公开(公告)号：CN116332482A

公开(公告)日：2023-06-27

申请号：CN202211640054.5

申请日：2018-08-09

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 小野良贵 ,  井川信彰 ,  伊贺元一 ,  榉田昌也

IPC: C03B17/06 ,  C03B18/22 ,  C03B25/08 ,  C03C15/00 ,  C03C3/087 ,  C03C3/093 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/1362

Abstract: 本发明提供一种TFT用玻璃基板，其能够更高精度地和/或快速地形成元件或结构体。TFT用玻璃基板(1)由具备第1主面(11)和与第1主面(11)相反的第2主面(12)的矩形玻璃板(10)构成，其为大型的玻璃板(10)，在从玻璃板(10)的板厚方向进行观察的视野中，所述大型的玻璃板(10)具备第1主面(11)、与第1主面(11)相反的第2主面(12)、连接第1主面(11)与第2主面(12)的第1边(13)、以及与第1边(13)邻接的第2边(14)，并且第1边(13)和第2边(14)的长度为至少1200mm以上。作为第1截面(15)中的玻璃板(10)的板厚W的最大值Wmax与板厚W的最小值Wmin值之差的板厚公差小于6.26μm。

公开(公告)号：CN115925234A

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202211639141.9

申请日：2018-08-09

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 小野良贵 ,  井川信彰 ,  伊贺元一 ,  榉田昌也

IPC: C03B17/06 ,  C03B18/22 ,  C03B25/08 ,  C03C15/00 ,  C03C3/087 ,  C03C3/093 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/1362

Abstract: 本发明提供一种TFT用玻璃基板，其能够更高精度地和/或快速地形成元件或结构体。TFT用玻璃基板(1)由具备第1主面(11)和与第1主面(11)相反的第2主面(12)的矩形玻璃板(10)构成，其为大型的玻璃板(10)，在从玻璃板(10)的板厚方向进行观察的视野中，所述大型的玻璃板(10)具备第1主面(11)、与第1主面(11)相反的第2主面(12)、连接第1主面(11)与第2主面(12)的第1边(13)、以及与第1边(13)邻接的第2边(14)，并且第1边(13)和第2边(14)的长度为至少1200mm以上。作为第1截面(15)中的玻璃板(10)的板厚W的最大值Wmax与板厚W的最小值Wmin值之差的板厚公差小于6.26μm。

公开(公告)号：CN109387967A

公开(公告)日：2019-02-26

申请号：CN201810902930.4

申请日：2018-08-09

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 小野良贵 ,  井川信彰 ,  伊贺元一 ,  榉田昌也

IPC: G02F1/1333 ,  G02F1/1362

CPC classification number: C03B17/064 ,  C03B18/22 ,  C03B25/08 ,  C03C3/087 ,  C03C3/093 ,  C03C15/00 ,  C03C2204/08 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/1362 ,  G02F2001/133302

Abstract: 本发明提供一种TFT用玻璃基板，其能够更高精度地和/或快速地形成元件或结构体。TFT用玻璃基板(1)由具备第1主面(11)和与第1主面(11)相反的第2主面(12)的矩形玻璃板(10)构成，其为大型的玻璃板(10)，在从玻璃板(10)的板厚方向进行观察的视野中，所述大型的玻璃板(10)具备第1主面(11)、与第1主面(11)相反的第2主面(12)、连接第1主面(11)与第2主面(12)的第1边(13)、以及与第1边(13)邻接的第2边(14)，并且第1边(13)和第2边(14)的长度为至少1200mm以上。作为第1截面(15)中的玻璃板(10)的板厚W的最大值Wmax与板厚W的最小值Wmin值之差的板厚公差小于6.26μm。

公开(公告)号：CN118402042A

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN202280082153.8

申请日：2022-11-02

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 佐野耕平 ,  小野良贵 ,  林泰夫 ,  今村穣

IPC: H01L21/302

Abstract: 本发明涉及一种制造具有凹部结构的构件的方法，所述方法具有：(1)在被处理体的第一表面的一部分设置催化剂材料的步骤，其中，所述第一表面由氟化物的沸点为550℃以下的元素构成，所述催化剂材料包含具有极性官能团的有机化合物；和(2)在80℃以上的温度下将所述被处理体暴露于含氟气体的步骤，在所述(2)的步骤之后，在所述第一表面的所述催化剂材料的下侧形成凹部结构。

公开(公告)号：CN110395903A

公开(公告)日：2019-11-01

申请号：CN201910328449.3

申请日：2019-04-23

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 小野良贵 ,  井川信彰 ,  安田兴平 ,  仁科谕子 ,  鹿岛绚子

IPC: C03C3/085 ,  C03B18/18 ,  C03B18/02 ,  C03C15/00 ,  B08B11/04

Abstract: 本发明涉及玻璃基板。本发明的目的在于提供一种玻璃基板，其耐擦伤性、耐冲击性、耐热性和切割性优异，并且具有在玻璃基板上的形成和从玻璃基板上的除去简便的无机多孔层。本发明涉及一种玻璃基板，其至少在单面具有深度10nm～50nm范围内的氟(F)量为10原子％以上的无机多孔层。