公开(公告)号：CN106847667B

公开(公告)日：2020-02-11

申请号：CN201611229170.2

申请日：2016-12-27

Applicant: 苏州大学

Inventor： 曹冰 ,  李宗尧 ,  赵恩 ,  杨松 ,  刘伊 ,  吴竹慧 ,  王钦华

IPC: H01L21/02 ,  C23C16/34 ,  C23C16/505 ,  C23C16/513

Abstract: 本发明公开了一种表面改性的氮化物半导体及其制备方法。采用射频等离子体增强化学气相沉积方法直接在氮化物半导体表面生长二维或三维垂直结构石墨烯，能够连续调制氮化物半导体表面的疏水性，使氮化物半导体对水的接触角从原来的60°提高到140°，实现亲疏水的可控转换。本发明对氮化物半导体表面改性的方法简单、可控性强，不仅不影响氮化物半导体材料自身的优异性能，还为其附加了表面自清洁能力，在生物电子领域有应用潜力。能够实现连续、可控地改善氮化物半导体表面疏水性。

公开(公告)号：CN109411552A

公开(公告)日：2019-03-01

申请号：CN201811186141.1

申请日：2018-10-11

Applicant: 苏州大学

Inventor： 曹冰 ,  刘伊 ,  王钦华 ,  李宗尧

IPC: H01L31/028 ,  H01L31/0304 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公开了一种基于氮化镓薄膜的微型柔性紫外探测器及其制备方法。采用金属有机化学气相沉积法在石墨烯/介质材料为复合衬底上直接生长晶圆级、低应力氮化镓薄膜，经机械剥离，从衬底上得到可整体转移的氮化镓薄膜，通过掩膜制作金属电极，再将氮化镓薄膜转移到柔性衬底上，制成柔性紫外探测器，实现对紫外光的探测。本发明提供的技术方案，切割方法快速，可批量、低成本制作氮化镓基微型紫外探测器。本发明提供的微型柔性紫外响应探测器，其典型尺寸为0.01～100mm2，并同时具有较高的灵敏度，能支持在复杂的野外环境下工作，可应用于微型、可穿戴的紫外探测设备。

公开(公告)号：CN106847667A

公开(公告)日：2017-06-13

申请号：CN201611229170.2

申请日：2016-12-27

Applicant: 苏州大学

Inventor： 曹冰 ,  李宗尧 ,  赵恩 ,  杨松 ,  刘伊 ,  吴竹慧 ,  王钦华

IPC: H01L21/02 ,  C23C16/34 ,  C23C16/505 ,  C23C16/513

Abstract: 本发明公开了一种表面改性的氮化物半导体及其制备方法。采用射频等离子体增强化学气相沉积方法直接在氮化物半导体表面生长二维或三维垂直结构石墨烯，能够连续调制氮化物半导体表面的疏水性，使氮化物半导体对水的接触角从原来的60°提高到140°，实现亲疏水的可控转换。本发明对氮化物半导体表面改性的方法简单、可控性强，不仅不影响氮化物半导体材料自身的优异性能，还为其附加了表面自清洁能力，在生物电子领域有应用潜力。能够实现连续、可控地改善氮化物半导体表面疏水性。

公开(公告)号：CN108563040A

公开(公告)日：2018-09-21

申请号：CN201810014194.9

申请日：2018-01-08

Applicant: 苏州大学

Inventor： 曹冰 ,  杨松 ,  王钦华 ,  赵恩 ,  刘伊

IPC: G02F1/01 ,  G02F1/00 ,  G02B5/00

Abstract: 本发明公开了一种基于石墨烯/金属混合结构的光开关，包括衬底反射层，所述衬底反射层用于反射入射光；介质层，所述介质层设在所述衬底反射层上；石墨烯层，所述石墨烯层包括至少一层石墨烯，所述石墨烯层设在所述介质层上，所述衬底反射层、所述介质层和所述石墨烯层构成电容结构；金属结构层，所述金属结构层设在所述石墨烯层上；金属电极，所述金属电极分别设于所述衬底反射层和所述石墨烯层；以及电压源，所述电压源分别与所述石墨烯层和所述金属结构层连接，通过所述电压源向所述石墨烯层施加电压以影响所述金属结构层的等离子共振效应。根据本发明实施例的光开关，在石墨烯层上制作金属结构层，给石墨烯施加电压改变石墨烯光学性质，影响金属结构层的等离子共振效应，从而实现光开关的功能。

公开(公告)号：CN108181736A

公开(公告)日：2018-06-19

申请号：CN201810014474.X

申请日：2018-01-08

Applicant: 苏州大学

Inventor： 王钦华 ,  杨松 ,  曹冰 ,  赵恩 ,  刘伊

IPC: G02F1/03

Abstract: 本发明公开了一种基于石墨烯/金属复合结构的电光调制器，包括金属结构层、石墨烯层、介质层、衬底反射层、金属电极和电压源，石墨烯层包括：至少一层石墨烯，石墨烯平铺于介质层，电压源与石墨烯连接，通过电压源对石墨烯施加不同的电压以调控入射光的反射率大小。根据本发明实施例的电光调制器，通过将金属和石墨烯结合，形成石墨烯/金属的复合结构，来实现对入射光的调控功能。

公开(公告)号：CN207895171U

公开(公告)日：2018-09-21

申请号：CN201820024642.9

申请日：2018-01-08

Applicant: 苏州大学

Inventor： 杨松 ,  曹冰 ,  王钦华 ,  赵恩 ,  刘伊

IPC: G02F1/01 ,  G02F1/00

Abstract: 本实用新型公开了一种基于石墨烯/金属混合结构的光开关，包括衬底反射层，所述衬底反射层用于反射入射光；介质层，所述介质层设在所述衬底反射层上；石墨烯层，所述石墨烯层包括至少一层石墨烯，所述石墨烯层设在所述介质层上，所述衬底反射层、所述介质层和所述石墨烯层构成电容结构；金属结构层，所述金属结构层设在所述石墨烯层上；金属电极，所述金属电极分别设于所述衬底反射层和所述石墨烯层；以及电压源，所述电压源分别与所述石墨烯层和所述金属结构层连接，通过所述电压源向所述石墨烯层施加电压以影响所述金属结构层的等离子共振效应。根据本实用新型实施例的光开关，在石墨烯层上制作金属结构层，给石墨烯施加电压改变石墨烯光学性质，影响金属结构层的等离子共振效应，从而实现光开关的功能。

公开(公告)号：CN207895207U

公开(公告)日：2018-09-21

申请号：CN201820024606.2

申请日：2018-01-08

Applicant: 苏州大学

Inventor： 杨松 ,  曹冰 ,  王钦华 ,  赵恩 ,  刘伊

IPC: G02F1/17 ,  G02B5/00

Abstract: 本实用新型公开了一种基于石墨烯/金属复合结构的电光调制器，包括金属结构层、石墨烯层、介质层、衬底反射层、金属电极和电压源，石墨烯层包括：至少一层石墨烯，石墨烯平铺于介质层，电压源与石墨烯连接，通过电压源对石墨烯施加不同的电压以调控入射光的反射率大小。根据本实用新型实施例的电光调制器，通过将金属和石墨烯结合，形成石墨烯/金属的复合结构，来实现对入射光的调控功能。