱干扰的条件下将该薄层内的相关区放置在碳膜内的孔上。