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公开(公告)号：CN101469975A
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：CN200710301395.9
申请日：2007-12-27
Applicant: 通用电气公司
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及一种光学检测仪器和方法，该光学检测仪器是一种小视场光学检测仪器，可用以检测一表面上几微米的三维特征，该光学检测仪器包括产生一投射光路的光学投射装置、位于投射光路中改变该投射光并使其成为结构光的光栅装置、将所述结构光投射到所述表面上移动一定距离的相移装置、观察器以及计算机。观察器包括具有与该投射光路不平行的接收光路的光学接收系统和位于该接收光路中的相机，该相机用于观察并记录所述图像。计算机包括与相机之间的数据传输和基于反射图像所提供的表面轮廓信息进行轮廓测量建模的处理器。
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