用于检查物体的方法和设备

    公开(公告)号:CN1955723A

    公开(公告)日:2007-05-02

    申请号:CN200610143649.4

    申请日:2006-10-24

    CPC classification number: G01B11/2513 F01D5/005 G01B5/205 G06T7/521

    Abstract: 一种用于生成与光测量系统(10)一起使用的光罩(50、52)的方法(72),光测量系统(10)包括用于将光投射到物体(12)上的光源(22),和用于接收从物体反射的光的成像传感器(24)。该方法包括确定(74)要检查的物体的轮廓(56),并且基于所确定的物体轮廓生成(86)电子光罩。电子光罩具有电子开口(62、68),电子开口(62、68)具有定义为从光源和成像传感器其中之一的视角来看基本上与所确定的物体轮廓匹配的轮廓(64、70)。

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