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实用新型
一种复合衬底/三族氮化物微米柱结构有权转让

公开(公告)号：CN206532753U

公开(公告)日：2017-09-29

申请号：CN201720172528.6

申请日：2017-02-24

Applicant: 苏州大学

Inventor： 邱振宇 , 鲁文超 , 赵恩 , 漆林 , 李宗尧 , 杨松 , 曹冰 , 王钦华

IPC: H01L21/02

Abstract: 本实用新型公开了一种复合衬底/三族氮化物微米柱结构。以在介质材料上生长石墨烯插入层为复合衬底，在石墨烯插入层上生长三族氮化物微米柱。本实用新型中，石墨烯由低温固态碳源法在非蓝宝石介质材料上直接制备，在复合衬底上再生长得到三族氮化物微米柱，解决了在某些介质材料上三族氮化物无法成核生长的难题，拓宽了三族氮化物外延用介质衬底的范围。尤其是使用石墨烯/石英复合衬底外延制备三族氮化物微米柱结构，可有效降低生产成本。

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