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公开(公告)号：CN104467526B
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201410719489.8
申请日：2014-12-01
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明提供一种实现单向运动的惯性粘滑式跨尺度运动平台，以配重块、压电陶瓷致动器及主质量块间互相结合，当在压电陶瓷致动器正负极间施加正向或反向电压时，其在长度方向作微小的伸长或缩短并带动配重块及主质量块运动，从而实现毫米级行程、纳米级定位精度。相比其它运动平台，其具有结构简单、能够实现快速大行程的精密定位和容易实现多自由度驱动的优点，并且不需要专门的位置保持装置。
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公开(公告)号：CN104467525B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201410719389.5
申请日：2014-12-01
Applicant: 苏州大学
IPC: H02N2/02
Abstract: 本发明公开了一种可调预紧力式惯性粘滑驱动跨尺度精密定位平台，平台包括外壳、与外壳固定安装的椭圆放大机构、位于椭圆放大机构上方的钳位机构、位于钳位机构上方的驱动机构、以及导向机构，导向机构为交叉滚柱导轨，驱动机构为驱动压电陶瓷，钳位机构包括与驱动机构粘接的钳位块和位于钳位块下方的钳位导轨，椭圆放大机构包括与钳位导轨相连的椭圆框架及位于椭圆框架内的钳位压电陶瓷，驱动压电陶瓷两端输入有用于控制钳位块左右运动的第一电压信号，钳位压电陶瓷两端输入有用于控制钳位导轨上下运动的第二电压信号。本发明集导向、钳位、驱动于一体，系统集成度高、体积小，适用于对尺寸有要求的高精密定位场合。
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公开(公告)号：CN103883849A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201410123284.3
申请日：2014-03-28
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种大行程纳米定位平台，其包括本体、形成于本体中的放大机构、以及压电陶瓷，放大机构包括：分别位于矩形的四个顶点的第一铰链点、第二铰链点、第三铰链点、第四铰链点，第二铰链点、第三铰链点上方为放大机构的运动平台，第一铰链点、第二铰链点一侧为放大机构的放大边，放大边中安装有预紧顶丝；本体上安装有底盖板，压电陶瓷设置于本体内部，压电陶瓷一端与底盖板固定连接，另一端通过滚珠与预紧顶丝相抵靠，滚珠安装于所述预紧顶丝中。本发明的大行程纳米定位平台依靠压电陶瓷驱动电源的电压激励，实现压电陶瓷的纳米级微位移形变，同时通过放大机构对上述纳米级微位移进行放大来实现大行程、无间隙、无耦合的位移传动。
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公开(公告)号：CN105225910B
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201510621517.7
申请日：2015-09-25
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明涉及一种基于扫描电子显微镜的微操作系统，应用于扫描电子显微镜设备，该基于扫描电子显微镜的微操作系统包括基座、设置在基座上的若干三轴直线运动平台和五轴宏动平台、设置在五轴宏动平台上的样品操作台和对应每个三轴直线运动平台设置的碳纳米操作手，碳纳米操作手设置在三轴直线运动平台上，若干三轴直线运动平台沿样品操作台的周向设置在样品操作台的四周，该基于扫描电子显微镜的微操作系统通过在基座上设置若干三轴直线运动平台和五轴宏动平台，且将若干三轴直线运动平台沿样品操作台的周向设置在样品操作台的四周，从而实现对样件进行多轴联动，解决了现有技术中只能单一的对样件进行观察的问题。
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公开(公告)号：CN103618473B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201310617608.4
申请日：2013-11-27
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种上下预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，包括底盘、基座、摩擦振子、振子驱动源、滑块，所述的滑块与所述的底盘之间设有提供预紧力的预紧力调整结构，所述的预紧力调整结构包括提供所述预紧力的调整螺钉，所述调整螺钉贯穿所述滑块和所述基座并与所述底盘连接，通过调节所述调整螺钉与所述底盘的螺纹接合长度，可以调节所述预紧力大小。本发明极大简化了运动平台预紧力的调整方式，便于加工和装配，进而有效提高了粘滑驱动跨尺度精密运动平台的输出性能，可简单有效确保粘滑驱动跨尺度精密运动平台的运动精度和一致性，适合批量生产化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103580532B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201310617524.0
申请日：2013-11-27
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种底部预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，包括基座、摩擦振子、振子驱动源、滑块，所述的滑块底部与所述的基座之间设有提供预紧力的预紧力调整结构，所述的预紧力调整结构包括提供所述预紧力的V型弹簧和用于调整所述V型弹簧的调整螺钉，所述的V型弹簧通过所述调整螺钉压缩形变地安装在所述的基座上，所述的预紧力调整结构用于调整所述的预紧力大小，所述滑块与摩擦振子之间产生粘滑效应，所述滑块做跨尺度精密运动。本发明极大简化了运动平台预紧力的调整方式，便于加工和装配，进而有效提高了粘滑驱动跨尺度精密运动平台的输出性能，可简单有效确保粘滑驱动跨尺度精密运动平台的运动精度和一致性，适合批量生产化。
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公开(公告)号：CN104464838A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410784590.1
申请日：2014-12-16
Applicant: 苏州大学
IPC: G12B5/00
Abstract: 本发明公开了一种Z轴负向放大一维精密定位平台，包括Z轴负向放大机构、用于保护Z轴负向放大机构的基座、位于Z轴负向放大机构上方的运动平台，所述Z轴负向放大机构包括若干柔性臂、固定在柔性臂两侧的平行板、连接柔性臂与运动平台的输出件、压电陶瓷安装件以及与基座连接固定的底盘，所述平行板通过柔性铰链与柔性臂柔性连接，位于所述平行板之间、所述Z轴负向放大机构下方、所述底盘上方的空间内设置有压电陶瓷，所述压电陶瓷通过设置在两侧的平行板上的压电陶瓷安装件固定。本发明相较于传统的放大定位平台具有行程范围大、精度高、结构简单、体积小、刚度大、灵敏度高、分辨率高、纳米级、适宜作微动平台等优点。
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公开(公告)号：CN103618473A
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN201310617608.4
申请日：2013-11-27
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种上下预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，包括底盘、基座、摩擦振子、振子驱动源、滑块，所述的滑块与所述的底盘之间设有提供预紧力的预紧力调整结构，所述的预紧力调整结构包括提供所述预紧力的调整螺钉，所述调整螺钉贯穿所述滑块和所述基座并与所述底盘连接，通过调节所述调整螺钉与所述底盘的螺纹接合长度，可以调节所述预紧力大小。本发明极大简化了运动平台预紧力的调整方式，便于加工和装配，进而有效提高了粘滑驱动跨尺度精密运动平台的输出性能，可简单有效确保粘滑驱动跨尺度精密运动平台的运动精度和一致性，适合批量生产化。
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公开(公告)号：CN103580532A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201310617524.0
申请日：2013-11-27
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种底部预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，包括基座、摩擦振子、振子驱动源、滑块，所述的滑块底部与所述的基座之间设有提供预紧力的预紧力调整结构，所述的预紧力调整结构包括提供所述预紧力的V型弹簧和用于调整所述V型弹簧的调整螺钉，所述的V型弹簧通过所述调整螺钉压缩形变地安装在所述的基座上，所述的预紧力调整结构用于调整所述的预紧力大小，所述滑块与摩擦振子之间产生粘滑效应，所述滑块做跨尺度精密运动。本发明极大简化了运动平台预紧力的调整方式，便于加工和装配，进而有效提高了粘滑驱动跨尺度精密运动平台的输出性能，可简单有效确保粘滑驱动跨尺度精密运动平台的运动精度和一致性，适合批量生产化。
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公开(公告)号：CN104766634B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201510118869.0
申请日：2015-03-18
Applicant: 苏州大学
IPC: G12B5/00
Abstract: 本发明公开了一种压电式二维串联小体积工作台，其包括：平台底座、连接块、第一平行四边形放大机构、第二平行四边形放大机构、运动块；第一平行四边形放大机构位于平台底座上，第二平行四边形放大机构与第一平行四边形放大机构通过连接块相串联，且第二平行四边形放大机构与第一平行四边形放大机构正交垂直设置，第二平行四边形放大机构同时与运动块相连接；第一平行四边形放大机构和第二平行四边形放大机构中的任一个包括：平行四边形放大机构本体、预紧顶丝、压电陶瓷致动器、钨钢片、钢制滚珠、封堵。本发明的压电式二维串联小体积工作台避免了在运动过程中产生的耦合误差，并采用平行四边形放大机构实现了在结构更紧凑的前提下输出更大位移。
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